Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2003Three-dimensional triangle-based simulation of etching processes and applications
Lenhart, O.; Bär, E.
Journal Article
2002Algorithmen für die dreiecksbasierte dreidimensionale Simulation bewegter Oberflächen in der Halbleitertechnologie
Lenhart, O.
: Ryssel, H. (Prüfer)
Dissertation
2002Three-dimensional triangle-based simulation of etching processes
Lenhart, O.; Bär, E.
Conference Paper