Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Contraction clustering (raster): A big data algorithm for density-based clustering in constant memory and linear time
Ulm, G.; Gustavsson, E.; Jirstrand, M.
Conference Paper
2010Aluminiumverbindung für einen Kleber sowie Verwendungszwecke
Glaubitt, W.; Wittstadt, K.; Ulm, G.
Patent
2004High-throughput EUV reflectometer for EUV mask blanks
Lebert, R.; Wies, C.; Juschkin, L.; Jägle, B.; Meisen, M.; Aschke, L.; Sobel, F.; Seitz, H.; Scholze, F.; Ulm, G.; Walter, K.; Neff, W.; Bergmann, K.; Biel, W.
Conference Paper
2004Realization and metrological characterization of thickness standards below 100 nm
Thomsen-Schmidt, P.; Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Hirsch, D.; Procop, M.; Beck, U.
Journal Article
2003Characterization of a laser produced plasma source for a laboratory EUV reflectometer
Scholze, F.; Scholz, F.; Tümmler, J.; Ulm, G.; Legall, H.; Nickles, P.-V.; Sandner, W.; Stiel, H.; Loyen, L. van
Conference Paper
2003Metrological characterization of nanometer film thickness standards for XRR and ellipsometry applications
Hasche, K.; Thomsen-Schmidt, P.; Krumrey, M.; Ade, G.; Ulm, G.; Stümpel, J.; Schädlich, S.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2003New laboratory EUV reflectometer for large optics using a laser plasma source
Loyen, L. van; Böttger, T.; Braun, S.; Mai, H.; Leson, A.; Scholze, F.; Tümmler, J.; Ulm, G.; Legall, H.; Nickles, P.-V.; Sandner, W.; Stiel, H.; Rempel, C.; Schulze, M.; Brutscher, J.; Macco, F.; Müllender, S.
Conference Paper
2002About the calibration of thickness standards on the nanometre scale
Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2002Ein Beitrag zu kalibrierten Nanometerschichten für unterschiedliche Anwendungsbereiche
Hasche, K.; Herrmann, K.; Thomsen-Schmidt, P.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Ade, G.; Pohlenz, F.; Stümpel, J.; Busch, I.; Schädlich, S.; Frank, W.; Hirsch, D.; Schindler, A.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2002Film thickness standards on the nanometer scale
Hasche, K.; Ulm, G.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ade, G.; Stümpel, J.; Busch, I.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Schindler, A.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
2001Calibrated reference standards for films in the nanometer range
Hasche, K.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Schädlich, S.; Frank, W.; Procop, M.
Conference Paper
2001Thin layer measurements need reference standards
Hasche, K.; Herrmann, K.; Krumrey, M.; Ulm, G.; Ade, G.; Thomsen-Schmidt, P.; Schädlich, S.; Frank, W.; Procop, M.; Beck, U.
Conference Paper
1997Calibration of charge coupled devices and a pinhole transmission grating to be used as elements of a soft x-ray spectrograph
Schriever, G.; Lebert, R.; Naweed, A.; Mager, S.; Neff, W.; Kraft, S.; Scholze, F.; Ulm, G.
Journal Article