Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1994Verfahren zum Herstellen einer Silikatschicht in einer integrierten Schaltung und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
Sigmund, H.; Klumpp, A.
Patent
1993Verfahren zur Kristallisation duenner Halbleiterschichten auf einem Substratmaterial
Sigmund, H.; Stumpff, C.
Patent
1990Charakterisierung von Bulk-Punktdefekten in Si MOS-FET Strukturen mittels conductance-DLTS
Lee, G.-Y.; Sigmund, H.
Conference Proceedings
1990Laser temperature interlevel SiO2 layers by photoinduced processing
Sigmund, H.; Klumpp, A.; Springholz, G.
Conference Paper
1989Deposition of high quality SiO2 layers from TEOS by excimer laser
Klumpp, A.; Sigmund, H.
Journal Article
1989Entwicklung und Einsatzmöglichkeit von Produktionssystemen für die modulare Prozesstechnik unter Berücksichtigung photonenunterstützter Prozesse
Sigmund, H.; Haberger, K.; Seegebrecht, P.
Conference Paper
1989Laser-induced formation of SiO2 layers for microelectronics
Sigmund, H.
Conference Paper
1989Photoinduced transformation of polysiloxane layers by SiO2
Klumpp, A.; Sigmund, H.
Journal Article
1989Selective crystallization of silicon layers without seeding and capping layer
Stumpff, C.; Sigmund, H.
Journal Article
1988Kristalline Mehrschicht-Struktur in einer Silizium-Solarzelle
Sigmund, H.
Patent
1986Analysis of the current-voltage characteristic of solar cells
Sigmund, H.; Fuchs, D.R.
Journal Article
1986Structured deposition of SiO2 and poly-Si by Ar+ -Laser pyrolysis
Sigmund, H.; Metzger, M.; Stumpff, C.
Conference Paper
1985Efficiency of thin solar cells with a heterogen base layer
Sigmund, H.
Conference Paper
1983Doping behavior of implanted Mg in Silicon
Sigmund, H.; Weiss, D.
Book Article
1982Solubility of Mg and Ca in Silicon
Sigmund, H.; Weiss, D.
Journal Article
1978Verfahren zur Herstellung von Siliciumschichten
Sigmund, H.
Patent