Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1995Analysis of contamination - a must for ultraclean technology
Ryssel, H.; Streckfuß, N.; Aderhold, W.; Berger, R.; Falter, T.; Frey, L.
Conference Paper
1995Charakterisierung von Siliciumoberflächen mittels Röntgenfluoreszenzanalyse unter Totalreflektionsbedingungen
Streckfuß, N.
Dissertation
1994Practical aspects of ion beam analysis of semiconductor structures
Frey, L.; Pichler, P.; Kasko, I.; Thies, I.; Lipp, S.; Streckfuß, N.; Gong, L.
Journal Article
1993Contamination control and ultrasensitive chemical analysis
Ryssel, H.; Frey, L.; Streckfuß, N.; Schork, R.; Kroninger, F.; Falter, T.
Journal Article
1992Characterization of metal impurities in silicon-on-insulator material
Frey, L.; Kroninger, F.; Streckfuß, N.; Ryssel, H.
Conference Paper
1990Sicherheit bei Halbleiterfertigungsgeräten
Streckfuß, N.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Ryzlewicz, C.
Conference Proceedings