Fraunhofer-Gesellschaft

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2010Multispectral characterization of diffractive micromirror arrays
Berndt, D.; Heber, J.; Sinning, S.; Kunze, D.; Knobbe, J.; Schmidt, J.-U.; Bring, M.; Rudloff, D.; Friedrichs, M.; Rössler, J.; Eckert, M.; Kluge, W.; Neumann, H.; Wagner, M.; Lakner, H.
Conference Paper
2010Technology development of diffractive micromirror arrays for the deep ultraviolet to the near infrared spectral range
Schmidt, J.-U.; Bring, M.; Heber, J.; Friedrichs, M.; Rudloff, D.; Rößler, J.; Berndt, D.; Neumann, H.; Kluge, W.; Eckert, M.; List, M.; Müller, M.; Wagner, M.
Conference Paper
2009Advances in SLM development for microlithography
Dauderstädt, U.; Askebjer, P.; Björnängen, P.; Dürr, P.; Friedrichs, M.; List, M.; Rudloff, D.; Schmidt, J.-U.; Müller, M.; Wagner, M.
Conference Paper
2008Amorphous TiAl films for micromirror arrays with stable analog deflection integrated on complementary metal oxide semiconductors
Schmidt, J.-U.; Friedrichs, M.; Gehner, A.
Journal Article
2008Technology development for micromirror arrays with high optical fill factor and stable analogue deflection integrated on CMOS substrates
Schmidt, J.-U.; Friedrichs, M.; Bakke, T.; Voelker, B.; Rudloff, D.; Lakner, H.
Conference Paper
2007Hochauflösende Flächenlichtmodulatoren auf Basis von Mikrospiegelmatrizen
Wagner, M.; Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Friedrichs, M.; Schmidt, J.-U.; Lakner, H.
Conference Paper
2007Technologieentwicklung für 1-Mega-Pixel Mikrospiegel-Arrays mit hohem optischem Füllfaktor und langzeitstabilem Auslenkverhalten
Schmidt, J.-U.; Friedrichs, M.; Rudloff, D.; Lakner, H.
Conference Paper