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| 2002 | MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT MIT SCHWINGKOERPER
Schenk, H.; Duerr, P.; Kueck, H. | Patent |
| 2002 | Phasenmodulierende Mikrostrukturen fuer hoechstintegrierte Flaechenlichtmodulatoren
Gottfried-Gottfried, R.; Kueck, H.; Kunze, D. | Patent |
| 2001 | A resonantly excited 2D-micro-scanning-mirror with large deflection
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H. | Journal Article |
| 2000 | Design and modelling of large deflection micromechanical 1D and 2D scanning mirrors
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H. | Conference Paper |
| 2000 | An electrostatically excited 2D-Micro-Scanning-Mirror with an in-plane configuration of the driving electrodes
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H. | Conference Paper |
| 2000 | Fabrication of the moving liquid mirror (MLM) spatial light modulator in a standard CMOS-process
Wolter, A.; Lakner, H.; Kück, H.; Doleschal, W.; Kirstein, K.-U.; Rieck, A.; Frohberg, K. | Conference Paper |
| 2000 | Investigation of SiGe/Si - heterostructures with high resolution x-ray diffraction methods
Frohberg, K.; Wehner, B.; Trui, B.; Wolf, K.; Paufler, P.; Kück, H. | Conference Paper |
| 2000 | Large deflection micromechanical scanning mirrors for linear scans and pattern generation
Schenk, H.; Dürr, P.; Haase, T.; Kunze, D.; Sobe, U.; Lakner, H.; Kück, H. | Journal Article |
| 2000 | Moving liquid mirror: A new concept for spatial light modulation
Wolter, A.; Kück, H.; Kunze, D.; Gottfried-Gottfried, R. | Book Article |
| 2000 | A spatial light modulator using moving liquid mirrors (MLM) on a CMOS active-matrix
Wolter, A.; Kirstein, K.-U.; Doleschal, W.; Kück, H.; Lakner, H.; Zimmer, G. | Conference Paper |
| 1999 | BESCHLEUNIGUNGSGRENZWERTSENSOR
Geiger, W.; Kueck, H.; Erlebach, A.; Fischer, W. | Patent |
| 1999 | A new driving principle for micromechanical torsional actuators
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1999 | A novel electrostatically driven torsional actuator
Schenk, H.; Dürr, P.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1999 | Vorrichtung zum Strukturieren einer photolithographischen Schicht
Paufler, J.; Seltmann, R.; Kueck, H. | Patent |
| 1998 | Investigation of SiGe/Si-heterostructures with high resolution X-ray diffraction methods
Frohberg, K.; Wehner, B.; Trui, B.; Wolf, K.; Paufler, P.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1998 | Microtechnologies, microactuator device for lightmodulator applications
Gehner, A.; Doleschal, W.; Schwenger, L.; Kück, H.; Zimmer, G. | Conference Paper |
| 1998 | Miniaturisierte Spulenanordnung hergestellt in Planartechnologie zur Detektion von ferromagnetischen Stoffen
Gottfried-Gottfried, R.; Kueck, H.; Kück, H. | Patent |
| 1997 | High-throughput optical direct write lithography
Paufler, J.; Kück, H.; Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Zimmer, G. | Journal Article |
| 1997 | Integration von passiven Elementen hoher Güte in eine HF-CMOS-Technologie
Eggert, D.; Barthel, W.; Hübler, P.; Hürrich, A.; Kück, H.; Budde, W. | Book Article |
| 1997 | Realisierung von monolithisch integrierten Mikrosystemen
Kück, H. | Conference Paper |
| 1997 | Refractive index measurements using an integrated Mach-Zehnder interferometer
Schubert, T.; Haase, N.; Kück, H.; Gottfried Gottfried, R. | Journal Article |
| 1997 | SIMOX-Technologie für monolithisch integrierbare Beschleunigungssensoren
Köhler, R.; Kück, H.; Sölla, F. | Book Article |
| 1996 | Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, H.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grundke, W.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.; Zimmer, G. | Conference Paper |
| 1996 | Fabrication of acceleration sensors using a new SIMOX technology for stiction free low stress
Geiger, W.; Erlebach, A.; Köhler, R.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1996 | A miniaturized magnetic field sensor system consisting of a planar fluxgate sensor and a CMOS readout circuitry
Gottfried-Gottfried, R.; Budde, W.; Jähne, R.; Kück, H.; Sauer, B.; Ulbricht, S.; Wende, U. | Conference Paper |
| 1996 | New system for fast submicron optical direct writing
Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, H.; Melcher, R.; Paufler, J.; Zimmer, G. | Conference Paper |
| 1996 | Nutzeroberfläche für die FEM-Analyse von mikromechanischen Systemen am Beispiel mikromechanischer Spiegel
Kunze, D.; Erlebach, A.; Gehner, A.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1996 | Planarer Fluxgate-Sensor mit CMOS-ASIC für Betrieb und Auslesung
Gottfried-Gottfried, R.; Budde, W.; Jähne, R.; Kück, H.; Sauer, B.; Ulbricht, S.; Wende, U. | Book Article |
| 1996 | Refractive index measurements using an integrated Mach-Zehnder interferometer
Schubert, T.; Haase, N.; Kück, H.; Gottfried Gottfried, R. | Conference Paper |
| 1996 | SOI-CMOS technology with monolithically integrated active and passive RF devices on high resistivity SIMOX substrates
Hürrich, A.; Hübler, P.; Eggert, D.; Kück, H.; Barthel, W.; Budde, W.; Raab, M. | Conference Paper |
| 1996 | A thermoelectric infrared radiation sensor with monolithically integrated amplifier stage and temperature sensor
Müller, M.; Budde, W.; Gottfried-Gottfried, R.; Hübel, A.; Jähne, R.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1995 | Ausbeute-Zuverlässigkeits-Korrelation für Leitbahnsysteme in hochintegrierten Schaltungen
Dreizner, A.; Kück, H.; Lukat, K.; Pahlitzsch, J. | Conference Paper |
| 1995 | BELICHTUNGSVORRICHTUNG
Gehner, A.; Hess, G.; Kueck, H.; Vogt, H. | Patent |
| 1995 | BELICHTUNGSVORRICHTUNG
Vogt, H.; Hess, G.; Gehner, A.; Kueck, H. | Patent |
| 1995 | BELICHTUNGSVORRICHTUNG
Vogt, H.; Hess, G.; Gehner, A.; Kueck, H. | Patent |
| 1995 | Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, H.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grundke, W.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.; Zimmer, G. | Conference Paper |
| 1995 | Integration von HF-Bauelementen in einem CMOS-SIMOX-Prozeß
Barthel, W.; Budde, W.; Eggert, D.; Hübler, P.; Hürrich, A.; Kück, H.; Oberschmidt, G.; Raab, M.; Zimmer, G. | Conference Paper |
| 1995 | Low-Power-CMOS-Technologie auf Bulk- und SIMOX-Substrat
Raab, M.; Stephan, R.; Kück, H.; Vogt, H. | Book Article |
| 1995 | Mikrowellentechnologie auf hochohmigem SIMOX-Substrat
Barthel, W.; Budde, W.; Burbach, G.; Eggert, D.; Hübler, P.; Hürrich, A.; Kück, H.; Kokozinski, R.; Raab, M. | Book Article |
| 1995 | Miniature condenser microphone with a thin silicon membrane fabricated on SIMOX substrate
Horwath, P.; Erlebach, A.; Köhler, R.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1995 | A miniaturized magnetic field sensor system consisting of a planar fluxgate sensor and a CMOS readout circuitry
Gottfried-Gottfried, R.; Budde, W.; Jähne, R.; Kück, H.; Sauer, B.; Ulbricht, S.; Wende, U. | Conference Paper |
| 1995 | Ein neues System für eine schnelle, maskenlose optische Mikrolithografie
Bollerott, M.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grinewitschus, V.; Grundke, W.; Hille, F.; Kück, H.; Mahdavi, P.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R. | Book Article |
| 1995 | New system for fast maskless submicron lithography - challenge on fast flexible data handling
Kück, H. | Conference Paper |
| 1995 | New system for fast submicron laser direct writing
Kück, H.; Bollerott, M.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Kunze, D.; Grundke, W.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.; Zimmer, G. | Conference Paper |
| 1995 | New system for fast submicron optical direct writing
Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, H.; Melcher, R.; Paufler, J.; Zimmer, G. | Conference Paper |
| 1995 | A thermoelectric infrared radiation sensor with monolithically integrated amplifier stage and temperature sensor
Müller, M.; Budde, W.; Gottfried-Gottfried, R.; Hübel, A.; Jähne, R.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1995 | Vorrichtung zur Absorption infraroter Strahlung
Gottfried Gottfried, R.; Kueck, H.; Müller, M. | Patent |
| 1994 | Advanced SOI MOSFET for low voltage, low power and fast application
Stephan, R.; Raab, M.; Kück, H.; Vogt, H. | Conference Paper |
| 1994 | CMOS-kompatible Herstellung von 3-dimensionalen Spulen mit ferromagnetischem Kern auf einem Siliziumwafer
Haase, T.; Sauer, B.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1994 | Halbleiterbauelement, insbesondere zur Ionendetektion
Kunath, C.; Kurth, E.; Kueck, H.; Mokwa, W. | Patent |
| 1994 | IMS 2, a new R&D institute for MST
Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H. | Journal Article |
| 1994 | Moderne Mikrosysteme für die Dosimetrie und den Strahlenschutz
Streil, T.; Klinke, R.; Erlebach, A.; Kück, H.; Zimmer, G. | Conference Paper |
| 1994 | Möglichkeiten der SIMOX-Technologie zur Herstellung von Strahlungsthermosäulen
Müller, M.; Kück, H. | Conference Proceedings |
| 1994 | Monolithic infrared sensor system with programmable readout electronics
Jähne, R.; Budde, W.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Müller, M. | Conference Paper |
| 1994 | Monolithisches IR-Sensorsystem in Siliziumtechnologie
Müller, M.; Jähne, R.; Budde, W.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1994 | Reinraumprozeßlinie für Siliziumtechnologie und Sensorik
Jungnickel, G.; Kabus, M.; Kück, H.; Lauche, J. | Book Article |
| 1994 | Requirements for inert polymer layer for sensor applications
Kunath, C.; Kurth, E.; Grundke, W.; Köhler, R.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1994 | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Stickstoff/Wasserdampf-Nebels, insbesondere eines nichtkontaminierenden Stickstoff/Wasserdampf-Nebels zum Sichtbarmachen von Stroemungsverlaeufen
Bussing, H.; Debusmann, K.; Kueck, H.; Opiolka, S. | Patent |
| 1993 | CMOS-compatible integration of thin ferromagnetic films
Sauer, B.; Gottfried-Gottfried, R.; Haase, T.; Kück, H. | Conference Paper |
| 1993 | Fabrication of sensors and microsystems on SIMOX substrates
Gottfried-Gottfried, R.; Köhler, R.; Kück, H.; Mokwa, W.; Vogt, H. | Conference Paper |
| 1993 | A fully CMOS compatible infrared sensor fabricated on SIMOX-substrates
Müller, M.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Mokwa, W. | Conference Paper |
| 1993 | A fully CMOS-compatible infrared sensor fabricated on SIMOX substrates
Müller, M.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Mokwa, W. | Conference Paper |
| 1993 | New alpha radiation detection systems for environmental surveys
Streil, T.; Klinke, R.; Erlebach, A.; Hübler, P.; Kluge, W.; Kück, H.; Zimmer, G. | Conference Paper |
| 1993 | New alpha radiation detection systems for environmental surveys.
Streil, T.; Klinke, R.; Erlebach, A.; Hübler, P.; Kluge, W.; Kück, H.; Zimmer, G. | Conference Paper |
| 1993 | Schnelle Testverfahren zur Charakterisierung von Ausbeute und Zuverlässigkeit hochintegrierter Leitbahnsysteme
Dreizner, A.; Kück, H.; Lukat, K.; Pahlitzsch, J. | Conference Paper |
| 1993 | Systemintegration auf Chipniveau
Kück, H. | Conference Proceedings |
| 1993 | Ein thermoelektrischer Infrarot-Sensor in SIMOX-Technologie
Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Müller, M. | Book Article |
| 1993 | Ein thermoelektrischer Infrarotsensor als Beispiel für den Einsatz von SIMOX-Substraten für die Herstellung von Sensoren und Mikrosystemen
Müller, M.; Köhler, R.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Mokwa, W.; Vogt, H. | Conference Paper |
| 1991 | Wirtschaftliches Reinraumkonzept
Fissan, H.; Stamm, W.; Bussing, H.; Kück, H. | Journal Article |
| 1990 | Kostengünstiges Konzept im IMS-Reinraum. Untersuchung der Reinraumqualität
Bussing, H.; Kück, H. | Book Article |
| 1989 | Reinraum- und Fertigungsplanung
Kück, H. | Book Article |