Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2006EUV aources for the alpha-tools
Pankert, J.; Apetz, R.; Bergmann, K.; Damen, M.; Derra, G.; Franken, O.; Janssen, M.; Jonkers, J.; Klein, J.; Kraus, H.; Krücken, T.; List, A.; Loeken, M.; Mader, A.; Metzmacher, C.; Neff, W.; Probst, S.; Prümmer, R.; Rosier, O.; Schwabe, S.; Seiwert, S.; Siemons, G.; Vaudrevange, D.; Wagemann, D.; Weber, A.; Zink, P.; Zitzen, O.
Conference Paper
2005Integrating Philips' extreme UV source in the alpha-tools
Pankert, J.; Apetz, R.; Bergmann, K.; Derra, G.; Janssen, M.; Jonkers, J.; Klein, J.; Krücken, T.; List, A.; Loeken, M.; Neff, W.; Probst, S.; Prummer, R.; Rosier, O.; Seiwert, S.; Siemons, G.; Vaudrevange, D.; Wagemann, D.; Weber, A.; Zink, P.; Zitzen, O.
Conference Paper
2004Status of Philips' extreme UV source
Pankert, J.; Bergmann, K.; Klein, J.; Neff, W.; Rosier, O.; Seiwert, S.; Smith, C.; Probst, S.; Vaudrevange, D.; Siemons, G.; Apetz, R.; Jonkers, J.; Locken, M.; Derra, G.; Krücken, T.; Zink, P.
Conference Paper
2003Physical properties of the HCT EUV source
Pankert, J.; Bergmann, K.; Klein, J.; Neff, W.; Rosier, O.; Seiwert, S.; Smith, C.; Probst, S.; Vaudrevange, D.; Siemons, G.; Apetz, R.; Jonkers, J.; Löken, M.; Bosch, E.; Derra, G.; Krucken, T.; Zink, P.
Conference Paper