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| 2010 | Advanced key technologies for magnetron sputtering and PECVD of inorganic and hybrid transparent coatings
Frach, P.; Glöß, D.; Bartzsch, H.; Täschner, K.; Liebig, J.; Schultheiss, E. | Journal Article |
| 2010 | Multifunctional optical coatings on polymers deposited by pulse magnetron sputtering and magnetron enhanced PECVD
Frach, P.; Bartzsch, H.; Täschner, K.; Liebig, J.-S. | Journal Article, Conference Paper |
| 2009 | Multifunctional optical coatings on polymers deposited by pulse magnetron sputtering and magnetron enhanced PECVD
Frach, P.; Bartzsch, H.; Taeschner, K.; Liebig, J.; Schultheiß, E. | Conference Paper |
| 2008 | Multifunctional high-reflective and antireflective layer systems with easy-to-clean properties
Glöß, D.; Frach, P.; Gottfried, C.; Klinkenberg, S.; Liebig, J.-S.; Hentsch, W.; Liepack, H.; Krug, M. | Conference Paper, Journal Article |
| 2006 | Multi-functional high-reflective and anti-reflective layer systems with easy-to-clean properties
Glöß, D.; Frach, P.; Gottfried, C.; Klinkenberg, S.; Liebig, J.-S.; Hentsch, W.; Liepack, H.; Krug, M. | Conference Paper |
| 2006 | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Plasmas sowie Verwendung derselben
Fietzke, F.; Goedicke, K.; Flaske, H.; Liebig, J.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 2006 | Vorrichtung zum Elektronenstrahlverdampfen
Mattausch, G.; Flaske, H.; Liebig, J.-S.; Kirchhoff, V.; Heinß, J.-P.; Klose, L. | Patent |
| 2005 | Innovative stationary and in-line sputter technologies for precision optical coatings
Frach, P.; Bartzsch, H.; Liebig, J. | Conference Paper |
| 2005 | Precision optical and antireflection multilayer and gradient coatings containing reactively sputtered oxides, nitrides and fluorides
Bartzsch, H.; Frach, P.; Weber, J.; Liebig, J.-S. | Conference Paper |
| 2004 | Einrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten
Frach, P.; Bartzsch, H.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Liebig, J.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 2004 | Einrichtung zum Beschichten durch Magnetron-Sputtern
Liebig, J.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Frach, P. | Patent |
| 2004 | Einrichtung zur Einstellung einer vorgegebenen Schichtdickenverteilung bei Vakuumbeschichtungsprozessen auf bewegten Substraten
Goedicke, K.; Liebig, J. | Patent |
| 2004 | Einrichtung zur Erzeugung einer Magnetron-Entladung
Goedicke, K.; Liebig, J.; Kirchhoff, V.; Winkler, T. | Patent |
| 2004 | Verfahren und Einrichtung zur plasmaaktivierten Schichtabscheidung durch Kathodenzerstaeubung nach dem Magnetron-Prinzip
Fietzke, F.; Goedicke, K.; Wuensche, T.; Klostermann, H.; Liebig, J. | Patent |
| 2004 | Verfahren und Einrichtung zur wechselweisen Abscheidung zweier Materialien durch Kathoden-Zerstaeubung
Winkler, T.; Goedicke, K.; Bluethner, R.; Liebig, J. | Patent |
| 2004 | Verfahren zum Bipolar-Magnetronsputtern
Liebig, J.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Frach, P.; Winkler, T. | Patent |
| 2003 | Influences of pulse parameters on properties of optical coatings deposited by reactive pulsed magnetron sputtering
Vanecek, R.; Liebig, J.; Sahm, H. | Conference Paper |
| 2003 | Verfahren zum Beschichten von Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung und beschichtete Folie aus Nickel oder einer Nickellegierung
Goedicke, K.; Liebig, J.; Malobabic, P.; Hochreiter, E.; Gulikers, J. | Patent |
| 2002 | Einrichtung zum Beschichten von Substraten mit gekruemmter Oberflaeche durch Pulsmagnetron- Zerstaeuben
Liebig, J.S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 2002 | Einrichtung zum Beschichten von Substraten mit gekruemmter Oberflaeche durch Pulsmagnetron-Zerstaeuben
Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Liebig, J. | Patent |
| 2002 | Elektrodenanordnung fuer die magnetfeldgefuehrte plasmagestuetzte Abscheidung duenner Schichten im Vakuum
Winkler, T.; Weiske, D.; Egel, M.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Liebig, J.; Kopte, T. | Patent |
| 2002 | Verfahren und Einrichtung zur Herstellung von Schichtsystemen fuer optische Praezisionselemente
Liebig, J.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Winkler, T. | Patent |
| 2000 | Influence of process parameters on the structure and the properties of ZrO2 coatings deposited by reactive pulsed magnetron sputtering (PMS)
Goedicke, K.; Liebig, J.-S.; Zywitzki, O.; Sahm, H. | Journal Article, Conference Paper |
| 1999 | ORGANISCHES SUBSTRAT MIT OPTSCHEN SCHICHTEN HERGESTELLT MITTELS MAGNETRON-ZERSTAEUBUNG UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
Liebig, J.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Keller, G.; Bosmans, R.; Comble, P. | Patent |
| 1996 | Numerical modelling of charged particle motion in electric and magnetic fields to assist magnetron design
Liebig, J.-S.; Frach, P.; Bartzsch, H.; Schulze, D.; Schwanbeck, H. | Conference Paper |