Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Spiegel zur Reflexion von EUV-Strahlung in Strahlung im Spektralbereich zwischen 6 nm und 10 nm und optische Anordnung mit dem Spiegel
Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy; Kaiser, Norbert; Wezyk, Alexander von; Bergmann, Klaus
Patent
2017Spiegel zur Reflexion von EUV-Strahlung mit Spannungskompensation und Verfahren zu dessen Herstellung
Kaiser, Norbert; Murray, Kevin; Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy
Patent
2015Advanced coatings for next generation lithography
Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy A.; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Conference Paper
2015La/B4C multilayer mirrors with an additional wavelength suppression
Naujok, Philipp; Yulin, Sergiy; Bianco, Anna; Mahne, Nicola; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas
Journal Article