Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2005Mikromechanisches durchstimmbares Fabry–Perot-Filter für die IR-Gasanalytik
Neumann, N.; Heinze, M.; Stegbauer, H.-J.; Hiller, K.; Kurth, S.
Journal Article
2003Ein mikromechanisches, durchstimmbares Fabry-Perot-Filter für die nichtdispersive Gasanalytik im Spektralbereich (3 5) µm
Neumann, N.; Heinze, M.; Stegbauer, H.-J.; Hiller, K.; Kurth, S.
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