Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Magnetron-aktivierte plasmachemische Dampfphasenabscheidung von amorphen und mikrokristallinen wasserstoffhaltigen Siliziumschichten
Pötschick, P.
Dissertation
2012Magnetron assisted PECVD process for deposition of a-Si:H and µc-Si:H from a silane-hydrogen-argon gas mixture
Frach, P.; Pötschick, P.; Bartzsch, H.; Delan, A.
Conference Paper
2010Verfahren zum Abscheiden dielektrischer Schichten im Vakuum sowie Verwendung des Verfahrens
Bartzsch, H.; Frach, P.; Fahland, M.; Gottfried, C.; Pötschick, P.
Patent