Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Precision assembly of a miniaturized wire deflector for electron-beam lithography
Risse, Stefan; Damm, Christoph; Hornaff, Marcel; Kamm, Andreas; Mohaupt, Matthias; Eberhardt, Ramona; Schmidt, Ingo; Ramm, Roland; Kühmstedt, Peter; Notni, Gunther; Döring, Hans-Joachim; Elster, Thomas; Kirschstein, Ulf Carsten; Schenk, Christoph
Conference Paper, Journal Article
2008Aerostatisch gefuehrtes Tischsystem fuer die Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.-C.; Böhm, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R.
Patent
2008Aerostatische Lageranordnung mit zugeordneter elektrostatischer Vorspanneinheit, insbesondere fuer die Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.-C.; Böhme, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R.
Patent
2008Mittels aerostatischer Lagerelemente gefuehrter Tisch fuer Vakuumanwendung
Schubert, G.; Jackel, C.; Kirschstein, U.; Boehm, M.; Schenk, C.; Risse, S.; Harnisch, G.; Peschel, T.; Bauer, R.
Patent
2005BELICHTUNGSANLAGE MIT HALTEEINRICHTUNG FUER EIN SUBSTRAT
Schubert, G.; Kirschstein, U.; Risse, S.; Harnisch, G.; Kalkowski, G.; Guyenot, V.
Patent
2002Kinematische Aufhaengung
Damm, C.; Peschel, T.; Kirschstein, U.
Patent
2001Adjustment and mounting of stencil masks for ion projection lithography
Damm, C.; Peschel, T.; Gebhardt, A.; Kirschstein, U.
Journal Article
2001Wafer stage assembly for ion projection lithography
Damm, C.; Peschel, T.; Risse, S.; Kirschstein, U.
Journal Article
1999A new metrology stage for Ion Projection Lithography made of glass ceramics
Risse, S.; Peschel, T.; Damm, C.; Kirschstein, U.
Conference Paper