Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2010Pulsed laser deposition of fluoride glass thin films
Ganser, D.; Gottmann, J.; Mackens, U.; Weichmann, U.
Journal Article
1988Application of SiC-X-ray masks for fabrication submicron devices
Mackens, U.; Lüthje, H.; Mescheder, U.; Mund, F.; Pongratz, S.
Conference Paper
1986Stability of SiC-masks for high resolution synchrotron X-ray lithography
Lüthje, H.; Mackens, U.; Mescheder, U.; Matthießen, B.
Journal Article