Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Porous silicon thin films as anodes for lithium ion batteries deposited by co-evaporation of silicon and zinc
Saager, Stefan; Scheffel, Bert; Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Piwko, Markus; Dörfler, Susanne; Althues, Holger; Metzner, Christoph
Journal Article
2019Rate and Composition Control for Plasma-assisted EB-PVD Processes by Optical Emission Spectroscopy
Zimmermann, Burkhard; Mattausch, Gösta; Metzner, Christoph
Conference Paper
2019Synthesis of Porous Thin Films as Silicon Anodes for Lithium-Ion Batteries
Saager, Stefan; Scheffel, Bert; Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Piwko, Markus; Doerfler, Susanne; Althues, Holger; Metzner, Christoph
Journal Article
2018Porous silicon thin films as anodes for lithium ion batteries deposited by co-evaporation of silicon and zinc
Saager, Stefan; Scheffel, Bert; Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Piwko, Markus; Doerfler, Susanne; Althues, Holger; Metzner, Christoph
Conference Paper
2018Realization of RGB colors from top‐emitting white OLED by electron beam patterning
Bodenstein, Elisabeth; Schober, Matthias; Hoffmann, Marie; Metzner, Christoph; Vogel, Uwe
Journal Article
2017P-175: Direct electron beam micropatterning and thermal annealing of organic light emitting devices
Bodenstein, Elisabeth; Saager, Stefan; Metzner, Mario; Hoffmann, Marie; Hild, Olaf-Rüdiger; Metzner, Christoph; Vogel, Uwe
Journal Article
2017Plasma-assisted reactive high-rate vapor deposition of yttria-stabilized zirconia using electron beam evaporation and spotless vacuum arc
Scheffel, Bert; Zywitzki, Olaf; Metzner, Christoph
Journal Article
2017Verfahren zum Abscheiden einer CdTe-Schicht auf einem Substrat
Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Hirsch, Daniel; Zywitzki, Olaf; Decker, Ludwig
Patent
2017Verfahren zum Einstellen der Emission einer OLED
Bodenstein, Elisabeth; Metzner, Christoph; Saager, Stefan; Schober, Matthias; Vogel, Uwe
Patent
2016Electron Beam Induced High-Resolution Modification of OLED Emission
Bodenstein, Elisabeth; Saager, Stefan; Schober, Matthias; Metzner, Christoph; Vogel, Uwe
Conference Paper, Journal Article
2016The impact of oxygen inlet during close-spaced sublimation process on the as-deposited and chlorine treated microstructure of CdTe layers
Hirsch, D.; Zywitzki, O.; Modes, T.; Morgner, H.; Späth, B.; Siepchen, B.; Drost, C.; Kraft, C.; Krishnakumar, V.; Metzner, C.
Conference Paper
2016New vacuum coating technologies for metal strips and foils
Metzner, Christoph; Heinß, Jens-Peter; Scheffel, Bert; Morgner, Henry
Conference Paper
2016Reactive high-rate deposition of titanium oxide coatings using electron beam evaporation, spotless arc and dual crucible
Scheffel, Bert; Modes, Thomas; Metzner, Christoph
Journal Article
2016Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrates innerhalb einer Vakuumammer
Scheffel, Bert; Metzner, Christoph; Morgner, Henry; Händel, Frank; Finkenwirth, Bernd
Patent
2016Vorrichtung zum Erzeugen eines Hohlkathodenbogenentladungsplasmas
Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Decker, Ludwig; Werner, Torsten; Flaske, Henrik
Patent
2015Density determination and gas absorption measurements in ambient nitrogen of silicon thin films deposited by crucible-free electron beam evaporation
Saager, Stefan; Mauersberger, Tom; Metzner, Christoph; Temmler, Dietmar
Conference Paper
2015Effect of microstructure on chlorine activation of CdTe thin film solar cells
Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Dienel, M.; Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Schwuchow, Eric
Conference Paper
2014High-rate deposition of SI absorber layers by electron beam evaporation and first electron beam crystallization tests
Saager, Stefan; Ben Yaala, Marwa; Heinß, Jens-Peter; Temmler, Dietmar; Pfefferling, Bert; Metzner, Christoph
Conference Paper
2014Influence of HCl-activation on the performance of low and high temperature grown CdTe solar cells
Schwuchow, Eric; Morgner, Henry; Zywitzki, Olaf; Metzner, Christoph; Modes, Thomas
Conference Paper
2014Neue, ökologisch nachhaltige Vakuumbeschichtungen auf metallischen Platten und Bändern
Metzner, C.; Scheffel, B.; Morgner, H.; Zywitzki, O.
Journal Article
2014Spotless arc activated high‐rate deposition using dual crucible technology for titanium dioxide coatings
Scheffel, Bert; Modes, Thomas; Metzner, Christoph
Conference Paper
2014Vorrichtung zum Kühlen bandförmiger Substrate
Heinß, Jens-Peter; Schade, Fred; Lang, Peter; Klose, Lars; Metzner, Christoph
Patent
2013Effect of chlorine activation treatment on electron beam induced current signal distribution of cadmium telluride thin film solar cells
Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Siepchen, Bastian; Späth, Bettina; Drost, Christian; Krishnakumar, Velappan; Frauenstein, Sven
Journal Article
2013Spotless arc activated high-rate deposition using novel dual crucible technology for titanium dioxide
Scheffel, B.; Modes, T.; Metzner, C.
Conference Paper
2012Functional and decorative coatings onto metal strips deposited by plasma-activated high-rate electron beam physical vapour deposition (EBPVD)
Metzner, C.; Scheffel, B.; Morgner, H.; Händel, F.
Conference Paper
2012Influence of substrate temperature and activation treatment on CdTe solar cells
Morgner, H.; Häfner, K.; Zywitzki, O.; Modes, T.; Metzner, C.; Siepchen, B.; Drost, C.
Conference Paper
2012Noch schneller zu sauberen Oberflächen im Vakuum
Heinß, J.-P.; Metzner, C.; Scheffel, B.
Journal Article
2012Plasma-activated electron beam physical vapor deposition - novel technologies and tools
Mattausch, G.; Metzner, C.; Rögner, F.-H.
Conference Paper
2012Untersuchung der Mg-Zn-Phasenbildung in feuerverzinktem Stahlblech
Zywitzki, O.; Modes, T.; Scheffel, B.; Metzner, C.
Journal Article
2012Vorrichtung zum Verdampfen eines Materials mittels eines Elektronenstrahls innerhalb einer Vakuumkammer
Scheffel, B.; Metzner, C.; Klose, L.
Patent
2011Functional and decorative coatings onto stainless steel sheets and strips deposited by high-rate physical vapour deposition
Scheffel, B.; Metzner, C.; Modes, T.; Zywitzki, O.; Morgner, H.
Conference Paper
2011Influence of evaporation rate, substrate temperature and process chamber pressure on the microstructure of CdTe layers
Häfner, K.; Morgner, H.; Modes, T.; Zywitzki, O.; Metzner, C.; Siepchen, B.; Drost, C.; Späth, B.; Grimm, M.
Conference Paper
2010Hochrateätzverfahren für die PVD-Beschichtung
Händel, F.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B.; Morgner, H.; Metzner, C.
Journal Article
2010Process model identification for a plasma enhanced electron beam PVD process
Unkelbach, T.; Fochtmann, T.; Kubin, H.; Metzner, C.
Conference Paper
2010Untersuchungen der MgZn-Phasenbildung in feuerverzinktem Stahlblech
Zywitzki, O.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Modes, T.
Conference Paper
2010Verfahren zum langzeitstabilen plasmaaktivierten Vakuumbedampfen
Scheffel, B.; Metzner, C.; Faber, J.; Reinhold, E.
Patent
2009Identification of process models and controller design for vacuum coating processes with a long dead time using an identification tool with advisory support
Kubin, H.; Benesch, M.; Dementjev, A.; Kabitzsch, K.; Unkelbach, T.; Rögner, F.-H.; Metzner, Chr.
Conference Paper
2009Plasma activated high-rate deposition with axial electron beam guns
Metzner, C.; Scheffel, B.; Heinß, J.-P.; Morgner, H.
Conference Paper, Journal Article
2009Plasmaaktive Bedampfung - ein Hochrateverfahren zur Erzeugung funktioneller Oberflächen mit excellenter Schichtqualität
Metzner, C.; Schultheiß, E.
Journal Article
2009Siliconoxid barrier layers for thin film photovoltaic on flexible metal strips produced by high-rate deposition for large area coatings
Händel, F.; Morgner, H.; Metzner, C.
Conference Paper
2009Vorrichtung zum Verdampfen eines Materials in einer Vakuumkammer
Mattausch, G.; Weiske, D.; Morgner, H.; Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Zeibe, R.
Patent
2008New developments of plasma activated high-rate electron beam evaporation for large surfaces
Metzner, C.; Morgner, H.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B.
Conference Paper
2008Plasmaaktivierte Bedampfung - Ein neues Hochrate-Beschichtungsverfahren in der Industrialisierung
Schultheiß, E.; Metzner, C.
Journal Article
2008Potentials of electron beam technology in photovoltaic applications
Morgner, H.; Metzner, C.
Conference Paper
2008SiO(x)-basierte Barriereschichten für die Dünnschichtphotovoltaik
Händel, F.; Morgner, H.; Metzner, C.; Würz, R.; Eicke, A.
Conference Paper
2007Chic und funktional. Dünne Funktionsschichten für die Veredelung großflächiger Konstruktionsmaterialien im Innen- und Außenbereich
Rögner, F.-H.; Metzner, C.; Scheffel, B.; Fietzke, F.; Frach, P.; Hübner, C.
Journal Article
2007Effect of annealing procedure on phase formation in zinc magnesium alloy coatings on steel sheets
Scheffel, B.; Zywitzki, O.; Metzner, C.
Conference Paper
2007High rate deposition of nanofunctionalized transparent coatings on metal and glass substrates by hollow cathode arc activated reactive evaporation
Morgner, H.; Metzner, C.; Zywitzki, O.
Journal Article
2007High-Rate Electron Beam Deposition: The Possibility of High-Quality Coating of Large Areas
Rögner, F.-H.; Metzner, C.
Journal Article, Journal Article
2007Transparent abrasion resistant coatings on plastic and metal substrates
Morgner, H.; Händel, F.; Metzner, C.
Conference Paper
2007Verfahren zum Abscheiden von photokatalytischen Titanoxid-Schichten
Scheffel, B.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Kirchhoff, V.; Modes, T.
Patent
2007Verfahren zum Erzeugen eines Hohlkatoden-Bogenentladungsplasmas und zum Regeln der Aktivierung von Materialdampfpartikeln, die dem Hohlkatoden-Bogenentladungsplasma ausgesetzt werden
Morgner, H.; Metzner, C.; Klose, L.; Scheffel, B.; Händel, F.; Fietzke, F.; Straach, S.
Patent
2007Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von plattenfoermigen oder bandfoermigen metallischen Substraten
Scheffel, B.; Metzner, C.; Tenbusch, M.; Klose, L.
Patent
2006Deposition of photocatalytic TiO2 layers by pulse magnetron sputtering and by plasma-activated evaporation
Frach, P.; Glöß, D.; Metzner, C.; Modes, T.; Scheffel, B.; Zywitzki, O.
Conference Paper, Journal Article
2006Elektrode fuer elektrochemische Farbstoffzelle und Verfahren zum Herstellen derselben
Frach, P.; Gloess, D.; Klinkenberg, S.; Kopte, T.; Fahland, M.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Scheffel, B.
Patent
2006High-rate electron beam deposition - the possibility of high-quality coating of large areas
Rögner, F.-H.; Metzner, C.
Conference Paper
2006New coating systems for steel strips by physical vapor deposition
Scheffel, B.; Metzner, C.; Rögner, F.-H.
Conference Paper
2006Plasmagestützte Verfahren zur Vorbehandlung metallischer Platten und Bänder
Händel, F.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Morgner, H.; Metzner, C.
Conference Paper
2006Spotless arc activated reactive large area EB-PVD of titanium oxide and titanium nitride
Steuer, C.; Reinhold, E.; Scheffel, B.; Metzner, C.
Conference Paper
2006Transparenter Kratzschutz durch plasmaaktivierte Hochratebeschichtung
Morgner, H.; Händel, F.; Metzner, C.
Conference Paper, Conference Paper
2006Vorrichtung und Verfahren zum Kuehlen bandfoermiger Substrate
Metzner, C.; Heinss, J.; Kuehn, G.; Weiske, D.
Patent
2006Vorrichtung und Verfahren zum Kuehlen plattenfoermiger Substrate
Metzner, C.; Heinss, J.; Weiske, D.; Murcek, P.; Tenbusch, M.
Patent
2006Vorrichtung und Verfahren zum Kuehlen von Substraten
Metzner, C.; Heinss, J.; Kuehn, G.; Tenbusch, M.
Patent
2006Vorrichtung zum Elektronenstrahlverdampfen
Heinß, J.-P.; Metzner, C.; Tenbusch, M.; Mattausch, G.
Patent
2005Abscheidung transparenter abriebfester Schichten auf Kunststoff- und Metallsubstraten durch plasmaaktivierte PVD-Hochratebeschichtung
Morgner, H.; Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Zywitzki, O.
Conference Paper
2005Easy-to-clean coatings produced by high-rate pulse magnetron sputtering and plasma-activated evaporation
Glöß, D.; Frach, P.; Metzner, C.; Modes, T.; Zywitzki, O.; Scheffel, B.
Conference Paper
2005Kohlenstoffbasierte tribologische Schichten, aufgedampft mit extrem hohen Raten
Heinß, J.-P.; Metzner, C.; Scheffel, B.
Conference Paper
2005New steps towards large area plasma activated EB-PVD
Reinhold, E.; Steuer, C.; Metzner, C.; Scheffel, B.
Conference Paper
2005Niederdruckplasmen für die Oberflächenveredelung von Stahlband
Metzner, C.; Scheffel, B.; Morgner, H.
Journal Article
2005Plasma activated EB-PVD of titanium and its compounds by means of large area SAD
Reinhold, E.; Steuer, C.; Metzner, C.; Scheffel, B.
Conference Paper
2005PVD coating of steel strips
Metzner, C.; Scheffel, B.; Rögner, F.-H.
Conference Paper
2005Structure and properties of titanium oxide layers deposited by reactive plasma activated electron beam evaporation
Modes, T.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Reinhold, E.
Journal Article, Conference Paper
2005Transparente und farbige Kratzschutzschichten
Metzner, C.; Morgner, H.; Scheffel, B.; Fietzke, F.; Frach, P.
Journal Article
2005Verfahren zum Abscheiden von Karbidschichten hochschmelzender Metalle
Heinss, J.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Kirchhoff, V.; Tenbusch, M.
Patent
2005Verschleißarme Hartstoffschichten - abgeschieden durch plasmaaktivierte Bedampfung mit Raten von 100 nm/s
Heinß, J.-P.; Metzner, C.
Conference Paper
2005Vorrichtung zum Plasmaaetzen von Bauteilen mit hoher Abtragsrate
Morgner, H.; Metzner, C.
Patent
2005Vorrichtung zum Plasmaaetzen von flaechenbehafteten Objekten mit hoher Abtragsrate
Morgner, H.; Metzner, C.
Patent
2004Anwendungsmöglichkeiten von Stahlfeinblechen mit neuartigen Zink-Magnesium-Legierungsüberzügen
Hagler, J.; Koll, T.; Ullrich, K.; Metzner, C.; Scheffel, B.; Meyer, M. de; Schumacher, B.; Spalek, A.; Steinbeck, G.
Book
2004Gleitlager und Verfahren zu seiner Herstellung
Andler, G.; Heinss, J.; Goedicke, K.; Metzner, C.
Patent
2004Gleitlagerschale und Verfahren zu ihrer Herstellung
Andler, G.; Heinss, J.; Goedicke, K.; Metzner, C.
Patent
2004PVD coating of metallic sheets and strips
Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B.
Journal Article
2004PVD-Beschichtung metallischer Platten und Bänder
Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B.
Conference Paper
2004Transparente und farbige Kratzschutzschichten für Anwendungen im Innen-und Außenbereich
Metzner, C.; Morgner, H.; Scheffel, B.; Fietzke, F.; Frach, P.
Conference Paper
2004Vakuumbeschichtung metallischer Platten und Bänder
Metzner, C.
Journal Article
2003Emergent Technologies for Large Area PVD Coating of Metal Strips
Metzner, C.; Scheffel, B.; Heinss, J.P.; Rögner, F.-H.
Conference Paper
2003New Trends and Developments in Large Area PVD Coating of Metal Strips in Europe
Metzner, C.
Conference Paper
2002Coating of large areas by plasma activated electron beam PVD technologies
Metzner, C.
Conference Paper, Journal Article
2002New types of coating systems for steel sheets by high-rate evaporation in combination with plasma processes
Scheffel, B.; Ehlers, K.D.; Schuhmacher, B.; Floßdorf, F.-J.; Hagler, J.; Metzner, C.; Steffen, R.; Steinbeck, G.
Journal Article
2002Plasma-activated electron beam high-rate PVD for large areas
Metzner, C.; Scheffel, B.; Schiller
Conference Paper
2001High-rate physical vapour deposition in combination with plasma processes for metal strip coating
Scheffel, B.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Faber, J.
Conference Paper
2001Korrosionsgeschuetztes Stahlblech und Verfahren zu dessen Herstellung
Scheffel, B.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Ehlers, K.; Steffen, R.; Schuhmacher, B.; Hagler, J.
Patent
2001Neue Möglichkeiten zur PVD-Beschichtung metallischer Platten und Bänder
Rögner, F.-H.; Metzner, C.
Journal Article
2001New plasma activation processes during the high-rate electron beam evaporation for large area coating
Scheffel, B.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.
Conference Paper
2001Novel coating systems based on PVD for steel sheet
Schuhmacher, B.; Ehlers, K.D.; Floßdorf, F.-J.; Hagler, J.; Metzner, C.; Scheffel, B.; Steffen, R.
Journal Article
2001Special aspects concerning the electron beam deposition of multi-component alloys
Metzner, C.; Scheffel, B.
Conference Paper
2001Sputter etching of steel substrates using DC and MF pulsed magnetron discharges
Faber, J.; Hötzsch, G.; Metzner, C.
Journal Article
2001Verfahren und Einrichtung zur Vorbehandlung von Substraten
Goedicke, K.; Fietzke, F.; Reschke, J.; Hempel, W.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Schiller, S.
Patent
2001Verfahren zur Herstellung gleitflaechenseitig konkav gekruemmter Gleitelemente
Steeg, M.; Goedicke, K.; Kopte, T.; Metzner, C.
Patent
2001Verfahren zur Herstellung von korrosionsgeschuetztem Stahlblech
Goedicke, K.; Metzner, C.; Berner, K.; Ehlers, K.D.; Steinhoff, H.; Duerr, W.; Schuhmacher, B.
Patent
2001Vom Laborversuch zur Industrieanwendung. Neue Möglichkeiten zur PVD-Beschichtung metallischer Platten und Bänder
Rögner, F.-H.; Metzner, C.
Journal Article
2000Gleitelement mit konkaver Kruemmung und Verfahren zu seiner Herstellung
Goedicke, K.; Kopte, T.; Metzner, C.; Steeg, M.
Patent
2000New coatings on metal sheets and strips produced using EB PVD technologies
Schiller, S.; Metzner, C.; Zywitzki, O.
Conference Paper
2000New developments of PVD - layers onto metallic sheets and strips
Metzner, C.; Scheffel, B.; Rögner, F.-H.
Conference Paper
2000PVD-Beschichtung metallischer Platten und Bänder
Metzner, C.
Journal Article
2000Turbulent heat transfer in liquid iron during electron beam evaporation
Karcher, C.; Schaller, R.; Boeck, T.; Metzner, C.; Thess, A.
Journal Article
2000Verfahren und Einrichtung zur Regelung eines Vakuumbedampfungsprozesses
Goedicke, K.; Metzner, C.; Scheffel, B.
Patent
1999Neue Stahlbandveredelungskonzepte auf Basis der Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung
Schuhmacher, B.; Dürr, W.; Ehlers, K.D.; Hagler, J.; Steffen, R.; Metzner, C.; Scheffel, B.; Floßdorf, F.-J.; Steinbeck, G.
Conference Paper
1999Rod cathode arc-activated deposition (RAD). A new plasma-activated electron beam PVD process
Scheffel, B.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Heinss, J.P.; Zywitzki, O.
Conference Paper
1999Rod cathode arc-activated deposition (RAD). A new plasma-activated electron beam PVD process
Scheffel, B.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Heinß, J.-P.; Zywitzki, O.
Journal Article
1998Einrichtung zur Vakuumbeschichtung von Gleitlagern
Metzner, C.; Heinss, J.; Goedicke, K.; Schiller, S.; Wixwat-Ernst, W.; Andler, G.
Patent
1998PVD-Beschichtung von Metallband
Metzner, C.; Goedicke, K.; Heinss, J.P.; Scheffel, B.
Journal Article
1998Verfahren zum Elektronenstrahlverdampfen
Schiller, S.; Goedicke, K.; Reschke, J.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Kern, H.
Patent
1998Verfahren zum plasmaaktivierten Elektronenstrahlverdampfen und Einrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
Scheffel, B.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Heinss, J.P.; Schiller, S.
Patent
1997Durch Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung erzeugte neuartige Oberflächenveredelungen von Stahlfeinblech
Schuhmacher, B.; Metzner, C.; Ehlers, K.D.; Steinhoff, H.; Dürr, W.; Floßdorf, F.-J.
Journal Article
1997Electron beam - PVD for enhanced surface properties on metallic strips and sheets
Schiller, S.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Hoetzsch, G.; Scheffel, B.; Heinss, J.P.
Conference Paper
1997Enhanced surface properties of metallic sheets by high-rate electron beam evaporation
Heinss, J.P.; Goedicke, K.; Hoetzsch, G.; Metzner, C.; Scheffel, B.
Conference Paper
1997Fortschritte beim Puls-Magnetron-Sputtern
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Metzner, C.
Journal Article
1996Einrichtung zum Vakuumbeschichten von Massengut
Goedicke, K.; Metzner, C.; Schmidt, J.; Heisig, U.; Schiller, S.; Reschke, J.
Patent
1996Entwicklung neuartiger, durch Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung herstellbarer Schichtverbunde und deren Eigenschaften
Metzner, C.; Schuhmacher, B.; Ehlers, K.D.; Steinhoff, H.; Dürr, W.; Floßdorf, F.-J.
Report
1996Plasma-activated electron beam deposition with diffuse cathodic vacuum arc discharge (SAD)
Metzner, C.; Scheffel, B.; Goedicke, K.
Conference Paper
1996Plasma-activated electron beam deposition with diffuse cathodic vacuum arc discharge (SAD). A technique for coating strip steel
Metzner, C.; Scheffel, B.; Goedicke, K.
Journal Article, Conference Paper
1996Verfahren und Einrichtung zur Regelung eines Vakuumbeschichtungsprozesses
Goedicke, K.; Metzner, C.; Scheffel, B.
Patent
1996Verfahren und Einrichtung zur Regelung von plasmagestuetzten Vakuumbeschichtungsprozessen
Scheffel, B.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Kirchhoff, V.
Patent
1996Verfahren zur Stabilisierung der Plasmaerzeugung mittels Elektronenstrahlverdampfer
Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Scheffel, B.
Patent
1995Entwicklung neuartiger, durch Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung herstellbarer Schichtverbunde und deren Eigenschaften - Verbundprojekt
Goedicke, K.; Metzner, C.; Hötzsch, G.
Conference Paper
1995Potenzen des Puls-Magnetron-Sputterns (PMS)
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Metzner, C.
Journal Article
1994Advances in pulsed magnetron sputtering (PMS-process)
Schiller, S.; Goedicke, K.; Metzner, C.
Conference Paper
1993Plasma-activated high-rate electron beam evaporation for coating metal strips
Schiller, S.; Goedicke, K.; Metzner, C.
Journal Article
1993Verfahren und Einrichtung zur Prozessstabilisierung beim Elektronenstrahlverdampfen
Kirchhoff, V.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Schiller, S.; Kern, H.
Patent