Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2003New models for the simulation of post-exposure bake of chemically amplified resist
Matiut, D.; Erdmann, A.; Tollkühn, B.; Semmler, A.
Conference Paper
2003Will Darwin's law help us to improve our resist models?
Tollkühn, B.; Fühner, T.; Matiut, D.; Erdmann, A.; Semmler, A.; Kuchler, B.; Kokai, B.
Conference Paper