Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von SiO2-Monolagen mittels Fluorkohlenstoff
Dittmar, N.; Kuechler, M.; Meinecke, C.; Reuter, D.; Otto, T.
Conference Paper
2016Novel through silicon wiring technology using dry etched sloping vertical terminals
Haas, S.; Voigt, S.; Arnold, M.; Schwenzer, F.; Braunschweig, M.; Küchler, M.; Kurth, S.; Gessner, T.
Conference Paper
2013Erweiterungen und Anwendungen der BDRIE-Technologie zur Herstellung hermetisch gekapselter Sensoren mit hoher Güte
Hiller, K.; Hahn, S.; Kuechler, M.; Billep, D.; Forke, R.; Koehler, D.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Gessner, T.
Conference Paper
2012Micro arc welding for electrode gap reduction of high aspect ratio microstructures
Nowack, M.; Leidich, S.; Reuter, D.; Kurth, S.; Kuechler, M.; Bertz, A.; Gessner, T.
Journal Article, Conference Paper
2011Lokales Mikroschweißen als post-process Technologie zur permanenten Reduzierung des Elektrodenabstandes von HARMS
Nowack, M.; Leidich, S.; Reuter, D.; Kurth, S.; Kuechler, M.; Bertz, A.; Gessner, T.
Conference Paper
2010Fortschritte in der Anwendung des tiefen Siliziumätzens (DRIE).
Kuechler, M.; Hofmann, L.; Hahn, R.; Bertz, A.; Gessner, T.
Conference Paper
2010A novel three-axis AIM vibration sensor for high accuracy condition monitoring
Nowack, M.; Reuter, D.; Bertz, A.; Kuechler, M.; Aurich, T.; Dittrich, C.; Gessner, T.
Conference Paper
2009Nanofocusing refractive X-ray lenses: Fabrication and modeling
Boye, P.; Feldkamp, J.M.; Patommel, J.; Schwab, A.; Stephan, S.; Hoppe, R.; Schroer, C.G.; Burghammer, M.; Riekel, C.; Hart, A. van der; Küchler, M.
Journal Article
2008Investigations on via geometry and wetting behavior for the filling of through silicon vias by copper electro deposition
Hofmann, L.; Küchler, M.; Gumprecht, T.; Ecke, R.; Schulz, S.; Gessner, T.
Conference Paper
2008Konzeption und Realisierung eines elektrorheologischen Flüssigkeitsprüfstandes mit Strömungswiderständen
Küchler, M.
Thesis
2007Hard X-ray nanoprobe based on refractive X-ray lenses
Schroer, C.G.; Kurapova, O.; Patommel, J.; Boye, P.; Feldkamp, J.; Lengeler, B.; Burghammer, M.; Riekel, C.; Vincze, L.; Hart, A. van der; Küchler, M.
Conference Paper
2007Optimized fabrication of silicon nanofocusing x-ray lenses using deep reactive ion etching
Kurapova, O.; Lengeler, B.; Schroer, C.G.; Küchler, M.; Gessner, T.; Hart, A. van der
Journal Article
2005Bonding and Deep RIE - A powerful combination for high aspect ratio sensors and actuators
Hiller, K.; Küchler, M.; Billep, D.; Schröter, B.; Dienel, M.; Scheibner, D.; Gessner, T.
Conference Paper
2005Flexible Herstellung und Charakterisierung von Inertialsensoren basierend auf der AIM-Technologie
Lohmann, C.; Bertz, A.; Reuter, D.; Küchler, M.; Geßner, T.
Conference Paper
2005Hard x-ray nanoprobe based on refractive x-ray lenses
Schroer, C.G.; Kurapova, O.; Patommel, J.; Boye, P.; Feldkamp, J.; Lengeler, B.; Burghammer, M.; Riekel, C.; Vincze, L.; Hart, A. van der; Küchler, M.
Journal Article
2005Validierung der AIM Technologie: Darstellung der Leistungsfähigkeit anhand hergestellter Sensor- und Aktorstrukturen
Lohmann, C.; Bertz, A.; Reuter, D.; Küchler, M.; Geßner, T.
Conference Paper
2003Hot embossing for MEMS using silicon tools
Küchler, M.; Otto, T.; Gessner, T.; Ebling, F.; Schröder, H.
Journal Article, Conference Paper
2003Mechanical reliability of MEMS fabricated by a special technology using standard silicon wafers
Lohmann, C.; Bertz, A.; Küchler, M.; Reuter, D.; Gessner, T.
Conference Paper
2003A novel high aspect ratio technology for MEMS fabrication using standard silicon wafers
Lohmann, C.; Bertz, A.; Küchler, M.; Gessner, T.
Conference Paper
2003Polymer BioMEMs with integrated optical and fluidic functionality
Windhorn, K.; Meixner, L.; Drost, S.; Schröder, H.; Kilgus, E.; Scheel, W.; Ebling, F.; Otto, T.; Küchler, M.; Nestler, J.; Geßner, T.
Conference Paper
2002A novel high aspect ratio technology for MEMS fabrication using standard silicon wafers
Bertz, A.; Küchler, M.; Knöfler, R.; Gessner, T.
Journal Article
2001Einsatzerfahrungen mit einer Multiplex-Ätzanlage für tiefes Siliziumätzen
Küchler, M.; Hiller, K.; Hahn, R.; Bertz, A.; Gessner, T.
Conference Paper
2000Stress-induced laterial deflections of microstructures
Küchler, M.; Knöfler, R.; Steiniger, c.; Raschke, T.; Gessner, T.; Dudek, R.; Döring, R.
Conference Paper
1999Resonante Siliziumsensoren mit elektrostatischer Abstimmung für die Vibrationsanalyse
Wibbeler, J.; Küchler, M.; Steiniger, C.; Bertz, A.; Wolf, K.; Mehner, J.; Gessner, T.
Conference Paper
1999Untersuchungen zur Herstellung von lateralen Tastnadeln für die Rasterkraftmikroskopie
Knöfler, R.; Bertz, A.; Wolf, K.; Küchler, M.; Gessner, T.
Conference Paper