Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
|---|
| 2008 | Aerostatisch gefuehrtes Tischsystem fuer die Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.-C.; Böhm, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R. | Patent |
| 2008 | Aerostatische Lageranordnung mit zugeordneter elektrostatischer Vorspanneinheit, insbesondere fuer die Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.-C.; Böhme, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R. | Patent |