Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Verfahren zur Überprüfung eines Trennschrittes bei der Zerteilung eines flachen Werkstückes in Teilstücke
Tobisch, Alexander; Schellenberger, Martin; Lewke, Dirk
Patent
2015Nachbearbeitung von teilgetrennten Bauelementen in der Halbleitertechnik
Lewke, Dirk; Schellenberger, Martin
Study
2015Verfahren und Vorrichtung zur Trennung einews flachen Werkstücks in mehrere Teilstücke
Zühlke, Hans-Ulrich; Koitzsch, Matthias; Lewke, Dirk; Tobisch, Alexander
Patent
2013Advanced Vacuum Wafer Drying for Thermal Laser Separation Dicing Assessment. Results from European collaborative SEAL project
Le Barillec, Olivier; Davenet, Magali; Bellet, B.; Koitzsch, Matthias; Lewke, Dirk; Schellenberger, Martin; Zühlke, Hans-Ulrich
Conference Paper
2013Verfahren und Vorrichtung zum parallelen Trennen eines Werkstücks in mehrere Teilstücke
Lorenz, Jürgen; Koitzsch, Matthias; Schellenberger, Martin; Lewke, Dirk; Gumprecht, Thomas
Patent
2012Ablation Free Dicing of 4H-SiC Wafers with Feed Rates up to 200 mm/s by Using Thermal Laser Separation
Lewke, Dirk; Koitzsch, Matthias; Schellenberger, Martin; Pfitzner, Lothar; Ryssel, Heiner; Zühlke Hans-Ulrich
Journal Article, Conference Paper
2012Stationsanordnung zur Bearbeitung und/oder Vermessen von Halbleiterscheiben sowie Bearbeitungsverfahren
Schellenberger, Martin; Lewke, Dirk
Patent
2012Thermal laser separation - damage-free and Kerfless cutting of wafers and solar cells
Koitzsch, Matthias; Lewke, Dirk; Kaule, Felix; Oswald, Marcus; Schoenfelder, Stephan; Turek, Marko; Büchel, Andreas; Zühlke, Hans-Ulrich
Conference Paper
2012Thermal laser separation and its applications
Lewke, Dirk; Koitzsch, Matthias; Schellenberger, Martin; Pfitzner, Lothar; Ryssel, Heiner; Zühlke, Hans-Ulrich
Journal Article
2011A virtual equipment as a test bench for evaluating virtual metrology algorithms
Mattes, Andreas; Koitzsch, Matthias; Lewke, Dirk; Müller-Zell, Michael; Schellenberger, Martin
Conference Paper
2011Virtual equipment. A test bench for virtual metrology algorithms
Mattes, Andreas; Lewke, Dirk; Schellenberger, Martin
Presentation