Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2001Einrichtung zur reaktiven Beschichtung
Frach, P.; Walde, H.; Gottfried, C.; Holfeld, A.; Goedicke, K.
Patent
1998Verfahren zur reaktiven Beschichtung
Frach, P.; Gottfried, C.; Walde, H.; Goedicke, K.
Patent
1996Verfahren und Schaltung zur bipolaren pulsfoermigen Energieeinspeisung in Niederdruckplasmen
Walde, H.; Reschke, J.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Kirchhoff, V.; Frach, P.
Patent
1995Advantageous possibilities, design aspects and technical use of double ring magnetron sputter source
Frach, P.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Gottfried, C.; Walde, H.; Hentsch, W.
Conference Paper, Journal Article
1993Aspects and results of long-term stable deposition of Al2O3 with high-rate pulsed reactive magnetron sputtering
Frach, P.; Heisig, U.; Gottfried, C.; Walde, H.
Conference Paper, Journal Article
1993Einrichtung zum Aufbringen elektrisch schlecht leitender oder isolierender Schichten durch reaktives Magnetronsputtern
Gottfried, C.; Walde, H.; Frach, P.; Heisig, U.
Patent