Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021Experimental and theoretical study of a magnetron DC-PECVD acetylene discharge
Fauroux, Antoine; Pflug, Andreas; Lucas, Stéphane
Journal Article
2021Impact of ion species on ion beam sputtered Ta₂O₅ layer quality parameters and on corresponding process productivity
Sakiew, Wjatscheslaw; Schwerdtner, Philippe; Jupé, Marco; Pflug, Andreas; Ristau, Detlev
Journal Article
2021Link between plasma properties with morphological, structural and mechanical properties of thin Ti films deposited by high power impulse magnetron sputtering
Moskovkin, Pavel; Maszl, Christian; Schierholz, Roland; Breilmann, Wolfgang; Petersen, Jan; Pflug, Andreas; Müller, Jérôme; Raza, Mohsin; Konstantinidis, Stephanos; Keudell, Achim von; Lucas, Stéphane
Journal Article
2021Understanding the role of energetic particles during the growth of TiO2 thin films by reactive magnetron sputtering through multi-scale Monte Carlo simulations and experimental deposition
Tonneau, Romain; Moskovkin, Pavel; Müller, Jérôme; Melzig, Thomas; Haye, Emile; Konstantinidis, Stephanos; Pflug, Andreas; Lucas, Stéphane
Journal Article
2021Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Schichten mit verbesserter Uniformität bei Beschichtungsanlagen mit horizontal rotierender Substratführung mit zusätzlichen Plasmaquellen
Vergöhl, Michael; Pflug, Andreas; Zickenrott, Tobias; Bruns, Stefan
Patent
2020Device and method for coating substrates with planar or shaped surfaces by magnetron sputtering
Vergöhl, Michael; Pflug, Andreas; Bruns, Stefan; Kaiser, André; Melzig, Thomas; Zickenrott, Tobias
Patent
2020Experimental and theoretical study of a magnetron DC-PECVD acetylene discharge
Fauroux, Antoine; Vandenabeele, Cédric; Pflug, Andreas; Lucas, Stéphane
Journal Article
2020Magnetron sputtering. Determining scaling relations towards real power discharges using 3D particle-in-cell Monte Carlo models
Tonneau, Romain; Pflug, Andreas; Lucas, Stéphane
Journal Article
2020Plasma polymerization of cyclopropylamine in a low-pressure cylindrical magnetron reactor
Mathioudaki, Stella; Vandenabeele, Cédric; Tonneau, Romain; Pflug, Andreas; Tennyson, Jonathan; Lucas, Stéphane
Journal Article
2020Simulation of microparticle motion and contamination in plasma coating systems
Schulz, Philipp; Pflug, Andreas; Kricheldorf, Hans-Ulrich
Journal Article
2020Vorrichtung und Verfahren zur Herstellung von Schichten mit verbesserter Uniformität bei Beschichtungsanlagen mit horizontal rotierender Substratführung
Vergöhl, Michael; Pflug, Andreas; Bruns, Stefan; Zickenrott, Tobias
Patent
201918th International Conference on Reactive Sputter Deposition, RSD 2019
: Gerdes, Holger (VorsitzendeR); Bräuer, Günter (VorsitzendeR); Bandorf, Ralf (sonsigeR MitwirkendeR); Pflug, Andreas (sonstigeR MitwirkendeR); Kondruweit, Simone (sonstigeR MitwirkendeR)
Conference Proceedings
2019Simulation assisted deposition of optical filters onto 3D substrates by magnetron-sputtering
Pflug, Andreas; Bruns, Stefan; Zickenrott, T.; Britze, Chris; Vergöhl, Michael
Conference Paper
2016Advanced coatings for large-area or high-volume products
: Kondruweit, Simone (Hrsg.); Pflug, Andreas (Hrsg.); Pütz, Jörg (Hrsg.)
Conference Proceedings
2008Produktionstechnik für funktionale Oberflächen
Heckmann, Ulrike; Bandorf, Ralf; Diehl, Wolfgang; Holeczek, Harald; Klotzbach, Udo; Kondruweit-Reinema, Simone; Leson, Andreas; Metzner, Martin; Pflug, Andreas; Zimmer, Otmar
Journal Article
2008Produktionstechnik zur Erzeugung funktionaler Oberflächen
: Bandorf, Ralf (Projektleitung); Diehl, Wolfgang (Mitarb.); Heckmann, Ulrike (Mitarb.); Holeczek, Harald (Mitarb.); Klotzbach, Udo (Mitarb.); Kondruweit-Reinema, Simone (Mitarb.); Leson, Andreas (Mitarb.); Metzner, Martin (Mitarb.); Pflug, Andreas (Mitarb.); Zimmer, Otmar (Mitarb.)
Study
2008Thesen und Trends - Mit funktionalen Oberflächen in die Zukunft
Bandorf, Ralf; Diehl, Wolfgang; Heckmann, Ulrike; Holeczek, Harald; Klotzbach, Udo; Kondruweit-Reinema, Simone; Leson, Andreas; Metzner, Martin; Pflug, Andreas; Zimmer, Otmar
Journal Article