Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009A model of self-limiting residual acid diffusion for pattern doubling
Fuhrmann, J.; Fiebach, A.; Uhle, M.; Erdmann, A.; Szmanda, C.R.; Truong, C.
Conference Paper, Journal Article
2006Benchmark of a lithography simulation tool for next generation applications
Tollkühn, B.; Uhle, M.; Fuhrmann, J.; Gärtner, K.; Heubner, A.; Erdmann, A.
Conference Paper, Journal Article
2003Multiple DC solution determination using VHDL-AMS
Haase, J.; Pönisch, G.; Uhle, M.
Conference Paper