Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1985Duennschichtwiderstand
Panzer, S.; Steinhauer, I.; Schiller, S.; Pfeil, G.
Patent
1981Complete thin film system for hybrid circuits sputtered with the plasmatron
Schiller, S.; Heisig, U.; Goedicke, K.; Bilz, H.; Pfeil, G.; Henneberger, J.; Vogler, G.
Journal Article