Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Verfahren zum Herstellen einer magnetischen Struktur
Lisec, Thomas; Lofink, Fabian
Patent
2018Verfahren zum Herstellen eines Hohlraums mit poröser Struktur
Lisec, Thomas; Lofink, Fabian
Patent
2018Wärmeisoliertes Mikrosystem
Lisec, Thomas; Quenzer, Hans-Joachim
Patent
2017Nanodiamond resonators fabricated on 8'' Si substrates using adhesive wafer bonding
Lebedev, Vadim; Lisec, Thomas; Yoshikawa, Taro; Reusch, Markus; Iankov, Dimitre; Giese, Christian; Zukauskaite, Agne; Cimalla, Volker; Ambacher, Oliver
Journal Article
2016Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einer dreidimensionalen magnetischen Struktur
Lisec, Thomas; Quenzer, Hans Joachim; Reimer, Tim
Patent
2015Mikro-Elektro-Mechanisches System und Verfahren zum Herstellen desselben
Lisec, Thomas; Stoppel, Fabian
Patent