Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2001Reference plate manufacturing process for the ion projection lithography pattern lock system
Letzkus, F.; Butschke, J.; Irmscher, M.; Reuter, C.; Springer, R.; Eder, S.; Loschner, H.; Eberhardt, R.; Mohaupt, M.; Ehrmann, A.; Mathuni, J.; Panzer, B.; Struck, T.
Journal Article
2000Optimizing edge topography of alternating phase shift masks using rigorous mask modelling
Friedrich, C.; Mader, L.; Erdmann, A.; List, S.; Gordon, R.; Kalus, C.; Griesinger, U.; Pforr, R.; Mathuni, J.; Ruhl, G.; Maurer, W.
Conference Paper