Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007Verfahren zum Materialabtrag an Festkoerpern und dessen Verwendung
Mayer, K.; Kray, D.; Kolbesen, B.O.
Patent
2007Verfahren zum Materialabtrag an Festkoerpern und dessen Verwendung
Mayer, K.; Baumann, S.; Kray, D.; Kolbesen, B.O.
Patent
2006Verfahren zur Mikrostrukturierung von Festkoerperoberflaechen
Mayer, K.; Kray, D.; Baumann, S.; Kolbesen, B.O.
Patent
2001Barium, strontium and bismuth contamination in CMOS processes
Boubekeur, H.; Mikolajick, T.; Höpfner, J.; Dehm, C.; Pamler, W.; Steiner, J.; Kilian, G.; Kolbesen, B.O.; Bauer, A.; Frey, L.; Ryssel, H.
Conference Paper
2001New materials in future memories: High temperature behaviour of Sr, Bi and Ir on silicon surfaces monitored by TXRF and ELYMAT
Kilian, G.; Kolbesen, B.O.; Rommel, M.; Pamler, W.; Unger, E.; Höpfner, A.
Conference Paper
2001Some aspects of the high-temperature behavior of bismuth, strontium and barium on silicon surfaces studied by total reflection x-ray-fluorescence Spectrometry
Kilian, G.; Rommel, M.; Pamler, W.; Unger, E.; Hopfner, A.; Kolbesen, B.O.
Journal Article