Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1997Verfahren zum Kopieren von Lochmasken
Mueller, K.P.; Buchmann, L.M.
Patent
1990Microstructuring of gold on X-ray masks with focused Ga+ ion beams
Müller, K.P.; Petzold, H.-C.
Conference Paper
1989Lochmaske fuer die Verwendung bei ionen- oder elektronenoptischen Verfahren sowie Verfahren zur Herstellung einer solchen Lochmaske
Buchmann, L.M.; Csepregi, L.; Mueller, K.P.
Patent
1989Magnetically enhanced reactive ion etching -MERIE- with different field configurations
Heinrich, F.; Mader, H.; Müller, K.P.
Journal Article
1989Magnetically enhanced reactive ion etching of silicon and silicon dioxide
Hoffmann, P.; Mingwen, Y.; Müller, K.P.
Journal Article
1989Multi electron beam lithography - fabrication of a control unit
Schnakenberg, U.; Wallendszus, V.; Heuberger, A.; Lischke, B.; Benecke, W.; Müller, K.P.
Journal Article
1989Simulation of X-ray mask repair by means of FIB-technology
Müller, K.P.
Journal Article
1988Sub-0.5-mym lithography with a new ion projection lithography machine using silicon open stencil masks
Csepregi, L.; Heuberger, A.; Müller, K.P.; Chalupka, A.; Hammel, E.; Löschner, H.; Stengl, G.; Buchmann, L.-M.
Journal Article
1987Open silicon stencil masks for demagnifying ion projection
Heuberger, A.; Buchmann, L.-M.; Csepregi, L.; Müller, K.P.
Conference Paper
1987Open stencil masks for ion projection lithography
Buchmann, L.-M.; Csepregi, L.; Müller, K.P.
Conference Paper
1987Redeposition in ion milling
Müller, K.P.; Pelka, J.
Journal Article
1987Verfahren und Vorrichtung zum Aufsammeln von Wassertropfen aus Nebel- oder bodennahen Wolken
Kins, L.; Junkermann, W.; Meixner, F.; Mueller, K.P.
Patent
1986Auswaschen von Spurenstoffen durch Wolken und Niederschlag
Kins, L.; Meixner, F.X.; Ehhalt, D.H.; Müller, K.P.
Conference Paper
1986Development and calibration of a ground-based active collector for cloud- and fogwater
Kins, L.; Meixner, F.X.; Müller, K.P.; Ehhalt, D.H.; Junkermann, W.
Conference Paper
1986Scavenging of trace substances by clouds and precipitation
Kins, L.; Meixner, F.X.; Müller, K.P.; Ehhalt, D.H.; Slanina, J.; Moels, J.J.; Beltz, N.; Jaeschke, W.; Rumpel, K.J.
Conference Paper
1986Simulation of focused ion beam milling
Mueller, K.P.; Weigmann, U.; Burghause, H.
Conference Paper
1986Untersuchungen zur trockenen Deposition und Emission von atmosphärischen NO, NO2 und HNO3 an natürlichen Oberflächen
Höfken, K.-D.; Meixner, F.X.; Müller, K.P.; Ehhalt, D.H.
Book
1985Bestimmung des chemischen Abbaus der Stickoxide in der Atmosphäre
Drummond, J.; Ehhalt, D.H.; Hübler, G.; Johnen, F.J.; Khedim, A.; Kins, L.; Meixner, F.X.; Mihelcic, D.; Müller, K.; Perner, D.; Platt, U.; Rudolph, B.; Rudolph, J.; Schubert, B.; Volz, A.; Kessler, C.; Junkermann, W.; Müller, K.P.; Vierkorn-Rudolph, B.
Book
1985Measurements of gaseous nitric acid and particulate nitrate
Meixner, F.X.; Müller, K.P.; Aheimer, G.; Köfken, K.D.
Book Article
1984E-beam metrology of chromium master masks and masks for x-ray lithography
Betz, H.; Heuberger, A.; Bruenger, W.H.; Mueller, K.P.
Journal Article