Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck
Rogler, Daniela
: Beyer, Eckhard (Betreuer); Neidhardt, Andreas (Gutachter); Kaskel, Stefan (Gutachter)
Dissertation
2007Dauerhaft schön - Kratzschutz durch Atmosphärendruck-Plasmaverfahren
Dani, I.; Kotte, L.; Tschoecke, S.; Linaschke, D.; Rogler, D.; Hopfe, V.
Journal Article
2007PECVD and plasma etching at atmospheric pressure by means of a linearly-extended DC arc plasma source
Dani, I.; Hopfe, V.; Rogler, D.; Lopez, E.; Mäder, G.
Journal Article
2006Mikrowellenplasmaquelle
Maeder, G.; Rogler, D.; Hopfe, V.; Krause, S.; Spitzl, R.
Patent
2006Plasmachemische Gasphasenabscheidung und Plasmaätzen bei Atmosphärendruck mittels einer linear ausgedehnten DC-Bogenplasmaquelle
Dani, I.; Hopfe, V.; Rogler, D.; Lopez, E.; Mäder, G.
Journal Article
2006Transparente Kratzschutzschichten mittels Plasma-CVD bei Atmosphärendruck
Dani, I.; Hopfe, V.; Kotte, L.; Linaschke, D.; Rogler, D.; Tschöcke, S.
Journal Article
2005Linear extended ArcJet-CVD - a new PECVD approach for continuous wide area coating under atmospheric pressure
Hopfe, V.; Rogler, D.; Mäder, G.; Dani, I.; Landes, K.; Theophile, E.; Dzulko, M.; Rohrer, C.; Reichhold, C.
Journal Article
2005Modul und Verfahren fuer die Modifizierung von Substratoberflaechen bei Atmosphaerenbedingungen
Maeder, G.; Rogler, D.; Hopfe, V.
Patent
2005Remote microwave PECVD for continuous, wide-area coating under atmospheric pressure
Hopfe, V.; Spitzl, R.; Dani, I.; Maeder, G.; Roch, L.; Rogler, D.; Leupolt, B.; Schöneich, B.
Journal Article
2004Development of a novel DC plasma source for coating and surface modification under atmospheric pressure
Theophile, E.; Kim, H.-M.; Dzulko, M.; Landes, K.D.; Rogler, D.; Maeder, G.; Hopfe, V.
Conference Paper
2004Verfahren und Vorrichtung zur grossflaechigen Beschichtung von Substraten bei Atmosphaerendruckbedingungen
Hopfe, V.; Maeder, G.; Rogler, D.; Schreuders, C.
Patent
1999Untersuchungen zur Abscheidung siliziumbasierter Schichtsysteme mittels Remote-Plasmaverfahren bei Atmosphärendruck
Rogler, D.
Thesis