Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2011Properties of purified direct steam grown silicon thermal oxides
Mack, S.; Wolf, A.; Walczak, A.; Thaidigsmann, B.; Wotke, E.A.; Spiegelman, J.J.; Preu, R.; Biro, D.
Journal Article
2010Purified steam for industrial thermal oxidation processes
Mack, S.; Biro, D.; Wolf, A.; Thaidigsmann, B.; Walczak, A.; Spiegelman, J.J.; Preu, R.
Conference Paper