Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1991Laser-Sputtern von Mehrlagen-Metallschichten für eine verbesserte Kontakt- und Metallisierungstechnologie
Seegebrecht, P.; Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Conference Paper
1991Laserunterstütztes Aufdampfen von Mehrlager-Metallschichten für eine verbesserte Kontakt- und Metallisierungstechnologie
Pielmeier, R.; Bollmann, D.; Heuberger, K.; Seegebrecht, P.
Conference Paper
1991Metallization of integrated circuits by laser evaporation of metal sandwich layers
Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Conference Paper
1990Laser evaporation of metal sandwich layers for improved IC metallization
Pielmeier, R.; Bollmann, D.; Haberger, K.
Conference Paper
1990Laser evaporation of metal sandwich layers for improved IC metallization
Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Journal Article