Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2006Dreidimensionale Topographiesimulation der ionisierten Metallplasma-Abscheidung in der Halbleitertechnologie
Kistler, S.
Dissertation
2004Three-dimensional simulation of ionized metal plasma vapor deposition
Kistler, S.; Bär, E.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Conference Paper, Journal Article