| | |
|---|
| 2019 | Porous silicon thin films as anodes for lithium ion batteries deposited by co-evaporation of silicon and zinc
Saager, Stefan; Scheffel, Bert; Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Piwko, Markus; Dörfler, Susanne; Althues, Holger; Metzner, Christoph | Journal Article |
| 2019 | Rate and Composition Control for Plasma-assisted EB-PVD Processes by Optical Emission Spectroscopy
Zimmermann, Burkhard; Mattausch, Gösta; Metzner, Christoph | Conference Paper |
| 2019 | Synthesis of Porous Thin Films as Silicon Anodes for Lithium-Ion Batteries
Saager, Stefan; Scheffel, Bert; Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Piwko, Markus; Doerfler, Susanne; Althues, Holger; Metzner, Christoph | Journal Article |
| 2018 | Porous silicon thin films as anodes for lithium ion batteries deposited by co-evaporation of silicon and zinc
Saager, Stefan; Scheffel, Bert; Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Piwko, Markus; Doerfler, Susanne; Althues, Holger; Metzner, Christoph | Conference Paper |
| 2018 | Realization of RGB colors from top‐emitting white OLED by electron beam patterning
Bodenstein, Elisabeth; Schober, Matthias; Hoffmann, Marie; Metzner, Christoph; Vogel, Uwe | Journal Article |
| 2017 | P-175: Direct electron beam micropatterning and thermal annealing of organic light emitting devices
Bodenstein, Elisabeth; Saager, Stefan; Metzner, Mario; Hoffmann, Marie; Hild, Olaf-Rüdiger; Metzner, Christoph; Vogel, Uwe | Journal Article |
| 2017 | Plasma-assisted reactive high-rate vapor deposition of yttria-stabilized zirconia using electron beam evaporation and spotless vacuum arc
Scheffel, Bert; Zywitzki, Olaf; Metzner, Christoph | Journal Article |
| 2017 | Verfahren zum Abscheiden einer CdTe-Schicht auf einem Substrat
Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Hirsch, Daniel; Zywitzki, Olaf; Decker, Ludwig | Patent |
| 2017 | Verfahren zum Einstellen der Emission einer OLED
Bodenstein, Elisabeth; Metzner, Christoph; Saager, Stefan; Schober, Matthias; Vogel, Uwe | Patent |
| 2016 | Electron Beam Induced High-Resolution Modification of OLED Emission
Bodenstein, Elisabeth; Saager, Stefan; Schober, Matthias; Metzner, Christoph; Vogel, Uwe | Conference Paper, Journal Article |
| 2016 | The impact of oxygen inlet during close-spaced sublimation process on the as-deposited and chlorine treated microstructure of CdTe layers
Hirsch, D.; Zywitzki, O.; Modes, T.; Morgner, H.; Späth, B.; Siepchen, B.; Drost, C.; Kraft, C.; Krishnakumar, V.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2016 | New vacuum coating technologies for metal strips and foils
Metzner, Christoph; Heinß, Jens-Peter; Scheffel, Bert; Morgner, Henry | Conference Paper |
| 2016 | Reactive high-rate deposition of titanium oxide coatings using electron beam evaporation, spotless arc and dual crucible
Scheffel, Bert; Modes, Thomas; Metzner, Christoph | Journal Article |
| 2016 | Vorrichtung zum Bedampfen eines Substrates innerhalb einer Vakuumammer
Scheffel, Bert; Metzner, Christoph; Morgner, Henry; Händel, Frank; Finkenwirth, Bernd | Patent |
| 2016 | Vorrichtung zum Erzeugen eines Hohlkathodenbogenentladungsplasmas
Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Decker, Ludwig; Werner, Torsten; Flaske, Henrik | Patent |
| 2015 | Density determination and gas absorption measurements in ambient nitrogen of silicon thin films deposited by crucible-free electron beam evaporation
Saager, Stefan; Mauersberger, Tom; Metzner, Christoph; Temmler, Dietmar | Conference Paper |
| 2015 | Effect of microstructure on chlorine activation of CdTe thin film solar cells
Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Dienel, M.; Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Schwuchow, Eric | Conference Paper |
| 2014 | High-rate deposition of SI absorber layers by electron beam evaporation and first electron beam crystallization tests
Saager, Stefan; Ben Yaala, Marwa; Heinß, Jens-Peter; Temmler, Dietmar; Pfefferling, Bert; Metzner, Christoph | Conference Paper |
| 2014 | Influence of HCl-activation on the performance of low and high temperature grown CdTe solar cells
Schwuchow, Eric; Morgner, Henry; Zywitzki, Olaf; Metzner, Christoph; Modes, Thomas | Conference Paper |
| 2014 | Neue, ökologisch nachhaltige Vakuumbeschichtungen auf metallischen Platten und Bändern
Metzner, C.; Scheffel, B.; Morgner, H.; Zywitzki, O. | Journal Article |
| 2014 | Spotless arc activated high‐rate deposition using dual crucible technology for titanium dioxide coatings
Scheffel, Bert; Modes, Thomas; Metzner, Christoph | Conference Paper |
| 2014 | Vorrichtung zum Kühlen bandförmiger Substrate
Heinß, Jens-Peter; Schade, Fred; Lang, Peter; Klose, Lars; Metzner, Christoph | Patent |
| 2013 | Effect of chlorine activation treatment on electron beam induced current signal distribution of cadmium telluride thin film solar cells
Zywitzki, Olaf; Modes, Thomas; Morgner, Henry; Metzner, Christoph; Siepchen, Bastian; Späth, Bettina; Drost, Christian; Krishnakumar, Velappan; Frauenstein, Sven | Journal Article |
| 2013 | Spotless arc activated high-rate deposition using novel dual crucible technology for titanium dioxide
Scheffel, B.; Modes, T.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2012 | Functional and decorative coatings onto metal strips deposited by plasma-activated high-rate electron beam physical vapour deposition (EBPVD)
Metzner, C.; Scheffel, B.; Morgner, H.; Händel, F. | Conference Paper |
| 2012 | Influence of substrate temperature and activation treatment on CdTe solar cells
Morgner, H.; Häfner, K.; Zywitzki, O.; Modes, T.; Metzner, C.; Siepchen, B.; Drost, C. | Conference Paper |
| 2012 | Noch schneller zu sauberen Oberflächen im Vakuum
Heinß, J.-P.; Metzner, C.; Scheffel, B. | Journal Article |
| 2012 | Plasma-activated electron beam physical vapor deposition - novel technologies and tools
Mattausch, G.; Metzner, C.; Rögner, F.-H. | Conference Paper |
| 2012 | Untersuchung der Mg-Zn-Phasenbildung in feuerverzinktem Stahlblech
Zywitzki, O.; Modes, T.; Scheffel, B.; Metzner, C. | Journal Article |
| 2012 | Vorrichtung zum Verdampfen eines Materials mittels eines Elektronenstrahls innerhalb einer Vakuumkammer
Scheffel, B.; Metzner, C.; Klose, L. | Patent |
| 2011 | Functional and decorative coatings onto stainless steel sheets and strips deposited by high-rate physical vapour deposition
Scheffel, B.; Metzner, C.; Modes, T.; Zywitzki, O.; Morgner, H. | Conference Paper |
| 2011 | Influence of evaporation rate, substrate temperature and process chamber pressure on the microstructure of CdTe layers
Häfner, K.; Morgner, H.; Modes, T.; Zywitzki, O.; Metzner, C.; Siepchen, B.; Drost, C.; Späth, B.; Grimm, M. | Conference Paper |
| 2010 | Hochrateätzverfahren für die PVD-Beschichtung
Händel, F.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B.; Morgner, H.; Metzner, C. | Journal Article |
| 2010 | Process model identification for a plasma enhanced electron beam PVD process
Unkelbach, T.; Fochtmann, T.; Kubin, H.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2010 | Untersuchungen der MgZn-Phasenbildung in feuerverzinktem Stahlblech
Zywitzki, O.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Modes, T. | Conference Paper |
| 2010 | Verfahren zum langzeitstabilen plasmaaktivierten Vakuumbedampfen
Scheffel, B.; Metzner, C.; Faber, J.; Reinhold, E. | Patent |
| 2009 | Identification of process models and controller design for vacuum coating processes with a long dead time using an identification tool with advisory support
Kubin, H.; Benesch, M.; Dementjev, A.; Kabitzsch, K.; Unkelbach, T.; Rögner, F.-H.; Metzner, Chr. | Conference Paper |
| 2009 | Plasma activated high-rate deposition with axial electron beam guns
Metzner, C.; Scheffel, B.; Heinß, J.-P.; Morgner, H. | Conference Paper, Journal Article |
| 2009 | Plasmaaktive Bedampfung - ein Hochrateverfahren zur Erzeugung funktioneller Oberflächen mit excellenter Schichtqualität
Metzner, C.; Schultheiß, E. | Journal Article |
| 2009 | Siliconoxid barrier layers for thin film photovoltaic on flexible metal strips produced by high-rate deposition for large area coatings
Händel, F.; Morgner, H.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2009 | Vorrichtung zum Verdampfen eines Materials in einer Vakuumkammer
Mattausch, G.; Weiske, D.; Morgner, H.; Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Zeibe, R. | Patent |
| 2008 | New developments of plasma activated high-rate electron beam evaporation for large surfaces
Metzner, C.; Morgner, H.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B. | Conference Paper |
| 2008 | Plasmaaktivierte Bedampfung - Ein neues Hochrate-Beschichtungsverfahren in der Industrialisierung
Schultheiß, E.; Metzner, C. | Journal Article |
| 2008 | Potentials of electron beam technology in photovoltaic applications
Morgner, H.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2008 | SiO(x)-basierte Barriereschichten für die Dünnschichtphotovoltaik
Händel, F.; Morgner, H.; Metzner, C.; Würz, R.; Eicke, A. | Conference Paper |
| 2007 | Chic und funktional. Dünne Funktionsschichten für die Veredelung großflächiger Konstruktionsmaterialien im Innen- und Außenbereich
Rögner, F.-H.; Metzner, C.; Scheffel, B.; Fietzke, F.; Frach, P.; Hübner, C. | Journal Article |
| 2007 | Effect of annealing procedure on phase formation in zinc magnesium alloy coatings on steel sheets
Scheffel, B.; Zywitzki, O.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2007 | High rate deposition of nanofunctionalized transparent coatings on metal and glass substrates by hollow cathode arc activated reactive evaporation
Morgner, H.; Metzner, C.; Zywitzki, O. | Journal Article |
| 2007 | High-Rate Electron Beam Deposition: The Possibility of High-Quality Coating of Large Areas
Rögner, F.-H.; Metzner, C. | Journal Article, Journal Article |
| 2007 | Transparent abrasion resistant coatings on plastic and metal substrates
Morgner, H.; Händel, F.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2007 | Verfahren zum Abscheiden von photokatalytischen Titanoxid-Schichten
Scheffel, B.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Kirchhoff, V.; Modes, T. | Patent |
| 2007 | Verfahren zum Erzeugen eines Hohlkatoden-Bogenentladungsplasmas und zum Regeln der Aktivierung von Materialdampfpartikeln, die dem Hohlkatoden-Bogenentladungsplasma ausgesetzt werden
Morgner, H.; Metzner, C.; Klose, L.; Scheffel, B.; Händel, F.; Fietzke, F.; Straach, S. | Patent |
| 2007 | Vorrichtung und Verfahren zum Beschichten von plattenfoermigen oder bandfoermigen metallischen Substraten
Scheffel, B.; Metzner, C.; Tenbusch, M.; Klose, L. | Patent |
| 2006 | Deposition of photocatalytic TiO2 layers by pulse magnetron sputtering and by plasma-activated evaporation
Frach, P.; Glöß, D.; Metzner, C.; Modes, T.; Scheffel, B.; Zywitzki, O. | Conference Paper, Journal Article |
| 2006 | Elektrode fuer elektrochemische Farbstoffzelle und Verfahren zum Herstellen derselben
Frach, P.; Gloess, D.; Klinkenberg, S.; Kopte, T.; Fahland, M.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Scheffel, B. | Patent |
| 2006 | High-rate electron beam deposition - the possibility of high-quality coating of large areas
Rögner, F.-H.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2006 | New coating systems for steel strips by physical vapor deposition
Scheffel, B.; Metzner, C.; Rögner, F.-H. | Conference Paper |
| 2006 | Plasmagestützte Verfahren zur Vorbehandlung metallischer Platten und Bänder
Händel, F.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Morgner, H.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2006 | Spotless arc activated reactive large area EB-PVD of titanium oxide and titanium nitride
Steuer, C.; Reinhold, E.; Scheffel, B.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2006 | Transparenter Kratzschutz durch plasmaaktivierte Hochratebeschichtung
Morgner, H.; Händel, F.; Metzner, C. | Conference Paper, Conference Paper |
| 2006 | Vorrichtung und Verfahren zum Kuehlen bandfoermiger Substrate
Metzner, C.; Heinss, J.; Kuehn, G.; Weiske, D. | Patent |
| 2006 | Vorrichtung und Verfahren zum Kuehlen plattenfoermiger Substrate
Metzner, C.; Heinss, J.; Weiske, D.; Murcek, P.; Tenbusch, M. | Patent |
| 2006 | Vorrichtung und Verfahren zum Kuehlen von Substraten
Metzner, C.; Heinss, J.; Kuehn, G.; Tenbusch, M. | Patent |
| 2006 | Vorrichtung zum Elektronenstrahlverdampfen
Heinß, J.-P.; Metzner, C.; Tenbusch, M.; Mattausch, G. | Patent |
| 2005 | Abscheidung transparenter abriebfester Schichten auf Kunststoff- und Metallsubstraten durch plasmaaktivierte PVD-Hochratebeschichtung
Morgner, H.; Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Zywitzki, O. | Conference Paper |
| 2005 | Easy-to-clean coatings produced by high-rate pulse magnetron sputtering and plasma-activated evaporation
Glöß, D.; Frach, P.; Metzner, C.; Modes, T.; Zywitzki, O.; Scheffel, B. | Conference Paper |
| 2005 | Kohlenstoffbasierte tribologische Schichten, aufgedampft mit extrem hohen Raten
Heinß, J.-P.; Metzner, C.; Scheffel, B. | Conference Paper |
| 2005 | New steps towards large area plasma activated EB-PVD
Reinhold, E.; Steuer, C.; Metzner, C.; Scheffel, B. | Conference Paper |
| 2005 | Niederdruckplasmen für die Oberflächenveredelung von Stahlband
Metzner, C.; Scheffel, B.; Morgner, H. | Journal Article |
| 2005 | Plasma activated EB-PVD of titanium and its compounds by means of large area SAD
Reinhold, E.; Steuer, C.; Metzner, C.; Scheffel, B. | Conference Paper |
| 2005 | PVD coating of steel strips
Metzner, C.; Scheffel, B.; Rögner, F.-H. | Conference Paper |
| 2005 | Structure and properties of titanium oxide layers deposited by reactive plasma activated electron beam evaporation
Modes, T.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Reinhold, E. | Journal Article, Conference Paper |
| 2005 | Transparente und farbige Kratzschutzschichten
Metzner, C.; Morgner, H.; Scheffel, B.; Fietzke, F.; Frach, P. | Journal Article |
| 2005 | Verfahren zum Abscheiden von Karbidschichten hochschmelzender Metalle
Heinss, J.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Kirchhoff, V.; Tenbusch, M. | Patent |
| 2005 | Verschleißarme Hartstoffschichten - abgeschieden durch plasmaaktivierte Bedampfung mit Raten von 100 nm/s
Heinß, J.-P.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 2005 | Vorrichtung zum Plasmaaetzen von Bauteilen mit hoher Abtragsrate
Morgner, H.; Metzner, C. | Patent |
| 2005 | Vorrichtung zum Plasmaaetzen von flaechenbehafteten Objekten mit hoher Abtragsrate
Morgner, H.; Metzner, C. | Patent |
| 2004 | Anwendungsmöglichkeiten von Stahlfeinblechen mit neuartigen Zink-Magnesium-Legierungsüberzügen
Hagler, J.; Koll, T.; Ullrich, K.; Metzner, C.; Scheffel, B.; Meyer, M. de; Schumacher, B.; Spalek, A.; Steinbeck, G. | Book |
| 2004 | Gleitlager und Verfahren zu seiner Herstellung
Andler, G.; Heinss, J.; Goedicke, K.; Metzner, C. | Patent |
| 2004 | Gleitlagerschale und Verfahren zu ihrer Herstellung
Andler, G.; Heinss, J.; Goedicke, K.; Metzner, C. | Patent |
| 2004 | PVD coating of metallic sheets and strips
Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B. | Journal Article |
| 2004 | PVD-Beschichtung metallischer Platten und Bänder
Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B. | Conference Paper |
| 2004 | Transparente und farbige Kratzschutzschichten für Anwendungen im Innen-und Außenbereich
Metzner, C.; Morgner, H.; Scheffel, B.; Fietzke, F.; Frach, P. | Conference Paper |
| 2004 | Vakuumbeschichtung metallischer Platten und Bänder
Metzner, C. | Journal Article |
| 2003 | Emergent Technologies for Large Area PVD Coating of Metal Strips
Metzner, C.; Scheffel, B.; Heinss, J.P.; Rögner, F.-H. | Conference Paper |
| 2003 | New Trends and Developments in Large Area PVD Coating of Metal Strips in Europe
Metzner, C. | Conference Paper |
| 2002 | Coating of large areas by plasma activated electron beam PVD technologies
Metzner, C. | Conference Paper, Journal Article |
| 2002 | New types of coating systems for steel sheets by high-rate evaporation in combination with plasma processes
Scheffel, B.; Ehlers, K.D.; Schuhmacher, B.; Floßdorf, F.-J.; Hagler, J.; Metzner, C.; Steffen, R.; Steinbeck, G. | Journal Article |
| 2002 | Plasma-activated electron beam high-rate PVD for large areas
Metzner, C.; Scheffel, B.; Schiller | Conference Paper |
| 2001 | High-rate physical vapour deposition in combination with plasma processes for metal strip coating
Scheffel, B.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Faber, J. | Conference Paper |
| 2001 | Korrosionsgeschuetztes Stahlblech und Verfahren zu dessen Herstellung
Scheffel, B.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Ehlers, K.; Steffen, R.; Schuhmacher, B.; Hagler, J. | Patent |
| 2001 | Neue Möglichkeiten zur PVD-Beschichtung metallischer Platten und Bänder
Rögner, F.-H.; Metzner, C. | Journal Article |
| 2001 | New plasma activation processes during the high-rate electron beam evaporation for large area coating
Scheffel, B.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V. | Conference Paper |
| 2001 | Novel coating systems based on PVD for steel sheet
Schuhmacher, B.; Ehlers, K.D.; Floßdorf, F.-J.; Hagler, J.; Metzner, C.; Scheffel, B.; Steffen, R. | Journal Article |
| 2001 | Special aspects concerning the electron beam deposition of multi-component alloys
Metzner, C.; Scheffel, B. | Conference Paper |
| 2001 | Sputter etching of steel substrates using DC and MF pulsed magnetron discharges
Faber, J.; Hötzsch, G.; Metzner, C. | Journal Article |
| 2001 | Verfahren und Einrichtung zur Vorbehandlung von Substraten
Goedicke, K.; Fietzke, F.; Reschke, J.; Hempel, W.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Schiller, S. | Patent |
| 2001 | Verfahren zur Herstellung gleitflaechenseitig konkav gekruemmter Gleitelemente
Steeg, M.; Goedicke, K.; Kopte, T.; Metzner, C. | Patent |
| 2001 | Verfahren zur Herstellung von korrosionsgeschuetztem Stahlblech
Goedicke, K.; Metzner, C.; Berner, K.; Ehlers, K.D.; Steinhoff, H.; Duerr, W.; Schuhmacher, B. | Patent |
| 2001 | Vom Laborversuch zur Industrieanwendung. Neue Möglichkeiten zur PVD-Beschichtung metallischer Platten und Bänder
Rögner, F.-H.; Metzner, C. | Journal Article |
| 2000 | Gleitelement mit konkaver Kruemmung und Verfahren zu seiner Herstellung
Goedicke, K.; Kopte, T.; Metzner, C.; Steeg, M. | Patent |
| 2000 | New coatings on metal sheets and strips produced using EB PVD technologies
Schiller, S.; Metzner, C.; Zywitzki, O. | Conference Paper |
| 2000 | New developments of PVD - layers onto metallic sheets and strips
Metzner, C.; Scheffel, B.; Rögner, F.-H. | Conference Paper |
| 2000 | PVD-Beschichtung metallischer Platten und Bänder
Metzner, C. | Journal Article |
| 2000 | Turbulent heat transfer in liquid iron during electron beam evaporation
Karcher, C.; Schaller, R.; Boeck, T.; Metzner, C.; Thess, A. | Journal Article |
| 2000 | Verfahren und Einrichtung zur Regelung eines Vakuumbedampfungsprozesses
Goedicke, K.; Metzner, C.; Scheffel, B. | Patent |
| 1999 | Neue Stahlbandveredelungskonzepte auf Basis der Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung
Schuhmacher, B.; Dürr, W.; Ehlers, K.D.; Hagler, J.; Steffen, R.; Metzner, C.; Scheffel, B.; Floßdorf, F.-J.; Steinbeck, G. | Conference Paper |
| 1999 | Rod cathode arc-activated deposition (RAD). A new plasma-activated electron beam PVD process
Scheffel, B.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Heinss, J.P.; Zywitzki, O. | Conference Paper |
| 1999 | Rod cathode arc-activated deposition (RAD). A new plasma-activated electron beam PVD process
Scheffel, B.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Heinß, J.-P.; Zywitzki, O. | Journal Article |
| 1998 | Einrichtung zur Vakuumbeschichtung von Gleitlagern
Metzner, C.; Heinss, J.; Goedicke, K.; Schiller, S.; Wixwat-Ernst, W.; Andler, G. | Patent |
| 1998 | PVD-Beschichtung von Metallband
Metzner, C.; Goedicke, K.; Heinss, J.P.; Scheffel, B. | Journal Article |
| 1998 | Verfahren zum Elektronenstrahlverdampfen
Schiller, S.; Goedicke, K.; Reschke, J.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Kern, H. | Patent |
| 1998 | Verfahren zum plasmaaktivierten Elektronenstrahlverdampfen und Einrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
Scheffel, B.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Heinss, J.P.; Schiller, S. | Patent |
| 1997 | Durch Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung erzeugte neuartige Oberflächenveredelungen von Stahlfeinblech
Schuhmacher, B.; Metzner, C.; Ehlers, K.D.; Steinhoff, H.; Dürr, W.; Floßdorf, F.-J. | Journal Article |
| 1997 | Electron beam - PVD for enhanced surface properties on metallic strips and sheets
Schiller, S.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Hoetzsch, G.; Scheffel, B.; Heinss, J.P. | Conference Paper |
| 1997 | Enhanced surface properties of metallic sheets by high-rate electron beam evaporation
Heinss, J.P.; Goedicke, K.; Hoetzsch, G.; Metzner, C.; Scheffel, B. | Conference Paper |
| 1997 | Fortschritte beim Puls-Magnetron-Sputtern
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Metzner, C. | Journal Article |
| 1996 | Einrichtung zum Vakuumbeschichten von Massengut
Goedicke, K.; Metzner, C.; Schmidt, J.; Heisig, U.; Schiller, S.; Reschke, J. | Patent |
| 1996 | Entwicklung neuartiger, durch Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung herstellbarer Schichtverbunde und deren Eigenschaften
Metzner, C.; Schuhmacher, B.; Ehlers, K.D.; Steinhoff, H.; Dürr, W.; Floßdorf, F.-J. | Report |
| 1996 | Plasma-activated electron beam deposition with diffuse cathodic vacuum arc discharge (SAD)
Metzner, C.; Scheffel, B.; Goedicke, K. | Conference Paper |
| 1996 | Plasma-activated electron beam deposition with diffuse cathodic vacuum arc discharge (SAD). A technique for coating strip steel
Metzner, C.; Scheffel, B.; Goedicke, K. | Journal Article, Conference Paper |
| 1996 | Verfahren und Einrichtung zur Regelung eines Vakuumbeschichtungsprozesses
Goedicke, K.; Metzner, C.; Scheffel, B. | Patent |
| 1996 | Verfahren und Einrichtung zur Regelung von plasmagestuetzten Vakuumbeschichtungsprozessen
Scheffel, B.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 1996 | Verfahren zur Stabilisierung der Plasmaerzeugung mittels Elektronenstrahlverdampfer
Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Scheffel, B. | Patent |
| 1995 | Entwicklung neuartiger, durch Hochrate-Elektronenstrahlbedampfung herstellbarer Schichtverbunde und deren Eigenschaften - Verbundprojekt
Goedicke, K.; Metzner, C.; Hötzsch, G. | Conference Paper |
| 1995 | Potenzen des Puls-Magnetron-Sputterns (PMS)
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Metzner, C. | Journal Article |
| 1994 | Advances in pulsed magnetron sputtering (PMS-process)
Schiller, S.; Goedicke, K.; Metzner, C. | Conference Paper |
| 1993 | Plasma-activated high-rate electron beam evaporation for coating metal strips
Schiller, S.; Goedicke, K.; Metzner, C. | Journal Article |
| 1993 | Verfahren und Einrichtung zur Prozessstabilisierung beim Elektronenstrahlverdampfen
Kirchhoff, V.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Schiller, S.; Kern, H. | Patent |