Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2004High-throughput EUV reflectometer for EUV mask blanks
Lebert, R.; Wies, C.; Juschkin, L.; Jägle, B.; Meisen, M.; Aschke, L.; Sobel, F.; Seitz, H.; Scholze, F.; Ulm, G.; Walter, K.; Neff, W.; Bergmann, K.; Biel, W.
Conference Paper
2002High-performance 6-inch EUV mask blanks produced under real production conditions by ion-beam sputter deposition
Becker, H.W.; Sobel, F.; Aschke, L.; Renno, M.; Krieger, J.; Buttgereit, U.; Hess, G.; Lenzen, F.; Knapp, K.; Yulin, S.A.; Feigl, T.; Kuhlmann, T.; Kaiser, N.
Conference Paper