Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Vorrichtung mit Abscheidekammer mit turbulenter Gasführung zur kontinuierlichen Beschichtung von Substraten mittels Gasphasenabscheidung sowie Verfahren zu diesem Zweck unter Verwendung einer solchen Vorrichtung
Keller, Martin; Reber, Stefan; Schillinger, Norbert; Pocza, David; Arnold, Martin; Krogull, Dirk
Patent
2013Comparison between experimental results and CFD model calculations for high-throughout continuous silicon chemical vapour deposition epitaxy
Pócza, D.; Schillinger, N.; Barth, P.; Krogull, D.; Arnold, M.; Keller, M.; Reber, S.
Conference Paper
2013Process optimization and solar cell results of ConCVD epitaxial layers
Keller, M.; Reber, S.; Schillinger, N.; Arnold, M.; Krogull, D.; Heermann, S.
Conference Paper
2012Advances in equipment and process development for high-throughput continuous silicon epitaxy
Reber, S.; Pocza, D.; Keller, M.; Arnold, M.; Schillinger, N.; Krogull, D.
Conference Paper