Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2011Atomic layer deposition of ruthenium films from (Ethylcyclopentadienyl)(pyrrolyl)ruthenium and oxygen
Kukli, K.; Kemeli, M.; Puukilainen, E.; Aarik, J.; Aidla, A.; Sjavaara, T.; Laitinen, M.; Tallarida, M.; Sundqvist, J.; Ritala, M.; Leskela, M.
Journal Article
2007Study of a novel ALD process for depositing MgF2 thin films
Pilvi, T.; Hatanpaa, T.; Puukilainen, E.; Arstila, K.; Bischoff, M.; Kaiser, U.; Kaiser, N.; Leskela, M.; Ritala, M.
Journal Article