Fraunhofer-Gesellschaft

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2006EUV aources for the alpha-tools
Pankert, J.; Apetz, R.; Bergmann, K.; Damen, M.; Derra, G.; Franken, O.; Janssen, M.; Jonkers, J.; Klein, J.; Kraus, H.; Krücken, T.; List, A.; Loeken, M.; Mader, A.; Metzmacher, C.; Neff, W.; Probst, S.; Prümmer, R.; Rosier, O.; Schwabe, S.; Seiwert, S.; Siemons, G.; Vaudrevange, D.; Wagemann, D.; Weber, A.; Zink, P.; Zitzen, O.
Conference Paper
2006Ladevorrichtung fuer einen Ladekondensator, insbesondere zur Speisung von Entladungslampen
Klein, J.; Seiwert, S.; Probst, S.; Loef, C.; Neff, W.
Patent
2006Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer elektrischen Entladevorrichtung
Loeken, M.; Neff, W.; Klein, J.; Probst, S.
Patent
2005Integrating Philips' extreme UV source in the alpha-tools
Pankert, J.; Apetz, R.; Bergmann, K.; Derra, G.; Janssen, M.; Jonkers, J.; Klein, J.; Krücken, T.; List, A.; Loeken, M.; Neff, W.; Probst, S.; Prummer, R.; Rosier, O.; Seiwert, S.; Siemons, G.; Vaudrevange, D.; Wagemann, D.; Weber, A.; Zink, P.; Zitzen, O.
Conference Paper
2004Status of Philips' extreme UV source
Pankert, J.; Bergmann, K.; Klein, J.; Neff, W.; Rosier, O.; Seiwert, S.; Smith, C.; Probst, S.; Vaudrevange, D.; Siemons, G.; Apetz, R.; Jonkers, J.; Locken, M.; Derra, G.; Krücken, T.; Zink, P.
Conference Paper
2003Physical properties of the HCT EUV source
Pankert, J.; Bergmann, K.; Klein, J.; Neff, W.; Rosier, O.; Seiwert, S.; Smith, C.; Probst, S.; Vaudrevange, D.; Siemons, G.; Apetz, R.; Jonkers, J.; Löken, M.; Bosch, E.; Derra, G.; Krucken, T.; Zink, P.
Conference Paper
2001Nanopartikel in Nickelmatrizes - Herstellung, Strukturen und Eigenschaften
Probst, S.; Dietz, A.; Stindt, B.; Söchting, M.
Conference Paper
1997Strukturuntersuchungen an nanodiamanthaltigen NickelDispersionsschichten mittels anomaler Röntgenkleinwinkelstreuung (ASAXS)
Probst, S.; Schiffmann, K.; Goerigk, G.
Book Article