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| 2018 | Verfahren zum Strukturieren einer Substratoberfläche
Fichtner, Juliane; Günther, Steffen; Kirchhoff, Volker; Steiner, Cindy | Patent |
| 2016 | On/off-ratio dependence of bulk hetero junction photodiodes and its impact on electro-optical properties
Jahnel, Matthias; Thomschke, Michael; Ullbrich, Sascha; Fehse, Karsten; Deok An, Jong; Park, Hoon; Leo, Karl; Im, Chan; Kirchhoff, Volker | Journal Article |
| 2008 | Licht erzeugendes Wandelement
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Kubusch, J. | Patent |
| 2008 | Scheinwerfer fuer ein Kraftfahrzeug und Verfahren zum Herstellen desselben
Nyderle, R.; Preußner, T.; Kopte, T.; Kirchhoff, V.; Dreihoefer, S.; Rochotzki, R.; Jestel, D.; Kalwa, M.; Steinborn, K.; Falz, M.; Buecken, B.; Gebhardt, B. | Patent |
| 2008 | Solarkollektor
Kirchhoff, V.; Hartung, U.; Kopte, T.; Klostermann, H.; Fietzke, F. | Patent |
| 2007 | Multilayer technologies for roll-to-roll encapsulation
Schiller, N.; Fahlteich, J.; Amberg-Schwab, S.; Kirchhoff, V. | Conference Paper |
| 2007 | Plasma for surface technology - examples of current developments
Bräuer, G.; Diehl, W.; Frach, P.; Kirchhoff, V.; Sittinger, V.; Szyszka, B.; Vergöhl, M. | Conference Paper |
| 2007 | Plasma for surface technology - examples of current developments
Bräuer, G.; Diehl, W.; Frach, P.; Kirchhoff, V.; Sittinger, B.; Szyszka, B.; Vergöhl, M. | Conference Paper |
| 2007 | Review of high barrier technologies for flexible applications
Kirchhoff, V.; Fahlteich, J.; Schiller, N. | Conference Paper |
| 2007 | Verfahren zum Abscheiden von photokatalytischen Titanoxid-Schichten
Scheffel, B.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Kirchhoff, V.; Modes, T. | Patent |
| 2007 | Vorrichtung und Verfahren zur Eigenschaftsänderung dreidimensionaler Formteile mittels Elektronen sowie Anwendung des Verfahrens
Bartel, R.; Kirchhoff, V.; Mattausch, G.; Roeder, O.; Kubusch, J. | Patent |
| 2006 | Abdeckmaterial für Biomasse und Verfahren zu dessen Herstellung
Röder, O.; Kirchhoff, V.; Bartel, R.; Schwarz, W.; Remmele, E. | Patent |
| 2006 | Advanced Coatings for Large-Area or High-Volume Products. Proceedings of the 6th International Conference on Coatings on Glass and Plastics
: Aegerter, M.A.; Kirchhoff, V. | Conference Proceedings |
| 2006 | Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2005
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Bartel, R.; Arnold, A. | Annual Report |
| 2006 | Nutzung des Pulsmodus als technologischer Parameter beim reaktiven Puls Magnetron Sputtern
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Kirchhoff, V. | Conference Paper |
| 2006 | Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Plasmas sowie Verwendung derselben
Fietzke, F.; Goedicke, K.; Flaske, H.; Liebig, J.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 2006 | Verfahren zum Vakuumbeschichten mit einer photohalbleitenden Schicht und Anwendung des Verfahrens
Frach, P.; Gloess, D.; Goedicke, K.; Klinkenberg, S.; Gottfried, C.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 2006 | Vorrichtung und Verfahren zur Eigenschaftsänderung dreidimensionaler Formteile mittels Elektronen
Bartel, R.; Gohs, U.; Kirchhoff, V.; Mattausch, G.; Röder, O.; Kubusch, J. | Patent |
| 2006 | Vorrichtung zum Elektronenstrahlverdampfen
Mattausch, G.; Flaske, H.; Liebig, J.-S.; Kirchhoff, V.; Heinß, J.-P.; Klose, L. | Patent |
| 2005 | Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2004
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A. | Annual Report |
| 2005 | Verfahren und Vorrichtung zum Intensivieren einer gepulsten Magnetronentladung
Fietzke, F.; Klostermann, H.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Wuensche, T.; Boecher, B. | Patent |
| 2005 | Verfahren zum Abscheiden von Karbidschichten hochschmelzender Metalle
Heinss, J.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Kirchhoff, V.; Tenbusch, M. | Patent |
| 2005 | Verfahren zum Einstellen von Schichteigenschaften
Nyderle, R.; Gnehr, M.; Hartung, U.; Kopte, T.; Kirchhoff, V.; Winkler, T. | Patent |
| 2005 | Verfahren zur Herstellung eines Duennschichtsystems durch Puls-Magnetron-Sputtern
Goedicke, K.; Frach, P.; Bartzsch, H.; Kirchhoff, V.; Labitzke, R. | Patent |
| 2005 | Verfahren zur Herstellung eines waermereflektierenden Schichtsystems fuer transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.; Fahland, M. | Patent |
| 2005 | Verfahren zur Modifizierung natuerlicher und nachwachsender Oele mittels ionisierender Strahlung
Gohs, U.; Roeder, O.; Schwarz, W.; Kirchhoff, V.; Bartel, R. | Patent |
| 2004 | Einrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten
Frach, P.; Bartzsch, H.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Liebig, J.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 2004 | Einrichtung zum Beschichten durch Magnetron-Sputtern
Liebig, J.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Frach, P. | Patent |
| 2004 | Einrichtung zur Erzeugung einer Magnetron-Entladung
Goedicke, K.; Liebig, J.; Kirchhoff, V.; Winkler, T. | Patent |
| 2004 | Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2003
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A.; Wünsche, M. | Annual Report |
| 2004 | Korrosionsgeschuetztes Bauteil und Verfahren zu seiner Herstellung und Einrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
Goedicke, K.; Fietzke, F.; Straach, S.; Kirchhoff, V.; Hofmann, K.; Hollstein, F. | Patent |
| 2004 | Reactive pulsed magnetron sputtering of SiO2 - influence of process parameters on layer properties
Nyderle, R.; Kirchhoff, V.; Vanecek, R.; Sahm, H. | Conference Paper |
| 2004 | Verfahren zum Bipolar-Magnetronsputtern
Liebig, J.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Frach, P.; Winkler, T. | Patent |
| 2004 | Verfahren zur Regelung von Glimmentladungen mit pulsfoermiger Energieversorgung
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Schulze, M.; Peters, C. | Patent |
| 2003 | Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2002
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A.; Wünsche, M. | Annual Report |
| 2003 | Verfahren und Einrichtung zum Betreiben von Magnetronentladungen
Goedicke, K.; Winkler, T.; Junghaehnel, M.; Fietzke, F.; Kirchhoff, V.; Reschke, J. | Patent |
| 2003 | Verfahren zur Herstellung eines waermereflektierenden Schichtsystems fuer transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.; Fahland, M. | Patent |
| 2002 | Einrichtung zum Beschichten von Substraten mit gekruemmter Oberflaeche durch Pulsmagnetron- Zerstaeuben
Liebig, J.S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 2002 | Einrichtung zum Beschichten von Substraten mit gekruemmter Oberflaeche durch Pulsmagnetron-Zerstaeuben
Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Liebig, J. | Patent |
| 2002 | Elektrodenanordnung fuer die magnetfeldgefuehrte plasmagestuetzte Abscheidung duenner Schichten im Vakuum
Winkler, T.; Weiske, D.; Egel, M.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Liebig, J.; Kopte, T. | Patent |
| 2002 | Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2001
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A.; Wünsche, M. | Annual Report |
| 2002 | Verfahren und Einrichtung zur Herstellung von Schichtsystemen fuer optische Praezisionselemente
Liebig, J.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Winkler, T. | Patent |
| 2002 | Verfahren zur Erkennung von Ueberschlaegen in gepulst betriebenen Plasmen
Krause, U.; Schulze, M.; Kopte, T.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 2002 | Verfahren zur Steuerung der Leistungsverteilung bei bipolaren Niederdruck-Glimmprozessen
Kopte, T.; Winkler, T.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 2002 | Waermedaemmendes Schichtsystem fuer transparente Substrate
Schneider, S.; Hartung, U.; Kirchhoff, V.; Soeder, B.; Meier, A. | Patent |
| 2001 | Deposition of multilayer optical coatings onto plastic webs by pulse magnetron sputtering
Rank, R.; Fahland, M.; Kirchhoff, V.; Charton, C.; Stöhr, U. | Conference Paper |
| 2001 | EINRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG VON WERKSTUECKEN IN EINEM NIEDERDRUCK-PLASMA
Winkler, T.; Goedicke, K.; Fietzke, F.; Schiller, S.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 2001 | Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2000
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A.; Wünsche, M. | Annual Report |
| 2001 | New plasma activation processes during the high-rate electron beam evaporation for large area coating
Scheffel, B.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V. | Conference Paper |
| 2001 | Optisches transparentes Schichtsystem auf transparentem Material und Verfahren zur Herstellung
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Soeder, B.; Ruppe, C. | Patent |
| 2001 | Verfahren und Einrichtung zur pulsfoermigen Energiezufuehrung fuer ein Niederdruckplasma und deren Anwendung
Frach, P.; Goedicke, K.; Junghaehnel, M.; Kirchhoff, V.; Winkler, T.; Handt, K. | Patent |
| 2001 | Verfahren zur Herstellung waermereflektierender Schichtsysteme
Kirchhoff, V.; Schneider, S.; Hartung, U.; Soeder, B.; Meier, A. | Patent |
| 2000 | Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1999
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A.; Wünsche, M. | Annual Report |
| 2000 | The influence of pulsed magnetron sputtering on topography and crystallinity of TiO2 films on glass
Treichel, O.; Kirchhoff, V. | Journal Article |
| 2000 | The influence of the barrier layer on the mechanical properties of IR-reflecting (low-E) multilayer systems on glass
Treichel, O.; Kirchhoff, V.; Bräuer, G. | Conference Paper |
| 2000 | Puls Magnetron Sputtern von optischen Mehrlagenschichten auf Kunststofffolien
Fahland, M.; Kirchhoff, V. | Journal Article |
| 2000 | PVD coating of plastic webs and sheets with high rates on large areas
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Schiller, N.; Morgner, H. | Journal Article, Conference Paper |
| 2000 | Roll-to-roll deposition of multilayer optical coatings into plastic webs
Fahland, M.; Kirchhoff, V.; Charton, C.; Karlsson, P. | Conference Paper |
| 2000 | Verfahren zur Ueberwachung einer Wechselspannungs-Entladung an einer Doppelelektrode
Fahland, M.; Milde, F.; Winkler, T.; Fickert, A.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 1999 | ORGANISCHES SUBSTRAT MIT OPTSCHEN SCHICHTEN HERGESTELLT MITTELS MAGNETRON-ZERSTAEUBUNG UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
Liebig, J.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Keller, G.; Bosmans, R.; Comble, P. | Patent |
| 1999 | Verfahren und Einrichtung zum plasmaaktivierten Bedampfen
Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Neumann, M.; Reschke, J.; Schiller, S. | Patent |
| 1999 | Verfahren zur Anpassung des Generators bei bipolaren Niederdruck-Glimmprozessen
Kirchhoff, V.; Schiller, S.; Reschke, J.; Goedicke, K. | Patent |
| 1999 | Verfahren zur Herstellung waermereflektierender Schichtsysteme auf transparenten Substraten
Kirchhoff, V.; Hartung, U.; Soeder, B.; Groeninger, E. | Patent |
| 1999 | Zerstaeubungseinrichtung
Kirchhoff, V.; Schmidt, H.; Kopte, T.; Winkler, T. | Patent |
| 1998 | Dual magnetron sputtering (DMS) system with sine-wave power supply for large-area coating
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Winkler, T.; Schulze, M.; Wiedemuth, P. | Conference Paper, Journal Article |
| 1998 | An internally consistent set of globally distributed atmospheric carbon monoxide mixing ratios developed using results from an intercomparison of measurements
Novelli, P.C.; Connors, V.S.; Reichle, H.G.; Anderson, B.E.; Brenninkmeijer, C.A.M.; Brunke, E.-G.; Doddridge, B.G.; Kirchhoff, V.W.J.H.; Lam, K.S.; Masarie, K.A.; Matsuo, T.; Parrish, D.D.; Scheel, H.E.; Steele, L.P. | Journal Article |
| 1998 | Schichtsystem fuer gebogene und/oder gehaertete Glasscheiben
Hartung, U.; Schneider, S.; Kirchhoff, V.; Soeder, B. | Patent |
| 1998 | Transparente Waermeschutzfolie und Verfahren zu deren Herstellung
Schiller, S.; Neumann, M.; Milde, F.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 1997 | Advanced possibilities for the stationary coating of substrates by means of pulsed magnetron sputtering
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Frach, P. | Conference Paper |
| 1997 | Fortschritte beim Puls-Magnetron-Sputtern
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Metzner, C. | Journal Article |
| 1997 | Die Herstellung von Antireflexionsschichten unter Nutzung des Puls-Magnetron-Sputterns
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U. | Book Article |
| 1997 | How to introduce pulsed magnetron sputter technology for large area coating
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Kopte, T. | Conference Paper |
| 1997 | Korrosionsgeschuetztes Metall
Goedicke, K.; Neumann, M.; Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Reschke, J.; Morgner, H.; Schmidt, H. | Patent |
| 1997 | Puls Plasma
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Schiller, N. | Book Article |
| 1997 | Pulsed plasma activated deposition of plastic films
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Schulze, M. | Conference Paper |
| 1997 | Special features of pulsed magnetron sputtering (PMS-process) glass coaters
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Schulze, M. | Conference Paper |
| 1997 | Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung
Kirchhoff, V. | Dissertation |
| 1997 | Verfahren zum plasmagestuetzten reaktiven Elektronenstrahlbedampfen
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Zeissig, G.; Schiller, N.; Goedicke, K.; Neumann, M. | Patent |
| 1997 | Verfahren zur Durchfuehrung von stabilen Niederdruck- Glimmprozessen
Kirchhoff, V.; Reschke, J.; Scheffel, B.; Goedicke, K. | Patent |
| 1996 | Antireflective layers produced by pulsed magnetron sputter technology
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U. | Conference Paper |
| 1996 | High-power pulsed magnetron sputter technology
Kopte, T.; Kirchhoff, V. | Conference Paper |
| 1996 | Verfahren und Einrichtung zum plasmaaktivierten Elektronenstrahlverdampfen
Goedicke, K.; Scheffel, B.; Reschke, J.; Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Werner, T. | Patent |
| 1996 | Verfahren und Einrichtung zur Regelung von plasmagestuetzten Vakuumbeschichtungsprozessen
Scheffel, B.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Kirchhoff, V. | Patent |
| 1996 | Verfahren und Schaltung zur bipolaren pulsfoermigen Energieeinspeisung in Niederdruckplasmen
Walde, H.; Reschke, J.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Kirchhoff, V.; Frach, P. | Patent |
| 1996 | Verfahren zur Stabilisierung der Plasmaerzeugung mittels Elektronenstrahlverdampfer
Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Scheffel, B. | Patent |
| 1995 | Advances in plasma emission monitoring for reactive DC magnetron sputtering
Kirchhoff, V. | Conference Paper |
| 1995 | In-situ-Monitorierung und Regelung mittels Analysen der optischen Plasmaesission. Einzelvorhaben
Kirchhoff, V.; Schulze, M. | Conference Paper |
| 1995 | In-situ-Monitoring und Regelung mittels Analyse der optischen Plasmaemission
Kirchhoff, V.; Schulze, M. | Conference Paper |
| 1995 | New developments in pulsed magnetron sputter technology for glass coater
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Kopte, T. | Conference Paper |
| 1995 | Potenzen des Puls-Magnetron-Sputterns (PMS)
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Metzner, C. | Journal Article |
| 1995 | Pulsed technology - a new era of magnetron sputtering
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Kopte, T. | Conference Paper |
| 1995 | Verfahren zur kontinuierlichen Messung der stofflichen Zusammensetzung des Dampfes einer Schmelze oder eines zu verdampfenden Materials im Vakuum
Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Schiller, N.; Nedon, W.; Schiller, S. | Patent |
| 1994 | In-situ Messung der optischen Emission des Plasmas und deren Korrelation zu Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetronsputtern
Kirchhoff, V. | Report |
| 1993 | Control of reactive DC magnetron sputtering of SnO2 by means of optical emission
Kirchhoff, V.; Heisig, U. | Conference Paper |
| 1993 | Potentials of the pulse magnetron sputter technology (PMST)
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V. | Conference Paper |
| 1993 | Pulsed magnetron sputter technology
Schiller, S.; Goedicke, K.; Reschke, J.; Kirchhoff, V.; Schneider, S.; Milde, F. | Journal Article, Conference Paper |
| 1993 | Verfahren und Einrichtung zur Prozessstabilisierung beim Elektronenstrahlverdampfen
Kirchhoff, V.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Schiller, S.; Kern, H. | Patent |
| 1988 | Anwendung der Vakuumbeschichtung in der Glasindustrie
Becker, H.-J.; Beister, G.; Kirchhoff, V.; Leuteritz, J.; Poitz, T.; Roth, H.; Schicht, H.; Schneider, S.; Städtler, U.; Szymanski, U. | Conference Paper |