Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002Comparison of layer properties deposited with unipolar and bipolar pulsed magnetron sputtering
Krause, U.; Peters, C.; Rettich, T.; Wiedemuth, P.
Conference Paper
2002Dual Magnetron Sputter System as dc cathode - an investigation of its electrical properties
Krause, U.; Rettich, T.; Wiedemuth, P.
Conference Paper
1996Einrichtung zur Leistungsmodulation bei einer Plasmaanregung, vorzugsweise beim Einsatz von Gaslasern
Rettich, T.
Patent
1993Vorrichtungen zur elektrischen Anregung eines Gases mit Mikrowellenenergie
Klein, J.; Rettich, T.; Pflueger, S.; Loosen, P.
Patent
1991Nd-YAG-Laser mit elektrodenloser mikrowellenangeregter Lampe
Rettich, T.; Wiesmann, H.
Journal Article