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| 2012 | Factory integration
Oechsner, Richard | Journal Article |
| 2012 | Predictive sampling approach to dynamically optimize defect density control operations
Pfeffer, M.; Oechsner, R.; Pfitzner, L.; Eckert, S.; Hartmann, A.; Gold, H.; Biebl, G.; Kaspar, J. | Conference Paper |
| 2010 | Advanced process control - lessons learned from semiconductor manufacturing
Schellenberger, M.; Roeder, G.; Öchsner, R.; Schöpka, U.; Kasko, I. | Journal Article |
| 2010 | Yield model for estimation of yield impact of semiconductor manufacturing equipment
Nutsch, A.; Oechsner, R.; Schoepka, U.; Pfitzner, L. | Conference Paper |
| 2009 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2008
: Öchsner, R.; Frey, L. | Annual Report |
| 2009 | Performance optimization of semiconductor manufacturing equipment by the application of discrete event simulation
Pfeffer, M.; Pfitzner, L.; Ocker, B.; Öchsner, R.; Ryssel, H.; Verdonck, P. | Conference Paper |
| 2009 | Properties of TaN thin films produced using PVD linear dynamic deposition technique
Kozlowska, M.; Oechsner, R.; Pfeffer, M.; Bauer, A.J.; Meissner, E.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Maass, W.; Langer, J.; Ocker, B.; Schmidbauer, S.; Gonchond, J.-P. | Journal, Conference Paper |
| 2009 | Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten eines Substrates
Schöpka, U.; Öchsner, R.; Pfeffer, M.; Maass, W.; Langer, J.; Ocker, B. | Patent |
| 2008 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2007
: Öchsner, R.; Ryssel, H. | Annual Report |
| 2007 | Approach for a standardized methodology for multisite processing of 300-mm wafers at R&D sites
Oechsner, R.; Pfeffer, M.; Frickinger, J.; Schellenberger, M.; Roeder, G.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Fritzsche, M.; Kaushik, V.; Renaud, D.; Danel, A.; Claeys, C.; Bearda, T.; Lering, M.; Graef, M.; Murphy, B.; Walther, H.; Hury, S. | Journal Article |
| 2007 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2006
: Öchsner, R.; Ryssel, H. | Annual Report |
| 2007 | Metrology, analysis and characterization in micro- and nanotechnologies
Pfitzner, L.; Nutsch, A.; Öchsner, R.; Pfeffer, M.; Don, E.; Wyon, C.; Hurlebaus, M. | Conference Paper |
| 2006 | Approach for a standardized methodology for mulit-site processing of 300 mm wafers at R&D-sites
Öchsner, R.; Frickinger, J.; Pfeffer, M.; Schellenberger, M.; Roeder, G.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Fritzsche, M.; Kaushik, V.; Renaud, D.; Danel, A.; Claeys, C.; Bearda, T.; Lering, M.; Graef, M.; Murphy, B.; Walther, H.; Hury, S. | Conference Paper |
| 2006 | Creation of e-learning content for microelectronics manufacturing
Öchsner, R.; Pfeffer, M.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Beer, K.; Boldin, M.; Mey, B. de; Engelhard, M.; O'Murchu, C.; Ditmar, J.; Colson, P.; Madore, M.; Krahn, L.; Kempe, W.; Luisman, E. | Conference Paper |
| 2006 | Creation of e-learning content for microelectronics manufacturing
Öchsner, R.; Pfeffer, M.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Beer, K.; Boldin, M.; Mey, B. de; Engelhard, M.; O'Murchu, C.; Ditmar, J.; Colson, P.; Madore, M.; Krahn, L.; Kempe, W.; Luisman, E. | Conference Paper |
| 2006 | Flying Wafer - A standardised methodology for multi-site processing of 300 mm wafers at R&D-sites
Frickinger, J.; Oechsner, R.; Schellenberger, M.; Pfeffer, M.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Claeys, C.; Claes, M.; Bearda, T.; Renaud, D.; Danel, A.; Lering, M.; Graef, M.; Kaushik, V.; Murphy, B.; Fritzsche, M.; Walther, H.; Hury, S. | Conference Paper |
| 2006 | Flying wafer - A standardised methodology for multi-site processing Of 300 Mm wafers at research and development-sites
Frickinger, J.; Öchsner, R.; Schellenberger, M.; Pfeffer, M.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Claes, M.; Bearda, T.; Renaud, D.; Danel, A.; Lering, M.; Graef, M.; Kaushik, V.; Murphy, B.; Fritzsche, M.; Walther, H.; Hury, S. | Conference Paper |
| 2006 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2005
: Öchsner, R.; Ryssel, H. | Annual Report |
| 2006 | Metrology and high resolution mapping of shallow junctions formed by low energy implant processes
Don, E.; Pap, A.; Tutto, P.; Pavelka, T.; Wyon, C.; Laviron, C.; Sotta, D.; Oechsner, R.; Pfeffer, M. | Conference Paper |
| 2006 | Prospects for the realization of APC in a distributed 300 mm R&D-line
Roeder, G.; Schellenberger, M.; Öchsner, R.; Pfeffer, M.; Frickinger, J.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Fritzsche, M. | Conference Paper |
| 2006 | Scenario for a yield model based on reliable defect density data and linked to advanced process control
Nutsch, A.; Öchsner, R. | Conference Paper |
| 2006 | Trends in European R&D - Advanced process control down to atomic scale for micro- and nanotcchnologies
Pfitzner, L.; Schellenberger, M.; Oechsner, R.; Roeder, G.; Pfeffer, M. | Conference Paper |
| 2005 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2004
: Öchsner, R.; Ryssel, H. | Annual Report |
| 2004 | E-Learning for microelectronics manufacturing
Oechsner, R.; Pfeffer, M.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Beer, K.; Boldin, M. | Conference Paper |
| 2004 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2003
: Öchsner, R.; Ryssel, H. | Annual Report |
| 2004 | Qualitaetsueberwachung bei einer Fertigung mit breitem Produktspektrum
Oechsner, R.; Tschaftary, T.; Strzyzewski, P.; Pfitzner, L.; Schneider, C.; Hennig, P. | Patent |
| 2003 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2002
: Öchsner, R.; Ryssel, H. | Annual Report |
| 2003 | IMA-Workshop Grenoble, France
Roeder, G.; Öchsner, R.; Schneider, C. | Journal Article |
| 2002 | Cell adhesion on modified polyethylene
Svorcik, V.; Rockova, K.; Dvorancova, B.; Broz, L.; Hnatowicz, V.; Öchsner, R.; Ryssel, H. | Journal Article |
| 2002 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2001
: Öchsner, R.; Ryssel, H.; Pfeffer, M. | Annual Report |
| 2002 | From overall equipment efficiency (OEE) to overall Fab effectiveness (OFE)
Oechsner, R.; Pfeffer, M.; Pfitzner, L.; Binder, H.; Müller, E.; Vonderstrass, T. | Conference Paper, Journal Article |
| 2002 | Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoffelektroden und chemischen Feldeffektransistoren sowie dadurch hergestellte Kohlenstoffelektroden und chemische Feldeffektransistoren und deren Verwendung
Schnupp, R.; Ryssel, H.; Oechsner, R. | Patent |
| 2001 | Amino acids grafting of Ar+ ions modified PE
Svorcik, V.; Hnatowicz, V.; Stopka, P.; Bacáková, L.; Heitz, J.; Öchsner, R.; Ryssel, H. | Journal Article |
| 2001 | Cost reduction strategies for wafer expenditure
Pfitzner, L.; Benesch, N.; Öchsner, R.; Schmidt, C.; Schneider, C.; Tschaftary, T.; Trunk, R.; Dudenhausen, H.-M. | Journal Article |
| 2001 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2000
: Öchsner, R.; Ryssel, H.; Pfeffer, M.; Schmeing, M. | Annual Report |
| 2000 | Adhesion and proliferation of keratinocytes on ion beam modified polyethylene
Svorcik, V.; Walachova, K.; Proskova, K.; Dvoankova, B.; Vogtova, D.; Öchsner, R.; Ryssel, H. | Journal Article |
| 2000 | Feed-forward control for a lithography/etch sequence
Öchsner, R.; Tschaftary, T.; Sommer, S.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Gerath, H.; Baier, C.; Hafner, M. | Conference Paper |
| 2000 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1999
: Öchsner, R.; Ryssel, H. | Annual Report |
| 1999 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1998
: Öchsner, R.; Ryssel, H. | Annual Report |
| 1999 | Novel process control strategies for 300 mm semiconductor production
Pfitzner, L.; Oechsner, R.; Schneider, C.; Ryssel, H.; Riemer, M.; Podewils, M. von | Journal Article |
| 1998 | AFM surface investigation of polyethylene modified by ion bombardment
Svorcik, V.; Arenholz, E.; Hnatowicz, V.; Rybka, V.; Öchsner, R.; Ryssel, H. | Journal Article |
| 1998 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1997
: Öchsner, R.; Ryssel, H. | Annual Report |
| 1997 | Cleaning process optimization in a gate oxide cluster tool using an in-line XPS module
Froeschle, B.; Glowacki, F.; Bauer, A.J.; Kasko, I.; Öchsner, R.; Schneider, C. | Conference Paper |
| 1997 | Degradation of polymide by implantation with Ar+ ions
Svorcik, V.; Rybka, V.; Hnatowicz, V.; Mieek, I.; Jankovkij, O.; Öchsner, R.; Ryssel, H. | Journal Article |
| 1997 | Fraunhofer-Institut für Integrierte Schaltungen, Bereich Bauelementetechnologie. Achievements and results. Annual report 1996
: Öchsner, R.; Ryssel, H. | Annual Report |
| 1997 | Integrated process control for cluster tools using an in-line analytical module
Kasko, I.; Oechsner, R.; Froeschle, B.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H. | Conference Paper |
| 1997 | Modifikation der Oberflächeneigenschaften von Polymeren durch Ionenimplantation
Öchsner, R. | Dissertation |
| 1997 | Monitoring strategies for yield enhancement
Pfitzner, L.; Oechsner, R.; Scheider, C.; Ryssel, H.; Riemer, M.; Treiber, T.; Podewils, M. von | Conference Paper |
| 1997 | A novel XPS system for integration into advanced semiconductor equipment for in-line process control
Kasko, I.; Oechsner, R.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Trubitsyn, A.A.; Kratenko, V.I. | Conference Paper |
| 1994 | High dose and intense implantation of the multiply charged Al plus n, Ti plus n and C plus n into alfa-iron
Pogrebnjak, A.D.; Bakharev, O.G.; Martynenko, V.A.; Rudenko, V.A.; Brusa, R.; Zecca, A.; Ryssel, H.; Tikhomirov, I.A.; Ryabchikov, A.I.; Öchsner, R. | Journal Article |
| 1993 | Improvement of surface properties of polymers by ion implantation
Öchsner, R.; Kluge, A.; Zechel-Malonn, S.; Gong, L.; Ryssel, H. | Journal Article |
| 1992 | The effect of ion implantation on the lifetime of punches
Öchsner, R.; Kluge, A.; Ryssel, H.; Stepper, M.; Straede, C.; Politiek, J. | Conference Paper |
| 1992 | The effect of ion implantation on the lifetime of punches
Öchsner, R.; Kluge, A.; Ryssel, H.; Stepper, M.; Straede, C.; Politiek, J. | Conference Paper |
| 1992 | Reduction of friction and wear by ion-implanted carbonized photoresit
Bogen, S.; Gyulai, J.; Kluge, A.; Öchsner, R.; Ryssel, H. | Conference Paper |
| 1992 | Reduction of friction and wear by ion-implanted carbonized photoresit
Bogen, S.; Gyulai, J.; Kluge, A.; Öchsner, R.; Ryssel, H. | Conference Paper |
| 1989 | A versatile ion implanter for material modification
Kluge, A.; Öchsner, R.; Ryssel, H. | Journal Article, Conference Paper |
| 1988 | A comparison of the wear behavior of Ag, B, C, N, Pb and Sn implanted steels with 1.5 to 1.8 % chromium
Langguth, K.; Kobs, K.; Kluge, A.; Öchsner, R.; Ryssel, H. | Conference Proceedings |
| 1988 | Examination of wear, hardness and friction of N, B, C, Ag, Pb and Sn implanted steels with different chromium content
Langguth, K.; Kobs, K.; Kluge, A.; Öchsner, R.; Ryssel, H. | Conference Proceedings |