Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Passivation of different black silicon surfaces by ALD deposited Al 2O3
Otto, M.; Kroll, M.; Kasebier, T.; Li, X.; Gesemann, B.; Fuchsel, K.; Ziegler, J.; Sprafke, A.N.; Wehrspohn, R.B.
Conference Paper
2011Iridium wire grid polarizer fabricated using atomic layer deposition
Weber, T.; Kasebier, T.; Szeghalmi, A.; Knez, M.; Kley, E.B.; Tünnermann, A.
Journal Article