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| 2003 | VERFAHREN ZUR REGELUNG VON REAKTIVEN SPUTTERPROZESSEN
Bringmann, U.; Hoeing, T.; Malkomes, N.; Szyszka, B.; Vergoehl, M.; Poeckelmann, R. | Patent |
| 2001 | Metallization of polymers by plasma pretreatment followed by an electroplating process
Matthée, T.; Weber, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P. | Conference Paper |
| 2000 | Elektrisch kontaktierbare Maske zur Herstellung von dreidimensionalen Schaltungstraegern
Poeckelmann, R.; Luethje, H.; Klages, C.; Matthee, T. | Patent |
| 2000 | Haftfeste Metallisierung von Kunststoffen durch eine Plasmaaktivierung
Matthee, T.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P. | Journal Article |
| 2000 | TCO-coating of polymer substrates using reactive MF-magnetron sputtering of ZnO:Al layers
Szyszka, B.; Jiang, X.; Höing, T.; Pöckelmann, R.; Bringmann, U.; Bräuer, G. | Conference Paper |
| 1999 | Haftfeste Metallisierung von Kunststoffen durch eine Plasmaaktivierung
Matthee, T.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.; Weber, A.; Busse, J. | Conference Paper |
| 1999 | Plasmaaktivierung. Haftfeste Metallisierung von Kunststoffen durch Plasmavorbehandlung
Matthee, T.; Dietz, A.; Pöckelmann, R. | Journal Article |
| 1998 | Electrical and optical properties of amorphous fluorocarbon films prepared by plasma polymerization of perfluoro-1,3-dimethylcyclohexane
Weber, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P. | Journal Article |
| 1997 | Metallization of polymers using plasma enhanced chemical vapor deposited titanium nitride as interlayer
Weber, A.; Dietz, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P. | Conference Paper |
| 1997 | Plasma CVD of high quality titanium nitride using titanium (IV) isopropoxide as precursor
Weber, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P. | Journal Article |
| 1997 | Plasmaunterstützte Vorbehandlung und Metallisierung von Kunststoffen
Weber, A.; Pöckelmann, R.; Hippel, I.; Dietz, A. | Conference Paper |
| 1997 | Umweltverträgliche Metallisierung von Polymerwerkstoffen
Weber, A.; Dietz, A.; Hippel, I.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P. | Conference Paper |
| 1996 | Verfahren zur Herstellung von TiN-Schichten und die mit diesem Verfahren hergestellte Schicht
Weber, A.; Poeckelmann, R.; Klages, C.-P. | Patent |
| 1995 | Deposition of high quality TiN using tetra-iso-propoxide titanium in an electron cyclotron resonance plasma process
Weber, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P. | Journal Article |
| 1995 | Electroplating of fluoropolymers using ECR plasma deposited TiN as interlayer
Weber, A.; Dietz, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P. | Conference Paper |
| 1995 | Electroplating of poly(tetrafluoro-ethylene) using plasma enhanced chemical vapor deposited titanium nitride as interlayer
Weber, A.; Dietz, A.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P. | Journal Article |
| 1995 | Superharte Kohlenstoffnitrid C3N4-Schichten
Bewilogua, K.; Weber, A.; Hübsch, H.; Pöckelmann, R. | Research Report |
| 1993 | Influence of plasma activation on the deposition of Ti, TiN and Cu using metalorganic compounds
Weber, A.; Nikulski, R.; Bringmann, U.; Gernhuber, M.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P. | Conference Paper |
| 1993 | Low temperature deposition of TiN in an ECR plasma enhanced process
Weber, A.; Bringmann, U.; Nikulkski, R.; Pöckelmann, R.; Klages, C.-P.; Gross, M.E.; Brown, W.L.; Charatan, R.M.; Dons, E.; Eaglesham, D.J. | Conference Paper |