Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Aspects of high aspect ratio silicon etching - capacitor application
Rudolph, Matthias; Pätzold, Björn; Czernohorsky, Malte
Presentation
2018Tuning parameters and their impact on ferroelectric hafnium oxide
Polakowski, Patrick; Büttner, Teresa; Ali, Tarek Nadi Ismail; Riedel, Stefan; Kämpfe, Thomas; Seidel, Konrad; Müller, Johannes; Pätzold, Björn
Presentation
2016Catalytic ALD of SiO2 as spacer for an E-Beam direct write self-aligned double patterning process on 300 mm wafers
Kühnel, Kati; Riedel, Stefan; Weinreich, Wenke; Thrun, Xaver; Czernohorsky, Malte; Pätzold, Björn; Rudolph, Matthias
Presentation
2016Reaktives Ionenätzen zur Mehrfachstrukturierung und Elektrodentrennung für Kondensatoranwendungen in der Halbleiterindustrie
Pätzold, Björn
: Hohle, Christoph; Rudolph, Matthias; Rennekamp, Reinhold
Master Thesis