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| 2010 | Combined MEMS inertial sensors for IMU applications
Merz, P.; Reimer, K.; Weiß, M.; Schwarzelbach, O.; Schrö, C.; Giambastiani, A.; Rocchi, A.; Heller, M. | Conference Paper |
| 2010 | Metallic alloy seal bonding
Reinert, W.; Merz, P. | Book Article |
| 2009 | Combined MEMS Inertial Sensors for IMU Applications
Merz, P.; Reimer, K.; Weiß, M.; Schwarzelbach, O.; Schröder, C.; Giambastiani, A.; Rocchi, A.; Heller, M. | Conference Paper |
| 2009 | Kombinierte, ausfallsichere Beschleunigungs- und Drehratensensoren für die Automobilindustrie
Kandler, M.; Merz, P.; Foroutan, A.; Reimer, K. | Conference Paper |
| 2009 | MEMS Foundry
Merz, P.; Wagner, B.; Dudde, R.; Benecke, W. | Conference Paper |
| 2009 | A novel multi pressure wafer level packaging technology
Merz, P.; Reinert, W.; Schwarzelbach, O.; Reimer, K. | Conference Paper |
| 2008 | Formal verification of a grid resource allocation protocol
Dalheimer, M.; Pfreundt, F.-J.; Merz, P. | Conference Paper |
| 2008 | Verfahren zur Bestimmung der Justagegenauigkeit beim Waferbonden
Merz, P.; Reimer, K.; Lorenz, F. | Patent |
| 2007 | Deckelwafer, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauelement mit einem solchen Wafer sowie Loetverfahren zum Verbinden entsprechender Bauelement-Teile
Oldsen, M.; Reinert, W.; Merz, P. | Patent |
| 2007 | Impact of Si DRIE on vibratory MEMS gyroscope performance
Merz, P.; Pilz, W.; Senger, F.; Reimer, K.; Grouchko, M.; Pandhumpsoporn, T.; Bosch, W.; Cofer, A.; Lassig, S. | Conference Paper |
| 2007 | Mikromechanischer Inertialsensor zur Messung von Drehraten
Merz, P.; Weiß, M. | Patent |
| 2007 | Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit einer partiellen Schutzschicht
Merz, P.; Reimer, K.; Senger, F. | Patent |
| 2006 | Agent-based grid scheduling with Calana
Dalheimer, M.; Pfreundt, F.-J.; Merz, P. | Conference Paper |
| 2006 | Angular rate and motion sensing with smart inertial measurement units
Heuberger, A.; Merz, P.; Christ, H. | Conference Paper |
| 2006 | Mikromechanische Gehäusung mit mindestens zwei Kavitäten mit unterschiedlichem Innendruck und/oder unterschiedlicher Gaszusammensetzung sowie Verfahren zu deren Herstellung
Merz, P.; Reinert, W.; Oldsen, M.; Schwarzelbach, O. | Patent |
| 2006 | Moisture resisitant nano liter packages using metallic seal wafer bonding
Reinert, W.; Merz, P.; Schwarzelbach, O. | Conference Paper |
| 2006 | Verfahren zum Ueberpruefen der Getter-Gasabsorptionskapazitaet in Kavitaeten von fuer die Mikrosystemtechnik geeigneten Mehrfachbauelementen sowie fuer dieses Verfahren benoetigte Bauteile
Reinert, W.; Merz, P. | Patent |
| 2005 | In-line critical leak rate testing of vacuum-sealed and backfilled resonating mems devices
Reinert, W.; Kähler, D.; Oldsen, M.; Merz, P. | Conference Paper |
| 2005 | PSM-X2: Polysilicon surface micromachining process platform for vacuum-packaged sensors
Merz, P.; Reinert, W.; Reimer, K.; Wagner, B. | Conference Paper |
| 2005 | Verfahren zur Strukturierung eines aus glasartigem Material bestehenden Flaechensubstrats
Quenzer, H.; Schulz, A.V.; Wagner, B.; Merz, P. | Patent |
| 2004 | Sensorchip fuer einen Differenzdrucksensor mit beidseitigem Ueberlastschutz
Lisec, T.; Merz, P. | Patent |
| 2004 | Verfahren und Vorrichtung zur gezielten Veraenderung der Oberflaechenkontur einer aus Glas oder glasartigem Material bestehenden optischen Linse
Quenzer, H.; Merz, P.; Bott, U. | Patent |
| 2004 | Verfahren zur Herstellung einzelner Mikrolinsen oder eines Mikrolinsenarrays
Quenzer, H.J.; Merz, P.; Bott, U. | Patent |
| 2004 | Verfahren zur Herstellung von mikromechanischen und mikrooptischen Bauelementen aus glasartigen Materialien
Quenzer, H.; Merz, P.; Schulz, A.V. | Patent |
| 2004 | Verfahren zur Strukturierung eines aus glasartigem Material bestehenden Flaechensubstrats, glasartiges Flaechensubstrat und Verwendung des glasartigen Flaechensubstrats
Quenzer, H.; Schulz, A.V.; Merz, P. | Patent |
| 2003 | 3-dimensional micro-structuring for optical applications
Quenzer, H.J.; Reimer, K.; Merz, P. | Journal Article |
| 2003 | Herstellung von mikrostrukturierten Oberflächen in Glas und Polymer durch replikate Verfahrenstechnologien
Merz, P. | Dissertation |
| 2003 | A novel micromachining technology for structuring borosilicate glass substrates
Merz, P.; Quenzer, H.J.; Bernt, H.; Wagner, B.; Zoberbier, M. | Conference Paper |
| 2003 | Three-dimensional micro-structuring for optical applications
Quenzer, H.J.; Reimer, K.; Merz, P. | Conference Paper |
| 2001 | Deep electrochemical trench etching with organic hydrofluoric electrolytes
Christophersen, M.; Merz, P.; Quenzer, J.; Carstensen, J.; Föll, H. | Journal Article |
| 2000 | A new way to silicon microstructuring with electrochemical etching
Christophersen, M.; Merz, P.; Quenzer, J.; Carstensen, J.; Föll, H. | Journal Article |
| 1999 | Progress in gray-tone lithography and replication techniques for different materials
Reimer, K.; Engelke, R.; Hofmann, U.; Merz, P.; Kohlmann van Platen, K.T.; Wagner, B. | Conference Paper |
| 1998 | One-level gray-tone design. Mask data preparation and pattern transfer
Reimer, K.; Henke, W.; Hofmann, U.; Merz, P.; Wagner, B. | Book Article |
| 1997 | Analyse der Prozeßkette Pulverspritzgießen
Merz, P.; Spur, G. | Dissertation |
| 1997 | Spritzgießen keramischer Bauteile
Spur, G.; Merz, P. | Journal Article |
| 1996 | Einführung Produktionstechnologie
Spur, G.; Merz, P. | Book Article |
| 1996 | New concepts for the optimization of debinding cycles
Merz, P. | Conference Paper |
| 1995 | Binder development for powder injection molding at the example of alumina
Spur, G.; Merz, P. | Journal Article |