Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Verfahren zum Strukturieren einer Substratoberfläche
Fichtner, Juliane; Günther, Steffen; Kirchhoff, Volker; Steiner, Cindy
Patent
2016On/off-ratio dependence of bulk hetero junction photodiodes and its impact on electro-optical properties
Jahnel, Matthias; Thomschke, Michael; Ullbrich, Sascha; Fehse, Karsten; Deok An, Jong; Park, Hoon; Leo, Karl; Im, Chan; Kirchhoff, Volker
Journal Article
2008Licht erzeugendes Wandelement
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Kubusch, J.
Patent
2008Scheinwerfer fuer ein Kraftfahrzeug und Verfahren zum Herstellen desselben
Nyderle, R.; Preußner, T.; Kopte, T.; Kirchhoff, V.; Dreihoefer, S.; Rochotzki, R.; Jestel, D.; Kalwa, M.; Steinborn, K.; Falz, M.; Buecken, B.; Gebhardt, B.
Patent
2008Solarkollektor
Kirchhoff, V.; Hartung, U.; Kopte, T.; Klostermann, H.; Fietzke, F.
Patent
2007Multilayer technologies for roll-to-roll encapsulation
Schiller, N.; Fahlteich, J.; Amberg-Schwab, S.; Kirchhoff, V.
Conference Paper
2007Plasma for surface technology - examples of current developments
Bräuer, G.; Diehl, W.; Frach, P.; Kirchhoff, V.; Sittinger, V.; Szyszka, B.; Vergöhl, M.
Conference Paper
2007Plasma for surface technology - examples of current developments
Bräuer, G.; Diehl, W.; Frach, P.; Kirchhoff, V.; Sittinger, B.; Szyszka, B.; Vergöhl, M.
Conference Paper
2007Review of high barrier technologies for flexible applications
Kirchhoff, V.; Fahlteich, J.; Schiller, N.
Conference Paper
2007Verfahren zum Abscheiden von photokatalytischen Titanoxid-Schichten
Scheffel, B.; Metzner, C.; Zywitzki, O.; Kirchhoff, V.; Modes, T.
Patent
2007Vorrichtung und Verfahren zur Eigenschaftsänderung dreidimensionaler Formteile mittels Elektronen sowie Anwendung des Verfahrens
Bartel, R.; Kirchhoff, V.; Mattausch, G.; Roeder, O.; Kubusch, J.
Patent
2006Abdeckmaterial für Biomasse und Verfahren zu dessen Herstellung
Röder, O.; Kirchhoff, V.; Bartel, R.; Schwarz, W.; Remmele, E.
Patent
2006Advanced Coatings for Large-Area or High-Volume Products. Proceedings of the 6th International Conference on Coatings on Glass and Plastics
: Aegerter, M.A.; Kirchhoff, V.
Conference Proceedings
2006Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2005
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Bartel, R.; Arnold, A.
Annual Report
2006Nutzung des Pulsmodus als technologischer Parameter beim reaktiven Puls Magnetron Sputtern
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Kirchhoff, V.
Conference Paper
2006Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen eines Plasmas sowie Verwendung derselben
Fietzke, F.; Goedicke, K.; Flaske, H.; Liebig, J.; Kirchhoff, V.
Patent
2006Verfahren zum Vakuumbeschichten mit einer photohalbleitenden Schicht und Anwendung des Verfahrens
Frach, P.; Gloess, D.; Goedicke, K.; Klinkenberg, S.; Gottfried, C.; Kirchhoff, V.
Patent
2006Vorrichtung und Verfahren zur Eigenschaftsänderung dreidimensionaler Formteile mittels Elektronen
Bartel, R.; Gohs, U.; Kirchhoff, V.; Mattausch, G.; Röder, O.; Kubusch, J.
Patent
2006Vorrichtung zum Elektronenstrahlverdampfen
Mattausch, G.; Flaske, H.; Liebig, J.-S.; Kirchhoff, V.; Heinß, J.-P.; Klose, L.
Patent
2005Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2004
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A.
Annual Report
2005Verfahren und Vorrichtung zum Intensivieren einer gepulsten Magnetronentladung
Fietzke, F.; Klostermann, H.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Wuensche, T.; Boecher, B.
Patent
2005Verfahren zum Abscheiden von Karbidschichten hochschmelzender Metalle
Heinss, J.; Scheffel, B.; Metzner, C.; Kirchhoff, V.; Tenbusch, M.
Patent
2005Verfahren zum Einstellen von Schichteigenschaften
Nyderle, R.; Gnehr, M.; Hartung, U.; Kopte, T.; Kirchhoff, V.; Winkler, T.
Patent
2005Verfahren zur Herstellung eines Duennschichtsystems durch Puls-Magnetron-Sputtern
Goedicke, K.; Frach, P.; Bartzsch, H.; Kirchhoff, V.; Labitzke, R.
Patent
2005Verfahren zur Herstellung eines waermereflektierenden Schichtsystems fuer transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.; Fahland, M.
Patent
2005Verfahren zur Modifizierung natuerlicher und nachwachsender Oele mittels ionisierender Strahlung
Gohs, U.; Roeder, O.; Schwarz, W.; Kirchhoff, V.; Bartel, R.
Patent
2004Einrichtung und Verfahren zum Beschichten von Substraten
Frach, P.; Bartzsch, H.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Liebig, J.; Kirchhoff, V.
Patent
2004Einrichtung zum Beschichten durch Magnetron-Sputtern
Liebig, J.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Frach, P.
Patent
2004Einrichtung zur Erzeugung einer Magnetron-Entladung
Goedicke, K.; Liebig, J.; Kirchhoff, V.; Winkler, T.
Patent
2004Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2003
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A.; Wünsche, M.
Annual Report
2004Korrosionsgeschuetztes Bauteil und Verfahren zu seiner Herstellung und Einrichtung zur Durchfuehrung des Verfahrens
Goedicke, K.; Fietzke, F.; Straach, S.; Kirchhoff, V.; Hofmann, K.; Hollstein, F.
Patent
2004Reactive pulsed magnetron sputtering of SiO2 - influence of process parameters on layer properties
Nyderle, R.; Kirchhoff, V.; Vanecek, R.; Sahm, H.
Conference Paper
2004Verfahren zum Bipolar-Magnetronsputtern
Liebig, J.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Frach, P.; Winkler, T.
Patent
2004Verfahren zur Regelung von Glimmentladungen mit pulsfoermiger Energieversorgung
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Schulze, M.; Peters, C.
Patent
2003Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2002
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A.; Wünsche, M.
Annual Report
2003Verfahren und Einrichtung zum Betreiben von Magnetronentladungen
Goedicke, K.; Winkler, T.; Junghaehnel, M.; Fietzke, F.; Kirchhoff, V.; Reschke, J.
Patent
2003Verfahren zur Herstellung eines waermereflektierenden Schichtsystems fuer transparente Substrate und danach hergestelltes Schichtsystem
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.; Fahland, M.
Patent
2002Einrichtung zum Beschichten von Substraten mit gekruemmter Oberflaeche durch Pulsmagnetron- Zerstaeuben
Liebig, J.S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.
Patent
2002Einrichtung zum Beschichten von Substraten mit gekruemmter Oberflaeche durch Pulsmagnetron-Zerstaeuben
Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Liebig, J.
Patent
2002Elektrodenanordnung fuer die magnetfeldgefuehrte plasmagestuetzte Abscheidung duenner Schichten im Vakuum
Winkler, T.; Weiske, D.; Egel, M.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Liebig, J.; Kopte, T.
Patent
2002Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2001
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A.; Wünsche, M.
Annual Report
2002Verfahren und Einrichtung zur Herstellung von Schichtsystemen fuer optische Praezisionselemente
Liebig, J.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Winkler, T.
Patent
2002Verfahren zur Erkennung von Ueberschlaegen in gepulst betriebenen Plasmen
Krause, U.; Schulze, M.; Kopte, T.; Kirchhoff, V.
Patent
2002Verfahren zur Steuerung der Leistungsverteilung bei bipolaren Niederdruck-Glimmprozessen
Kopte, T.; Winkler, T.; Kirchhoff, V.
Patent
2002Waermedaemmendes Schichtsystem fuer transparente Substrate
Schneider, S.; Hartung, U.; Kirchhoff, V.; Soeder, B.; Meier, A.
Patent
2001Deposition of multilayer optical coatings onto plastic webs by pulse magnetron sputtering
Rank, R.; Fahland, M.; Kirchhoff, V.; Charton, C.; Stöhr, U.
Conference Paper
2001EINRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG VON WERKSTUECKEN IN EINEM NIEDERDRUCK-PLASMA
Winkler, T.; Goedicke, K.; Fietzke, F.; Schiller, S.; Kirchhoff, V.
Patent
2001Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 2000
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A.; Wünsche, M.
Annual Report
2001New plasma activation processes during the high-rate electron beam evaporation for large area coating
Scheffel, B.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.
Conference Paper
2001Optisches transparentes Schichtsystem auf transparentem Material und Verfahren zur Herstellung
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Soeder, B.; Ruppe, C.
Patent
2001Verfahren und Einrichtung zur pulsfoermigen Energiezufuehrung fuer ein Niederdruckplasma und deren Anwendung
Frach, P.; Goedicke, K.; Junghaehnel, M.; Kirchhoff, V.; Winkler, T.; Handt, K.
Patent
2001Verfahren zur Herstellung waermereflektierender Schichtsysteme
Kirchhoff, V.; Schneider, S.; Hartung, U.; Soeder, B.; Meier, A.
Patent
2000Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik. Leistungen und Ergebnisse. Jahresbericht 1999
: Bräuer, G.; Kirchhoff, V.; Arnold, A.; Wünsche, M.
Annual Report
2000The influence of pulsed magnetron sputtering on topography and crystallinity of TiO2 films on glass
Treichel, O.; Kirchhoff, V.
Journal Article
2000The influence of the barrier layer on the mechanical properties of IR-reflecting (low-E) multilayer systems on glass
Treichel, O.; Kirchhoff, V.; Bräuer, G.
Conference Paper
2000Puls Magnetron Sputtern von optischen Mehrlagenschichten auf Kunststofffolien
Fahland, M.; Kirchhoff, V.
Journal Article
2000PVD coating of plastic webs and sheets with high rates on large areas
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Schiller, N.; Morgner, H.
Journal Article, Conference Paper
2000Roll-to-roll deposition of multilayer optical coatings into plastic webs
Fahland, M.; Kirchhoff, V.; Charton, C.; Karlsson, P.
Conference Paper
2000Verfahren zur Ueberwachung einer Wechselspannungs-Entladung an einer Doppelelektrode
Fahland, M.; Milde, F.; Winkler, T.; Fickert, A.; Kirchhoff, V.
Patent
1999ORGANISCHES SUBSTRAT MIT OPTSCHEN SCHICHTEN HERGESTELLT MITTELS MAGNETRON-ZERSTAEUBUNG UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
Liebig, J.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Keller, G.; Bosmans, R.; Comble, P.
Patent
1999Verfahren und Einrichtung zum plasmaaktivierten Bedampfen
Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Neumann, M.; Reschke, J.; Schiller, S.
Patent
1999Verfahren zur Anpassung des Generators bei bipolaren Niederdruck-Glimmprozessen
Kirchhoff, V.; Schiller, S.; Reschke, J.; Goedicke, K.
Patent
1999Verfahren zur Herstellung waermereflektierender Schichtsysteme auf transparenten Substraten
Kirchhoff, V.; Hartung, U.; Soeder, B.; Groeninger, E.
Patent
1999Zerstaeubungseinrichtung
Kirchhoff, V.; Schmidt, H.; Kopte, T.; Winkler, T.
Patent
1998Dual magnetron sputtering (DMS) system with sine-wave power supply for large-area coating
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Winkler, T.; Schulze, M.; Wiedemuth, P.
Conference Paper, Journal Article
1998An internally consistent set of globally distributed atmospheric carbon monoxide mixing ratios developed using results from an intercomparison of measurements
Novelli, P.C.; Connors, V.S.; Reichle, H.G.; Anderson, B.E.; Brenninkmeijer, C.A.M.; Brunke, E.-G.; Doddridge, B.G.; Kirchhoff, V.W.J.H.; Lam, K.S.; Masarie, K.A.; Matsuo, T.; Parrish, D.D.; Scheel, H.E.; Steele, L.P.
Journal Article
1998Schichtsystem fuer gebogene und/oder gehaertete Glasscheiben
Hartung, U.; Schneider, S.; Kirchhoff, V.; Soeder, B.
Patent
1998Transparente Waermeschutzfolie und Verfahren zu deren Herstellung
Schiller, S.; Neumann, M.; Milde, F.; Kirchhoff, V.
Patent
1997Advanced possibilities for the stationary coating of substrates by means of pulsed magnetron sputtering
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Frach, P.
Conference Paper
1997Fortschritte beim Puls-Magnetron-Sputtern
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Metzner, C.
Journal Article
1997Die Herstellung von Antireflexionsschichten unter Nutzung des Puls-Magnetron-Sputterns
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.
Book Article
1997How to introduce pulsed magnetron sputter technology for large area coating
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.
Conference Paper
1997Korrosionsgeschuetztes Metall
Goedicke, K.; Neumann, M.; Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Reschke, J.; Morgner, H.; Schmidt, H.
Patent
1997Puls Plasma
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Schiller, N.
Book Article
1997Pulsed plasma activated deposition of plastic films
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Schulze, M.
Conference Paper
1997Special features of pulsed magnetron sputtering (PMS-process) glass coaters
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Schulze, M.
Conference Paper
1997Untersuchungen der optischen Plasma-Emission beim reaktiven Magnetronsputtern und ihre Anwendung bei der Schichtbildung
Kirchhoff, V.
Dissertation
1997Verfahren zum plasmagestuetzten reaktiven Elektronenstrahlbedampfen
Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Zeissig, G.; Schiller, N.; Goedicke, K.; Neumann, M.
Patent
1997Verfahren zur Durchfuehrung von stabilen Niederdruck- Glimmprozessen
Kirchhoff, V.; Reschke, J.; Scheffel, B.; Goedicke, K.
Patent
1996Antireflective layers produced by pulsed magnetron sputter technology
Kirchhoff, V.; Kopte, T.; Hartung, U.
Conference Paper
1996High-power pulsed magnetron sputter technology
Kopte, T.; Kirchhoff, V.
Conference Paper
1996Verfahren und Einrichtung zum plasmaaktivierten Elektronenstrahlverdampfen
Goedicke, K.; Scheffel, B.; Reschke, J.; Schiller, S.; Kirchhoff, V.; Werner, T.
Patent
1996Verfahren und Einrichtung zur Regelung von plasmagestuetzten Vakuumbeschichtungsprozessen
Scheffel, B.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Kirchhoff, V.
Patent
1996Verfahren und Schaltung zur bipolaren pulsfoermigen Energieeinspeisung in Niederdruckplasmen
Walde, H.; Reschke, J.; Goedicke, K.; Winkler, T.; Kirchhoff, V.; Frach, P.
Patent
1996Verfahren zur Stabilisierung der Plasmaerzeugung mittels Elektronenstrahlverdampfer
Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Metzner, C.; Scheffel, B.
Patent
1995Advances in plasma emission monitoring for reactive DC magnetron sputtering
Kirchhoff, V.
Conference Paper
1995In-situ-Monitorierung und Regelung mittels Analysen der optischen Plasmaesission. Einzelvorhaben
Kirchhoff, V.; Schulze, M.
Conference Paper
1995In-situ-Monitoring und Regelung mittels Analyse der optischen Plasmaemission
Kirchhoff, V.; Schulze, M.
Conference Paper
1995New developments in pulsed magnetron sputter technology for glass coater
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.
Conference Paper
1995Potenzen des Puls-Magnetron-Sputterns (PMS)
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Metzner, C.
Journal Article
1995Pulsed technology - a new era of magnetron sputtering
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.; Kopte, T.
Conference Paper
1995Verfahren zur kontinuierlichen Messung der stofflichen Zusammensetzung des Dampfes einer Schmelze oder eines zu verdampfenden Materials im Vakuum
Kirchhoff, V.; Goedicke, K.; Schiller, N.; Nedon, W.; Schiller, S.
Patent
1994In-situ Messung der optischen Emission des Plasmas und deren Korrelation zu Schichteigenschaften beim reaktiven Magnetronsputtern
Kirchhoff, V.
Report
1993Control of reactive DC magnetron sputtering of SnO2 by means of optical emission
Kirchhoff, V.; Heisig, U.
Conference Paper
1993Potentials of the pulse magnetron sputter technology (PMST)
Schiller, S.; Goedicke, K.; Kirchhoff, V.
Conference Paper
1993Pulsed magnetron sputter technology
Schiller, S.; Goedicke, K.; Reschke, J.; Kirchhoff, V.; Schneider, S.; Milde, F.
Journal Article, Conference Paper
1993Verfahren und Einrichtung zur Prozessstabilisierung beim Elektronenstrahlverdampfen
Kirchhoff, V.; Metzner, C.; Goedicke, K.; Schiller, S.; Kern, H.
Patent
1988Anwendung der Vakuumbeschichtung in der Glasindustrie
Becker, H.-J.; Beister, G.; Kirchhoff, V.; Leuteritz, J.; Poitz, T.; Roth, H.; Schicht, H.; Schneider, S.; Städtler, U.; Szymanski, U.
Conference Paper