Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Heterogene Integration einer Miniatur-Solarzelle für autarke Sensoren
Krause, Christopher; Stühlmeyer, Martin; Figge, Martin; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger
Conference Paper
2016Entwicklung eines piezoresistiven Drucksensors für Hochtemperaturanwendungen auf Basis eines SOI-Substrats
Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Celik, Yusuf; Schmidt, Andrei; Vogt, Holger
Conference Paper
2016Post-CMOS integration of miniaturized solar cells for energy harvesting of autonomous sensor nodes
Stühlmeyer, Martin; Goehlich, Andreas; Figge, Martin; Vogt, Holger
Conference Paper
2015Charakterisierung und Modellierung freistehender Silizium Membranen auf SOI-Basis für Drucksensor-Anwendungen
Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Celik, Yusuf; Schmidt, Alexander; Vogt, Holger
Conference Paper
2015CMOS integrated miniaturized photovoltaic cells for autonomous sensor nodes: Simulations and experimental results
Goehlich, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Vogt, Holger
Conference Paper
2014Encapsulation of implantable integrated MEMS pressure sensors using polyimide epoxy composite and atomic layer deposition
Gembaczka, Pierre; Görtz, Michael; Celik, Yusuf; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried; Kraft, Michael
Journal Article
2013Hybrid sensor integration by wafer-to-wafer bonding
Stühlmeyer, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger
Book Article