Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2004Advanced MEMS fabrication using CMP
Trotha, L. von; Mörsch, G.; Zwicker, G.
Journal Article
1992Raman spectroscopy of localized vibrational modes from carbon and carbon-hydrogen pairs in heavily carbon-doped GaAs epitaxial layers
Bachem, K.H.; Mörsch, G.; Kamp, M.; Fischer, A.; Lauterbach, T.; Maier, M.; Ploog, K.; Wagner, J.
Journal Article