Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Vorrichtung mit Abscheidekammer mit turbulenter Gasführung zur kontinuierlichen Beschichtung von Substraten mittels Gasphasenabscheidung sowie Verfahren zu diesem Zweck unter Verwendung einer solchen Vorrichtung
Keller, Martin; Reber, Stefan; Schillinger, Norbert; Pocza, David; Arnold, Martin; Krogull, Dirk
Patent
2013Comparison between experimental results and CFD model calculations for high-throughout continuous silicon chemical vapour deposition epitaxy
Pócza, D.; Schillinger, N.; Barth, P.; Krogull, D.; Arnold, M.; Keller, M.; Reber, S.
Conference Paper
2013Verfahren und Vorrichtung zur kontinuierlichen Beschichtung von Substraten
Reber, Stefan; Schillinger, Norbert; Pocza, David; Arnold, Martin
Patent
2012Advances in equipment and process development for high-throughput continuous silicon epitaxy
Reber, S.; Pocza, D.; Keller, M.; Arnold, M.; Schillinger, N.; Krogull, D.
Conference Paper
20113D epitaxial growth through holes for the fabrication of thin-film solar cells
Brinkmann, N.; Pocza, D.; Mitchell, E.J.; Reber, S.
Journal Article
2011In-line silicon epitaxy for photovoltaics using a continous chemical vapour deposition reactor
Keller, M.; Reber, S.; Schillinger, N.; Pocza, D.; Arnold, M.
Journal Article
2010Gasschleuse sowie Beschichtungsvorrichtung mit einer Gasschleuse
Pocza, D.; Reber, S.; Arnold, M.; Schillinger, N.
Patent
2010Haltevorrichtung für Substrate sowie Verfahren zur Beschichtung eines Substrates
Reber, S.; Schillinger, N.; Arnold, M.; Pocza, D.
Patent
2009ConCVD and ProConCVD: Development of high-throughput CVD tools on the way to low-cost silicon epitaxy
Reber, S.; Arnold, M.; Pócza, D.; Schillinger, N.
Conference Paper
2003PEM fuel cells for the power supply of electronic appliances
Hebling, C.; Burger, B.; Hakenjos, A.; Hesselmann, J.; Münter, H.; Pócza, D.; Schumacher, J.O.; Wittstadt, U.; Zedda, M.; Zobel, M.
Conference Paper
2003Visualization of water buildup in the cathode of a transparent PEM fuel cell
Tüber, K.; Pócza, D.; Hebling, C.
Journal Article