Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Optical characterisation of silver mirrors protected with transparent overcoats
Sytchkova, A.; Schwinde, S.; Protopapa, M.L.; Palmisano, M.; Piegari, A.; Schürmann, M.; Kaiser, N.
Conference Paper
2018Si/SiO2-based filter coatings for astronomical applications in the IR spectral range
Schlegel, R.; Gäbler, D.; Schürmann, M.; Follert, R.; Seemann, U.; Oliva, E.; Schwinde, S.
Conference Paper
2017High-reflective coatings for ground and space based applications
Schürmann, M.; Schwinde, S.; Jobst, P.J.; Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Szeghalmi, A.; Bingel, A.; Munzert, P.; Kaiser, N.
Conference Paper
2017Investigation of SiO2-Al2O3 nanolaminates for protection of silver reflectors
Schwinde, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Journal Article
2017Investigation of the refractive index repeatability for tantalum pentoxide coatings, prepared by physical vapor film deposition techniques
Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Wolf, J.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Ristau, D.; Ehlers, H.; Carstens, F.; Schippel, S.; Mechold, L.; Rauhut, R.; Kennedy, M.; Bischoff, M.; Nowitzki, T.; Zöller, A.; Hagedorn, H.; Reus, H.; Hegemann, T.; Starke, K.; Harhausen, J.; Foest, R.; Schumacher, J.
Journal Article
2016Investigation of SiO2-Al2O3-nanolaminates for protection of silver reflectors
Schwinde, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Conference Paper
2016Investigation of the refractive index reproducibility for tantalum pentoxide coatings, prepared by PVD techniques
Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Wolf, J.; Ristau, D.; Ehlers, H.; Carstens, F.; Schippel, S.; Mechold, L.; Rauhut, R.; Kennedy, M.; Bischoff, M.; Nowitzki, T.; Zöller, A.; Hagedorn, H.; Reus, H.; Hegemann, T.; Starke, K.; Harhausen, J.; Foest, R.; Schumacher, J.
Conference Paper
2016Manufacturing and coating of optical components for the EnMAP hyperspectral imager
Schürmann, M.; Gäbler, D.; Schlegel, R.; Schwinde, S.; Peschel, T.; Damm, C.; Jende, R.; Kinast, J.; Müller, S.; Beier, M.; Risse, S.; Sang, B.; Glier, M.; Bittner, H.; Erhard, M.
Conference Paper
2016Optische Konstanten von Substraten im NIR/MIR-Spektralbereich: Bestimmung mittels Fourier-Transform-Infrarot-(FTIR-)Spektrometrie
Franke, C.; Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Schürmann, M.; Wolf, J.; Todorova, V.; Doherty, B.; Kaiser, N.
Journal Article
2016Reflektorelement und Verfahren zu dessen Herstellung
Schürmann, Mark; Munzert, Peter; Salz, Dirk; Stockwald, Klaus; Schaefer, Reinhard
Patent
2016Verfahren zur Herstellung eines Reflektorelements und Reflektorelement
Schürmann, Mark; Schwinde, Stefan; Müller, Robert; Kaiser, Norbert
Patent
2015Description of particle induced damage on protected silver coatings
Schwinde, Stefan; Schürmann, Mark; Jobst, Paul Johannes; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Journal Article
2015Metal mirrors with metal-dielectric HR-coating for ultrashort laser pulses applied in scanner applications
Schürmann, Mark; Risse, Stefan; Kämmer, H; Franke, Christian; Schlegel, Ralph; Müller, Sandra; Damm, Christoph; Steinkopf, Ralf; Dreisow, F.; Nolte, Stefan; Eberhardt, Ramona; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2015Optisches Element mit einer reflektierenden Beschichtung
Schürmann, Mark; Schwinde, Stefan; Kaiser, Norbert
Patent
2015Protected and enhanced silver for mirrors: Damage mechanisms and how to prevent them
Schwinde, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Conference Paper
2015UV-verstärkte Silberschichten
Schwinde, Stefan; Schürmann, Mark; Kaiser, Norbert
Journal Article
2014Metal mirrors for laser applications
Schürmann, Mark; Reinlein, Claudia; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan
Conference Paper
2014Optical properties of unprotected and protected sputtered silver films: Surface morphology versus UV/VIS reflectance
Jobst, Paul Johannes; Stenzel, Olaf; Modsching, N.; Yulin, Sergiy; Wilbrandt, Steffen; Schürmann, Mark; Gäbler, Dieter; Kaiser, Norbert; Tünnerman, Andreas
Journal Article
2014Präzision fast ohne Limit für Metallspiegel
Risse, S.; Gebhardt, A.; Beier, M.; Loose, R.; Schürmann, M.; Jobst, J.; Schwinde, S.
Journal Article
2012Glass direct bonding for optical applications
Kalkowski, Gerhard; Rothhardt, Carolin; Jobst, Paul-Johannes; Schürmann, Mark; Eberhardt, Ramona
Journal Article
2012Optical reflector coatings for astronomical applications from EUV to IR
Schürmann, Mark; Jobst, Paul Johannes; Yulin, Sergiy; Feigl, Torsten; Heiße, Hanno; Wilbrandt, Steffen; Stenzel, Olaf; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Polierbare Siliziumschichten zur Herstellung ultra-präziser optischer Komponenten
Jobst, Paul Johannes; Schürmann, Mark; Gebhardt, Andreas; Risse, Stefan; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Reflectivity, polarization properties and durability of metallic mirror coatings for the European Solar Telescope
Feller, A.; Nagaraju, K.; Pleier, O.; Hirzberger, J.; Jobst, P.J.; Schürmann, M.
Conference Paper
2012Simulation der Abscheidung von dielektrischen Schichtsystemen auf große optische Bauteile
Franke, Christian; Schürmann, Mark; Wilbrandt, Steffen; Kaiser, Norbert
Conference Paper
2012Strukturierbare reflexionsgeminderte Chromschichten
Schürmann, Mark; Jobst, Paul-Johannes; Kaiser, Norbert; Luck, Frank-Ulrich; Beier, Bernd; Thaut, Michael
Journal Article
2011Beschichtung großer Substrate für die Präzisionsoptik
Schürmann, M.; Jobst, P.-J.; Müller, T.; Scheler, M.; Kaiser, N.
Journal Article
2011Mixed oxide coatings for optics
Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Ehlers, H.; Mende, M.; Ristau, D.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Stolze, M.; Held, M.; Niederwald, H.; Koch, T.; Riggers, W.; Burdack, P.; Mark, G.; Schäfer, R.; Mewes, S.; Bischoff, M.; Arntzen, M.; Eisenkrämer, F.; Lappschies, M.; Jakobs, S.; Koch, S.; Baumgarten, B.; Tünnermann, A.
Journal Article
2011Optical and mechanical properties of oxide UV coatings, prepared by PVD techniques
Stenzel, O.; Schürmann, M.; Wilbrandt, S.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.; Mende, M.; Ehlers, H.; Ristau, D.; Bruns, S.; Vergöhl, M.; Riggers, W.; Bischoff, M.; Held, M.
Conference Paper
2011Optics contamination studies in support of high-throughput EUV lithography tools
Hill, S.B.; Faradzhev, N.S.; Richter, L.J.; Grantham, S.; Tarrio, C.; Lucatorto, T.B.; Yulin, S.; Schürmann, M.; Nesterenko, V.; Feigl, T.
Conference Paper
2011Study on the lifetime of Mo/Si multilayer optics with pulsed EUV-source at the ETS
Schürmann, M.; Yulin, S.; Nesterenko, V.; Feigl, T.; Kaiser, N.; Tkachenko, B.; Schürmann, M.C.
Conference Paper
2011Ultra-precise optical mirrors with thick amorphous silicon layer
Risse, S.; Gebhardt, A.; Kolbmüller, A.; Steinkopf, R.; Schürmann, M.; Jobst, J.; Kaiser, N.; Eberhardt, R.
Conference Paper
2010Beschichtungen für die EUV-Lithografie
Feigl, T.; Perske, M.; Pauer, H.; Yulin, S.; Schürmann, M.; Nesterenko, V.; Schröder, S.; Trost, M.; Duparré, A.; Kaiser, N.
Conference Paper
2010Laterally graded Mo/Si multilayer for a 5 steradian EUV collector
Perske, M.; Pauer, H.; Yulin, S.; Nesterenko, V.; Schürmann, M.; Feigl, T.; Kaiser, N.
Conference Paper
2010Multi-technique study of carbon contamination and cleaning of Mo/Si multilayer optics exposed to pulsed EUV radiation
Schürmann, M.; Yulin, S.; Nesterenko, V.; Feigl, T.; Kaiser, N.; Tkachenko, B.; Schürmann, M.C.
Conference Paper
2010Oxidische Mischschichten für UV-Anwendungen
Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N.
Conference Paper
2010Tailored nanocomposite coatings for optics
Stenzel, O.; Wilbrandt, S.; Schürmann, M.; Kaiser, N.
Conference Paper
2010Ultra-precise optical components with machinable silicon layer
Schürmann, M.; Jobst, P.-J.; Kaiser, N.; Kolbmüller, A.; Müller, S.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.
Conference Paper
2010Ultrapräzise optische Komponenten mit bearbeitbarer Siliziumschicht
Schürmann, M.; Jobst, P.-J.; Kaiser, N.; Kolbmüller, A.; Müller, S.; Gebhardt, A.; Risse, S.; Eberhardt, R.
Conference Paper
2010Verfahren zum silikatischen Bonden von beschichteten und unbeschichteten optischen Körpern
Eberhardt, R.; Schürmann, M.; Kalkowski, G.; Fabian, S.; Jahnke, C.
Patent
2008[{2,6-(Me2NCH2)2C6H3}Sn]2: An intramolecularly coordinated diorganodistannyne
Jambor, R.; Kasná, B.; Kirschner, K.N.; Schürmann, M.; Jurkschat, K.
Journal Article
2008Altes und Neues über Dünnschicht Stahlteiler
Schürmann, M.; Kaiser, N.
Journal Article
2008Enhanced reflectivity and stability of high-temperature LPP collector mirrors
Feigl, T.; Yulin, S.; Perske, M.; Pauer, H.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Böwering, N.R.; Khodykin, O.V.; Fomenkov, I.V.; Brandt, D.C.
Conference Paper
2008Large-scale synthesis of new pyranoid building blocks based on aldolase-catalysed carbon-carbon bond formation
Wolberg, M.; Dassen, B.H.N.; Schürmann, M.; Jennewein, S.; Wubbolts, M.G.; Schoemaker, H.E.; Mink, D.
Journal Article
2008Metal layer beamsplitters with one dielectric achromatisation layer
Schürmann, M.; Stöckl, W.; Kaiser, N.
Conference Paper
2008Performance and lifetime of EUV source collectors measured with a full size EUV collector reflectometer
Hinze, U.; Chichkov, B.N.; Feigl, T.; Zeitner, U.D.; Damm, C.; Bolshukhin, D.; Kleinschmidt, J.; Schriever, G.; Schürmann, M.C.
Conference Paper
2004Compact laboratory EUV-lamps: "In-house beamlines" for technologies based on extreme ultraviolet radiation
Lebert, R.; Jägle, B.; Juschkin, L.; Wies, C.; Neff, W.; Barthel, J.; Walter, K.; Bergmann, K.; Schürmann, M.C.; Mißalla, T.
Book Article
2004Status of EUV-lamp development and demonstration of applications
Lebert, R.; Wies, C.; Jägle, B.; Juschkin, L.; Bieberle, U.; Meisen, M.; Neff, W.; Bergmann, K.; Walter, K.; Rosier, O.; Schuermann, M.C.; Missalla, T.
Conference Paper