Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2003Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Metallisierungen auf Halbleiterkoerpern
Klimes, W.; Wenzel, C.; Urbansky, N.; Siemroth, P.; Schuelke, T.; Schultrich, B.
Patent
2002Investigation of long throw PVD of titanium films from polycrystalline targets with texture
Wolf, H.; Streiter, R.; Tirschler, W.; Giegengack, H.; Urbansky, N.; Gessner, T.
Journal Article