Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Time resolved detection of particle contamination during thin film deposition
Rüsseler, A.K.; Balasa, I.; Kricheldorf, H.-U.; Vergöhl, M.; Jensen, L.; Ristau, D.
Conference Paper
2009Sputter deposition of strain gauges using ITO/Ag
Gerdes, H.; Bandorf, R.; Heckmann, U.; Schmidt, V.; Kricheldorf, H.-U.; Bräuer, G.
Journal Article, Conference Paper
2000Gasflusssputtern von dielektrischen und transparent leitfähigen Oxidschichten
Höfer, M.; Jung, A.; Jung, T.; Kricheldorf, H.-U.; Schmidt, F.
Journal Article
2000New DC sputter sources for the large scale deposition of oxide films
Höfer, M.; Jung, A.; Jung, T.; Kricheldorf, H.-U.; Schmidt, F.
Conference Paper