Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2005Mikrosensor mit einer Resonatorstruktur
Seidel, H.; Alkele, M.; Prechtel, U.; Nagler, O.; Kuehl, K.
Patent
2001Batch fabrication of silicon micropumps
Richter, M.; Kruckow, J.; Weidhaas, M.; Wackerle, M.; Drost, A.; Schaber, U.; Schwan, M.; Kühl, K.
Conference Paper
2001Full wafer fabrication technologies of micro pumps
Richter, M.; Kruckow, J.; Weidhaas, J.; Drost, A.; Schaber, U.; Kühl, K.
Book Article
1993Herstellung von beweglichen Elementen in der mym-Skala - Surface Micromachining
Kozlowski, F.; Kühl, K.; Lang, W.
Conference Paper
1993Wirbelfrequenz-Stroemungsmesser
Lang, W.; Kuehl, K.
Patent
1992Study of doping dependent p-n junction etch-stop using pulsed electrochemical anodization
Schaber, U.; Offereins, H.L.; Seitz, S.; Gronegger, H.; Kühl, K.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1992Eine Thermosäule in Polysilicium-Dünnfilmtechnologie
Kühl, K.; Lang, W.
Conference Proceedings
1991Absorbing layers for thermal infrared detectors
Kühl, K.; Lang, W.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1991Katalytischer Gassensor
Drost, S.; Kuehl, K.; Lang, W.; Richter, A.; Endres, H.-E.
Patent
1991Katalytischer Gassensor und Verfahren zum Herstellen desselben
Lang, W.; Kuehl, K.; Drost, S.; Richter, A.; Endres, H.-E.
Patent
1991Methoden zur Herstellung konvexer Ecken beim anisotropen Ätzen von 100-Silicium in wässriger KOH Lösung
Offereins, H.L.; Kühl, K.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1991Mikromechanik-Komponenten
Csepregi, L.; Kühl, K.; Sandmaier, H.
Journal Article
1991Mikroventil
Csepregi, L.; Kuehl, K.; Seidel, H.
Patent
1991Studie Mikromechanik
Kühl, K.; Csepregi, L.; Sandmaier, H.
Journal Article
1991Studie Mikromechanik-Komponenten und Dienstleistungsanbieter
Kühl, K.; Csepregi, L.; Sandmaier, H.
Book Article
1991A thin film polysilicon-aluminium thermocouple
Kühl, K.; Lang, W.
Journal Article
1991Der Wärmeübergang von Mikrostrukturen durch freie Konvektion
Kühl, K.; Lang, W.
Conference Paper
1990Fabrication of convex corners in anisotropic etching of 100-silicon using aqueous KOH
Offereins, H.L.; Kühl, K.; Meyer, G.K.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1990Fabrication of non-underetched convex corners in anisotropic etching of 100-silicon in aqueous KOH with respect to novel micromechanic elements
Meyer, G.; Offereins, H.L.; Kühl, K.; Sandmaier, H.
Journal Article
1990Piezoresistive low-pressure sensor with high sensitivity and accuracy
Kühl, K.; Sandmaier, H.
Conference Paper
1990A thin-film bolometer for radiation thermometry at ambient temperature
Kühl, K.; Obermeier, E.; Lang, W.
Journal Article
1989Frequenzselektiver Schwingungssensor
Csepregi, L.; Kuehl, K.; Seidel, H.
Patent
1987A silicon based micromechanical accelerometer with cross acceleration sensitivity compensation
Sandmaier, H.; Kühl, K.; Obermeier, E.
Conference Paper
1985A frequency-selective, piezoresistive silicon vibration sensor
Csepregi, L.; Heuberger, A.; Kuehl, K.; Seidel, H.; Benecke, W.
Conference Paper
1984Technologie dünngeätzter Siliziumfolien im Hinblick auf monolithisch integrierbare Sensoren
Csepregi, L.; Kühl, K.; Niessl, R.; Seidel, H.
Book