Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Measurement of Young's modulus and residual stress of thin SiC layers for MEMS high temperature applications
Pabst, O.; Schiffer, M.; Obermeier, E.; Tekin, T.; Lang, K.D.; Ngo, H.-D.
Journal Article
2011Measurement of Young's modulus and residual stress of thin SiC layers for MEMS high temperature applications
Pabst, O.; Schiffer, M.; Obermeier, E.; Tekin, T.; Lang, K.-D.; Ngo, H.-D.
Conference Paper
2001Convex corner undercutting of (100) silicon in anisotropic KOH etching
Schröder, H.; Obermeier, E.; Horn, A.; Wachutka, G.K.M.
Journal Article
1997A smart pressure transducer with on-chip readout, calibration and nonlinear temperature compensation based on spline functions
Machul, O.; Hammerschmidt, D.; Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Obermeier, E.; Krause, P.
Conference Paper
1995Influence of annealing on elastic properties of LPCVD silicon nitride and LPCVD polysilicon
Maier-Schneider, D.; Ersoy, A.; Maibach, J.; Schneider, D.; Obermeier, E.
Journal Article
1995A smart pressure sensor with on-chip calibration and compensation capability
Obermeier, Ernst; Hein, Stefan; Schlichting, Volker; Hammerschmidt, Dirk; Schnatz, Frank V.; Hosticka, Bedrich J.
Journal Article
1994Automatischer Abgleichalgorithmus für integrierte CMOS-Drucksensoren mit on-chip Programmierung.
Schlichting, V.; Lossy, R.; Graf, N.; Obermeier, E.; Hammerschmidt, D.; Schnatz, F.V.; Hosticka, B.J.
Conference Paper
1994Ein monolithisch integriertes CMOS-Drucksensorsystem mit Temperaturkompensation und On-Chip gespeicherten Kalibrationsdaten
Hammerschmidt, D.; Schnatz, F.V.; Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Schlichting, V.; Obermeier, E.
Conference Paper
1993A CMOS piezoresistive pressure sensor with on-chip programming and calibration
Brockherde, W.; Hammerschmidt, D.; Hosticka, B.J.; Obermeier, E.; Schnatz, F.V.
Conference Paper
1993Digital programmable pressure sensor with on-chip CMOS signal processing and data storage
Schlichting, V.; Hammerschmidt, D.; Hosticka, B.J.; Obermeier, E.; Pollak-Diener, G.; Schnatz, F.V.
Conference Paper
1992Kapazitiver Siliziumdrucksensor mit on-chip CMOS-Signalverarbeitung
Mehlhorn, T.; Benzel, H.W.; Kopystynski, P.; Obermeier, E.; Schnatz, F.V.; Schöneberg, U.
Conference Paper
1992Smart CMOS capacitive pressure transducer with on-chip calibration capability
Mehlhorn, T.; Benzel, H.W.; Brockherde, W.; Kopystynski, P.; Obermeier, E.; Schnatz, F.V.; Schöneberg, U.
Journal Article
1991CMOS integrated capacitive pressure transducer with on-chip electronics and digital calibration
Kopystynski, P.; Mehlhorn, T.; Benzel, H.; Brockherde, W.; Obermeier, E.; Schnatz, F.V.; Schöneberg, U.
Conference Paper
1990A thin-film bolometer for radiation thermometry at ambient temperature
Kühl, K.; Obermeier, E.; Lang, W.
Journal Article
1989IDC gas sensors using organically modified silicate layers as gas-sensing substances
Obermeier, E.; Lin, J.; Müller, T.; Hutter, F.
Conference Paper
1988Dielectric gassensors based on heteropolysiloxanes
Obermeier, E.; Drost, S.; Endres, H.-E.
Conference Paper
1988Influence of surface conductivity on the response of planar capacitive humidity sensors
Richter, A.; Möller, S.; Obermeier, E.
Conference Paper
1988Influence of surface resistance on the response of planar capacitive humidity sensors
Richter, A.; Möller, S.; Obermeier, E.
Conference Paper
1987An interchangeable silicon pressure sensor with on-chip compensation circuitry
Kopystynski, P.; Obermeier, E.
Conference Paper
1987Sensoren fuer die selektive Bestimmung von Komponenten in fluessiger oder gasfoermiger Phase
Schmidt, H.; Hutter, F.; Haas, K.H.; Obermeier, E.; Steger, U.; Drost, S.; Endres, H.-E.
Patent
1987A silicon based micromechanical accelerometer with cross acceleration sensitivity compensation
Sandmaier, H.; Kühl, K.; Obermeier, E.
Conference Paper
1986Characteristics of polysilicon layers and their applications in sensors
Obermeier, E.; Kopystynski, P.; Niessl, R.
Book Article
1986The development of gas-sensing MOSFET's using organically-modified silicates -ORMOSILES-
Obermeier, E.; Drost, S.; Endres, H.-E.
Conference Paper
1986Feldeffekttransistoren als chemische Sensoren
Obermeier, E.; Drost, S.
Book Article
1986Frequenzanaloger Vielfachsensor
Obermeier, E.; Reichl, H.
Patent
1986Gassensitive MOS-Feldeffekttransistoren mit Gate-Beschichtung aus Ormosil
Obermeier, E.; Kaas, K.-H.; Drost, S.; Endres, H.-E.; Hutter, F.; Schmidt, H.
Conference Paper
1986Monolithische Integration von Sensor und Signalverarbeitung
Obermeier, E.; Kopystynski, P.
Book Article
1986Polysilizium-Temperatursensor mit linearer Kennlinie
Kopystynski, P.; Obermeier, E.
Conference Paper
1986Reduzierung der Nichtlinearitaet von Siliziumdrucksensoren fuer kleine Druecke
Sandmaier, H.; Obermeier, E.
Conference Paper
1986Sensor und Signalverarbeitung auf einem Chip - Entwicklungstendenzen und Risiken
Obermeier, E.
Journal Article
1985Elektronische Meßaufnehmer-Anordnungen und ihre "Intelligenz"
Obermeier, E.
Book Article
1984Frequenzanaloger Sensor
Obermeier, E.; Reichl, H.
Patent
1983Laser-recrystallized polycristalline silicon resistors for integrated circuits application
Schaber, H.; Cutter, D.; Obermeier, E.; Binder, J.
Journal Article
1983Moeglichkeiten der Duennfilmtechnologie bei der Entwicklung von Sensoren
Obermeier, E.
Book Article
1982Entwicklung von Dünnfilm-Sensoren
Obermeier, E.
Conference Paper
1982Polykristalline Siliziumschichten als Basismaterial fuer Sensoren
Obermeier, E.; Reichl, H.
Conference Paper
1982Polysilicon thin films for sensor applications
Obermeier, E.
Conference Paper
1981Kapazitiver Feuchtigkeitsfuehler und Verfahren zur Herstellung des Fuehlers
Obermeier, E.; Reichl, H.
Patent