Fraunhofer-Gesellschaft

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2008Hard and soft magnetic materials for electromagnetic microactuators
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Lüthje, H.; Gatzen, H.H.
Conference Paper, Journal Article
2008Multifunctional parts by functionalisation solutions: How to integrate intelligence in rapid parts
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Biehl, S.; Diehl, W.
Conference Paper
2008Smart coatings for intelligent surfaces
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Dietz, A.; Lüthje, H.; Vergöhl, M.
Journal Article
2007Diamond-like carbon for MEMS
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Doering, L.; Limmer, W.
Conference Paper, Journal Article
2007Hart- und weichmagnetische Materialien für elektromagnetische Mikroaktoren
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Bräuer, G.; Lüthje, H.; Gatzen, H.H.
Conference Paper
2007High rate deposition of magnetic material by gas flow sputtering
Bandorf, R.; Bloche, A.; Ortner, K.; Lüthje, H.; Jung, T.
Conference Paper, Journal Article
2007Longitudinal and transversal piezoresistive effect in hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Journal Article
2007Mechanical and piezoresistive properties of diamond-like carbon for MEMS
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Conference Paper
2007Piezoresistive effect in amorphous carbon thin films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Journal Article
2007The piezoresistive effect in diamond-like carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Journal Article
2007Smart coatings - materials, deposition, and applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Biehl, S.; Sick, J.-H.; Ortner, K.; Jung, T.
Conference Paper
2007Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Verschleissresistenz einer Oberflaeche
Wortmann, A.; Luethje, H.
Patent
2007Vorrichtung und Verfahren zur Kontrolle der kraftschluessigen Verbindung zweier Koerper
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.
Patent
2007Vorrichtung zum Einstellen und Pruefen der Spannkraft von Schraubverbindungen
Luethje, H.; Sick, J.
Patent
2006Development and fabrication of magnetic thin films
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.H.
Conference Paper, Journal Article
2006DiaForce Dünnschichtsensoren zur Kraftmessung in extrem steifen adaptronischen Anwendungen
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Melz, T.; Mayer, D.
Conference Paper
2006Integration von Dünnschichtsensorik in Maschinenkomponenten
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.
Conference Paper
2006Intelligente Schichten für "denkende Oberflächen"
Bräuer, G.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Dietz, A.; Lüthje, H.; Vergöhl, M.
Journal Article
2006Investigation of the piezoresistive properties of nano structured amorphous carbon for force sensor applications
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.; Peiner, E.; Tibrewala, A.
Conference Paper
2006Kraftmessvorrichtung zur Messung der Kraft bei Festkörperaktoren, Verfahren zur Messung einer Kraft sowie Verwendung der Kraftmessvorrichtung
Lüthje, H.; Biehl, S.; Mayer, D.; Melz, T.; Herold, S.
Patent
2006MEMS-Kraftsensoren mit integrierten Dehnungsmesstreifen aus diamantartigem Kohlenstoff
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Conference Paper
2006Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Conference Paper, Journal Article
2006Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Journal Article
2006Microtribology. Carbon based coatings on micro structured surfaces
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Küster, R.; Sick, J.-H.
Conference Paper
2006Multifunctional thin film sensors based on amorphous diamond-like carbon for use in tribological applications
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.
Journal Article
2006Piezoresistive diamond-like carbon micro strain gauges
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Conference Paper
2006Piezoresistive gauge factor of hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Journal Article
2006Piezoresitive diamond-like carbon micro strain gauges
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Doering, L.
Conference Paper
2006Rezeptoren in der Maschinenhaut - Tribologisch optimierte Oberflächensensoren für die Antriebstechnik
Lüthje, H.
Journal Article
2006Surface integrated thin film sensors for high precision measurement of temperature, wear, pressure and displacement in tribological contacts
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.
Conference Paper
2006Transport and optical properties of amorphous carbon and hydrogenated amorphous carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Journal Article, Conference Paper
2006Tribology of microsystems
Küster, R.; Bandorf, R.; Henke, C.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Neumeister, C.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G.
Journal Article
2005Different carbon based thin films and their microtribological behaviour in MEMS applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Henke, C.; Wiebe, J.; Sick, J.-H.; Küster, R.
Journal Article
2005Entwicklung und Fertigung magnetischer Schichten
Bedenbecker, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.
Conference Paper
2005Intelligente Schichten für das Auto von morgen
Lüthje, H.
Journal Article
2005Laser-assisted structuring for the fabrication of thin film sensors on complex 3D-surfaces
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.
Conference Paper
2005Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge
Peiner, E.; Tibrewala, A.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Doering, L.
Conference Paper
2005Piezoresistive co-efficient of diamond-like carbon films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.
Conference Paper
2005Preparation and characterization of multifunctional thin film sensors based on amorphous diamond-like-carbon
Lüthje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.-H.; Peiner, E.; Tibrewala, A.
Conference Paper
2005TRAEGER FUER ELEKTRISCHE SCHALTUNGSELEMENTE
Luethje, H.; Klages, C.; Zanden, J.T. van der; Thiele, A.
Patent
2005Transport and optical properties of a-C and a-C:H modification films
Tibrewala, A.; Peiner, E.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Lüthje, H.; Rabe, G.T.
Conference Paper
2005Tribologie von MEMS-Komponenten
Bandorf, R.; Küster, R.; Henke, C.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Neumeister, C.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G.
Conference Paper
2005Verschleißarme Beschichtungen für Mikroaktoren
Küster, R.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.
Conference Paper
2005Vorrichtung und Verfahren zum Messen und Anpassen des Anpressdruckes von Messern
Grundmann, A.; Luethje, H.
Patent
2005Vorrichtung zur Ueberwachung des Verschleisses einer Oberflaeche
Grundmann, A.; Luethje, H.
Patent
2004Al- und FVK-Bearbeitung mit intelligenten Werkzeugen
Lüthje, H.; Brücher, M.
Journal Article
2004Duennschichtmaske und Verfahren zu deren Herstellung
Luethje, H.; Biehl, S.
Patent
2004Influencing factors on microtribology of DLC films for MEMS and microactuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Conference Paper, Journal Article
2004An investigation on technologies to fabricate magnetic microcomponents for miniaturized actuator systems
Budde, T.; Föhse, M.; Majjer, B.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.
Journal Article
2004Laser-patterning of thin films deposited on complex surfaces for the fabrication of micro-sensors
Biehl, S.; Lüthje, H.
Conference Paper
2004Sensorische Werkzeugbeschichtungen messen Temperaturen und Kräfte im Zerspanprozess
Wiemann, E.; Lüthje, H.; Uhlmann, E.
Journal Article
2004Submicron coatings for micro-tribological applications
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Beck, M.; Gatzen, H.-H.; Schmidt, M.; Büttgenbach, S.; Bräuer, G.
Journal Article
2004Thin film sensor for wear detection of cutting tools
Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Stint, B.
Journal Article
2004Verwendung einer Schicht aus diamantartigem Kohlenstoff
Luethje, H.; Biehl, S.
Patent
2004Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Beanspruchung eines Werkzeugs
Luethje, H.; Schnettker, T.
Patent
2004VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR UEBERWACHUNG UND STEUERUNG EINES FAHRZEUGS
Luethje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.
Patent
2004Waelzlager mit integrierter Zustandsmessung
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.
Patent
2004Waelzlager mit intergrierter Zustandsmessung
Luethje, H.; Biehl, S.
Patent
2004Wear resistant thin film sensors for monotoring force and temperature in the track of ball bearings
Biehl, S.; Lüthje, H.
Conference Paper
2003Fertigung magnetischer Schichten
Budde, T.; Föhse, M.; Majjer, B.; Lüthje, H.; Bräuer, G.; Gatzen, H.-H.
Conference Paper
2003Gleit- und/oder Waelz-Paarungen mit Duennschichtsensorik
Brand, J.; Luethje, H.; Koesel, H.; Lange, N.
Patent
2003Herstellungsverfahren fuer Umform-, Stanz- und Spritzgusswerkzeuge
Luethje, H.; Taube, K.
Patent
2003Influence of substrate material and topography on the tribological behaviour of submicron coatings
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Wortmann, A.; Staedler, T.; Wittorf, R.
Conference Paper, Journal Article
2003Influence of the initial surface roughness on the wear behaviour of micro probes under rotating and oscillating flat micro contact
Beck, M.; Bandorf, R.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Gatzen, H.-H.
Conference Paper
2003LENKVORRICHTUNG FUER FAHRZEUGE
Luethje, H.; Kist, R.; Reul, T.
Patent
2003Micropatterned thin films for optimisation of the microtribological behaviour in MEMS and microactuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Henke, C.; Sick, J.-H.
Conference Paper
2003Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Conference Paper
2003Nano-structured carbon sensor for simultaneous measurement of load and temperature at mechanically strained surfaces
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.
Conference Paper
2003Non-reactive and reactive ion etching processes for patterning magnet MEMS components
Balke, M.; Lüthje, H.; Budde, T.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G.
Conference Paper
2003Smart tools for future cutting processes
Lüthje, H.; Schmitz, R.
Journal Article
2003Submikrometerschichten für mikrotribologische Anwendungen
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Beck, M.; Gatzen, H.-H.; Schmidt, M.; Büttgenbach, S.; Bräuer, G.
Conference Paper
2003Vorrichtung zur Kontrolle kraftschluessiger Verbindungen
Loehken, T.; Luethje, H.
Patent
2003Vorrichtung zur Kontrolle kraftschluessiger Verbindungen
Luethje, H.; Biehl, S.; Bandorf, R.; Sick, J.
Patent
2002Mechanisch beanspruchbare Komponenten oder Elemente sowie Verfahren zum Herstellen von mechanisch beanspruchbaren Komponenten oder Elementen und Vorrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
Luethje, H.
Patent
2002Novel force sensor based on hard diamond-like carbon films
Biehl, S.; Lüthje, H.; Bandorf, R.
Conference Paper
2002Sub-micron coatings with low friction and wear for micro actuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Staedler, T.; Wortmann, A.
Journal Article
2002Thin film sensor for wear detection of cutting tools
Lüthje, H.; Bandorf, R.; Biehl, S.; Stindt, B.
Conference Paper
2002Tribologische Sub-Mikrometer Schichten für Mikrosysteme
Bandorf, R.; Lüthje, H.
Journal Article
2001Novel equipment for friction force measurement on MEMS and micro components
Schmidt, M.; Wortmann, A.; Lüthje, H.; Büttgenbach, S.
Conference Paper
2001Oberflächensensoren überwachen Werkzeugschneiden
Lüthje, H.; Nordmann, K.
Journal Article
2001Sensor zur Zustandsbestimmung von Kenngroessen an mechanischen Komponenten unter Verwendung von amorphen Kohlenstoffschichten mit piezoresistiven Eigenschaften
Luethje, H.; Brand, J.
Patent
2001Sub-micron coatings with low friction and wear for micro actuators
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Schiffmann, K.; Staedler, T.; Wortmann, A.
Conference Paper
2001Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen von roehrchenfoermigen mikromechanischen Komponenten, insbesondere Gefaessprothesen
Daaud, S.; Luethje, H.; Hertlein, G.
Patent
2000Direct control of cutting tools by novel microtechniques
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R.
Conference Paper
2000Elektrisch kontaktierbare Maske zur Herstellung von dreidimensionalen Schaltungstraegern
Poeckelmann, R.; Luethje, H.; Klages, C.; Matthee, T.
Patent
2000Moderne Dichtungssysteme - Neue Möglichkeiten durch Plasmaoberflächentechnik
Beckmann, C.; Brand, J.; Lüthje, H.; Thyen, R.
Conference Paper
2000Verfahren und Vorrichtung zum Auftragen von Fotoresistlack auf nicht ebene Grundkoerperoberflaechen
Luethje, H.; Daaud, S.; Boettcher, R.
Patent
2000Werkzeug fuer Umform- und Zerspanungsvorrichtungen und Verfahren zum Herstellen eines beschichteten Werkzeugs
Zamel, S.; Luethje, H.; Ketteler, G.; Dimigen, H.
Patent
1999Intelligente Werkzeuge durch integrierte Mikrosysteme - INGWER
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R.; Rübenach, O.; Bierwith, R.; Salomon, S.; Schneider-Ramelow, M.
Report
1999Intelligente Werkzeuge für die zerspanende Fertigung durch integrierte Mikrosysteme
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R.
Conference Paper
1999Smart coatings. Intelligente Schichtsysteme bilden eine Haut für Maschinen
Lüthje, H.
Journal Article
1999Verfahren zur Beschichtung von Substraten mit Aluminiumoxid (Al2O3) und damit beschichtetes Werkstueck
Loehken, T.; Luethje, H.; Steinberg, C.; Jung, T.
Patent
1999Vorrichtung zur in-situ Messung von mechanischen Spannungen in Schichten
Luethje, H.; Daaud, S.
Patent
1998Coatings give machine tools a harder edge
Schäfer, L.; Lüthje, H.
Journal Article
1998Deposition of c-BN films by DC magnetron sputtering
Kouptsidis, S.; Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Schütze, A.; Zhang, P.
Journal Article
1998Improvement of the adhesion of sputtered cubic boron nitride films
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Gaertner, M.
Journal Article, Conference Paper
1998Integrierte Zustandssensoren für Werkzeuge und Maschinenkomponenten
Lüthje, H.; Löhken, T.; Böttcher, R.
Conference Paper
1998Intelligente Werkzeuge mit integrierten sensorischen Netzwerken
Lüthje, H.
Journal Article
1998Die künftige Rolle der Oberflächentechnik in der Zerspanung
Dimigen, H.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Schäfer, L.
Conference Paper
1998Mechanische Komponente mit mehreren Verschleisssensoren
Loehken, T.; Luethje, H.; Boettcher, R.
Patent
1998Schichten machen Werkzeuge klüger
Lüthje, H.
Journal Article
1998Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen eines Farbfilters, dadurch hergestellter Farbfilter sowie Verfahren zum Herstellen eines Grundkoerpers fuer eine solche Vorrichtung
Weber, A.; Luethje, H.
Patent
1997Mikrobalken mit integrierter Abtast- bzw. Pruefspitze aus Diamant fuer den Einsatz in Rastersondenmikroskopen
Schiffmann, K.I.; Jiang, X.; Luethje, H.
Patent
1997Verfahren zur herstellung von Schichten aus kubischem Bornitrid
Luethje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.
Patent
1996Development of industrial low temperature PVD technique of cubic boron nitride for long lifetime products. Abschlußbericht
Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Schütze, A.; Bewilogua, K.; Schröder, J.; Daaud, S.
Report
1996Development of industrial low temperature PVD technique of cubic boron nitride for long lifetime products. Synthesis report
Kouptsidis, S.; Lüthje, H.; Schütze, A.; Bewilogua, K.
Report
1996Improvement of the adhesion of sputtered cubic boron nitride films
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Gaertner, M.
Conference Paper
1996Preparation of cubic boron nitride films by reactive sputtering from a boron nitride target
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.
Journal Article
1995Cubic boron nitride films prepared by reactive r.f. - and d.c. sputtering from different boron containing targets
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Jäger, S.
Conference Paper
1995Cubic boron nitride films prepared by reactive r.f. - and d.c. sputtering from different boron containing targets
Schütze, A.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Kouptsidis, S.; Jäger, S.
Journal Article
1995Development of industrial low temperature PVD technique of c-BN for long lifetime products
Lüthje, H.
Conference Paper
1995In-situ Messung der optischen Emission des Plasmas und deren Korrelation zu Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetronsputern
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.
Report
1995Preparation of cubic boron nitride films by use of electrically conductive boron carbide targets
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.; Johansson, M.; Hultmann, L.
Journal Article
1995Sputter deposition of cubic boron nitride films
Bewilogua, K.; Schütze, A.; Kouptsidis, S.; Lüthje, H.
Conference Paper
1994Intelligente Werkzeuge für die Zerspanungstechnik
Lüthje, H.
Conference Paper
1994Microstructure of BN:C films deposited on Si substrates by reactive magnetron sputtering from a B4C target
Johansson, M.; Daaud, S.; Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Hultmann, L.
Book Article
1994Preparation of cubic boron nitride films by use of electrically conductive boron carbide targets
Lüthje, H.; Bewilogua, K.; Daaud, S.; Johansson, M.; Hultmann, L.
Book Article
1994PVD Technik for the preparation of cubic boron nitride
Lüthje, H.
Conference Paper
1994Superharte Schichten aus kubischem Bornitrid
Bewilogua, K.; Lüthje, H.; Schütze, A.; Kouptsidis, S.
Conference Paper
1992Diamond membranes for X-ray masks
Löchel, B.; Schliwinski, H.-J.; Huber, H.-L.; Trube, J.; Klages, C.-P.; Lüthje, H.; Schäfer, L.
Conference Paper
1988Application of SiC-X-ray masks for fabrication submicron devices
Mackens, U.; Lüthje, H.; Mescheder, U.; Mund, F.; Pongratz, S.
Conference Paper
1986Stability of SiC-masks for high resolution synchrotron X-ray lithography
Lüthje, H.; Mackens, U.; Mescheder, U.; Matthießen, B.
Journal Article
1985High contrast synchrotron x-ray lithography by means of silicon based masks and magnesium beam windows
Lüthje, H.; Harms, M.; Bruns, A.
Journal Article
1975The influence of the target material on sputter etching processes
Dimingen, H.; Lüthje, H.
Journal Article